共查询到9条相似文献,搜索用时 78 毫秒
1.
介质阻挡放电与脉冲电晕放电净化气态污染物的试验研究 总被引:5,自引:0,他引:5
利用自行研制的介质阻挡及脉冲电晕放电低温等离子体发生器对空气中氨、硫化氢、甲苯等5种气态污染物进行净化,并探讨了两种放电方式的原理和特点。试验结果表明:与介质阻挡放电相比,脉冲电晕放电具有更好的净化效果。 相似文献
2.
概述了室内空气污染物的来源、种类及其对人体健康的危害,介绍了目前室内空气净化技术有吸附净化技术、光催化技术、离子化法净化技术、臭氧法净化技术、组合净化技术,并且分析了各技术的优缺点。提出了组合净化技术已经成为今后该领域研究的一个重要方向。 相似文献
3.
4.
5.
6.
对佛山蝉城区中心医院新大楼手术部采用的多样性高度节能组合消毒净化空调系统的设计,检测和运行给予介绍,并与传统的三级过滤洁净空调系统进行综合性能比较。 相似文献
7.
等离子体浸没离子注入技术与设备研究 总被引:1,自引:0,他引:1
基于传统束线离子注入在制造器件源漏超浅结时面临的挑战,介绍了一种新的超浅结的制造方法--等离子体浸没离子注入技术,总结了该技术在制造超浅结时的优点,阐述了放电方式、线圈结构、偏压电源等系统核心部件的设计,自行设计并搭建了等离子体浸没离子注入系统.采用ESPion高级朗缪尔探针测试和计算流体力学模拟方法对比研究了等离子体的特性,结果显示,在一定功率范围内等离子体密度随放电功率增加类似线性地增加;采用二次离子质谱仪对B和P的注入样片进行深度剖析,给出了偏压为-500V时B和P的注入深度分布曲线,表明注入时间既影响注入剂量,又影响峰值的位置和注入深度. 相似文献
8.