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扫描近场光学显微镜是八十年代以来迅速发展起来的一种光学扫描探针显微技术,本文对SNOM的发展历史,基本原理,技术方法,理论问题及应用前景进行了系统的介绍。 相似文献
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利用微纳加工工艺制作了亚波长结构纳米孔,应用近场光学显微镜(NFOM)对样品进行了近场光学性质的测试,获得了样品的近场光强分布,测得其近场光斑直径约为120 nm,测试结果证明了环形周期性结构对中心纳米孔的增透和聚焦作用,为环形亚波长结构的纳米孔应用奠定了基础。 相似文献
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概述了光学光刻技术向纳米制造挺进过程中光源、光学系统、照明技术、掩模设计、抗蚀剂、光学邻近效应校正、工作台等方面的进展以及光学光刻技术在大批量生产应用中的优势,并介绍了国外开发极紫外光刻技术的技术指标,预测了光学光刻技术的前景。 相似文献
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讨论了近场光学显微术发展及其理论知识,重点介绍了近场光学显微镜的工作原理、构造设计、工作方式等,概述了近场光学显微术的应用领域和应用成果。探讨了近场光学显微术目前存在的主要问题和需要解决的问题。 相似文献
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晓晨 《激光与光电子学进展》2003,40(7):35-36
光学显微术的应用通常受到可见光波长赋予的标准分辨率极限的限制,近场扫描光学显微镜(NSOM)可以超越这一极限。与常规光学显微术相比,近场扫描光学显微术的空间分辨率获得极大提高。Guest等人报道了这一领域的重大进展,提出一种将近场扫描光学显微术的高空间分辨率与相干非线性光谱学的高光谱分辨率相结合的新技术。 相似文献
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利用近场光学显微镜精密观察单个分子最近研究人员使用分辨率为50nm的光学显微镜观察了单个染料分子,其分辨率为研究应用的波长600nm的光波衍射极限的1/6[1]。图1用同一尖端探针同时用切向力扫描(上图)和近场光学扫描(下图)研究云母表面光合作用膜的... 相似文献
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纳米光学是纳米科学和纳米技术的新方向 ,它使用的光限定在空间尺寸 a λ(λ为波长 )或体积 V λ3内。它应用激光与原子、分子、团簇和纳米结构的线性或非线性、经典或量子相互作用的新的或改型的已知效应。这一领域的实际发展以激光和可将光局限在极小尺寸的亚微米结构 (纳米孔、纳米缝、纳米针等 )的纳米技术为基础。纳米光学的基本特点是 :1)为了以纳米空间分辨率研究物质的结构 ,激光能够非常强烈地局域化 ,但能保持光学特征的光谱选择性。 2 )与自由空间情况相比 ,纳米结构处的物质 (原子、分子等 )对局域化光的响应有显著变化。本文… 相似文献
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《电子工业专用设备》2000,29(1):61-62
1 瑞士推出一种新颖的高分辨率光刻技术 瑞士苏黎世IBM实验室的研究人员已研制出一种十分简单的光学光刻技术 ,它可以印制比所用光波长 1 / 2还要小的特征尺寸。无需复杂而又昂贵的聚焦光学系统。含有图形的“光图章”直接置于晶片上 ,不同于传统的接触式光刻技术要采用玻璃上铬掩模 ;IBM实验室开发的新方法采用橡胶式掩模 ,与晶片均匀地接触。当光透过这种掩模时 ,将图像传入衬底 ,并在凹进区域被封锁或反射。通过起推进作用的聚焦效应和“光图章”与抗蚀剂间的紧密接触来减小光散射 ,使其与折射率匹配。工作人员采用 2 48nmK… 相似文献
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扫描近场光学显微镜有源光纤探针的研制 总被引:4,自引:0,他引:4
研制了用于扫描近场光学显微镜的新型光纤探针,采用熔拉法和腐蚀法相结合制作出掺Er^3+光纤探针,实验测试了这种光纤探针的放大的自发辐射。探针可提高系统的灵敏度,降低图像的相干噪声。 相似文献