关于溅射离子泵电源性能指标的几点建议

对中国科技大学国家同步实验室蒋迪奎等三位作者提出的关于国产SIP电源的性能指标提供几点补充和建议电源功率，起动电压和分挡，短路电流和起动特性，以及噪声等，并对其进行了讨论。     

一种小型离子泵电源的设计

真空行业的迅速发展对离子泵电源提出了新的需求与挑战,小型轻量、智能控制和节能高效的离子泵电源将成为行业发展趋势。本文提出了一种通用性强的小型离子泵电源的设计方案,介绍了系统组成与拓扑结构,给出了电路参数计算和分析说明,并对该电源进行工程上的测试验证。实践表明,该电源能适配多种型号的离子泵,工作稳定可靠。     

微型复合溅射离子泵的设计研究

本文介绍了一种非蒸散型吸气剂（NEG）与微型溅射离子泵（SIP）集成构成的微型复合溅射离子泵。测试结果表明，当吸气剂激活后，复合泵的抽速达到0．45L／8，比未加吸气剂的同型溅射离子泵抽速提高了28％。该复合泵使真空器件的真空维持效果良好，可广泛应用于中小型的密闭真空器件中。     

国产溅射离子泵主要性能测试及现状

在相同的条件下使用同一套测试装置,按照国家机械行业标准JB/T2965-92的要求,对国内几个主要溅射离子泵生产厂家提供的商用溅射离子泵进行性能测试,列出并分析测试结果,使大家对国产溅射离子泵目前的状况有所认识,同时期待国内真空泵厂能够与时俱进,进一步改进和提高溅射离子泵性能以满足国内科技发展的需要.     

用溅射离子泵轴氦

本文中给出了惰性气体和传统型的二极型和三极型泵的氦抽速和抽气量的大量数据。报导了抽氦之后各种不同泵再生程序的有效性，包括烘烤和Ｎ２辉光放电清洗特性。本文还报导了随后抽Ｎ２时氦的比较解吸情况。这些泵的Ｎ２抽速作为确定泵尺寸与其相应氦抽速关系的基准。     

提高溅射离子泵抽速的研究

按抽气过程推出了溅射离子泵的抽速公式。实验研究了阳极结构、阴极材料对提高抽速的作用。通过离子泵抽氩清洗后抽速提高现象的分析研究.证实了阴极材料表层成分对离子泵抽速有几倍的影响;钛阴极的泵在抽氮气达到稳定值后,阴极表层即盖满 TiN,而泵的正常抽速是离子溅射 TiN 生成的钛原子在阳极表面抽气提供的。研究表明,理想的离子泵阴极材料不仅应当溅射率高,溅射膜有高的吸气性能,而且应对入射的被抽气体原子有足够高的扩散能力。     

微型溅射离子泵性能测试

本文介绍了小抽速微型溅射离子泵的性能测试系统和参考机械行业标准确定的测试方法,探讨了测量结果误差来源.实验测试了微型溅射离子泵的各项性能指标,为进一步研制提供了依据.     

极高真空溅射离子泵的研制

研制出了获得极高真空的溅射离子泵，该溅射离子泵４小时烘共烤后温度降至１００℃，装磁钢，妄动离子泵进行敢，３４小时后压力达５．８×１０＾－１０Ｐａ。从抽速实验结果来看，该泵在１０＾１０Ｐａ时仍有１００Ｌ／ｓ的抽速。说明此泵在较 压力下仍有较强的潘宁放电。     

基于蒙特卡洛法溅射离子泵泵腔结构研究

采用蒙特卡洛方法对溅射离子泵腔抽气通道内的气体流动规律进行数值模拟。建立了不同溅射离子泵结构的几何模型, 计算了气体分子在不同泵腔结构中进出比例, 分析了腔结构对反流量的影响, 得到了抽气组件在不同泵腔结构中的抽气效率, 探讨各种类型腔结构的抽气特点;最后计算了舱体高度对抽气性能的影响。结果表明:在相同条件下, I型泵腔结构抽气性能最好, T型泵腔结构次之, 双侧型泵腔结构抽气性能最差。     

全自动溅射离子泵电源及其性能检测

介绍了一种全自动溅射离子泵电源.有关性能检测及技术应用都作了论述.对采用电子技术解决各种问题的关键要点也进行了评论,并得出几点结论.     

标准灯供电电源设计

标准灯需要高质量的供电电源。本文分析了白炽灯的性能特性 ,总结了电源的设计要求 ,给出了一种能自动逐渐接通和关断的恒流电源的试制过程 ,对恒流源的不稳定因素进行了分析和讨论 ,并对关键元件的选用做了必要的说明     

开关电源抑制传导性电磁干扰的设计与仿真

本文根据开关电源在开关快速开关的过程中存在dv/dt效应和传导性辐射的情况，提出一种开关电源抑制传导性电磁干扰的缓冲电路设计方法。仿真研究证明了这种缓冲电路在抑制传导性电磁干扰的有效性。     

反激式开关电源变压器的设计

针对工作在连续电流(CCM)或断续电流模式(DCM)下的反激式变压器设计中存在的计算公式众多、参数设计困难等问题,提出了一种新的反激变压器设计方法.该方法统一了两种模式下的变压器计算公式,有效地解决了磁芯大小、原边电感值、气隙大小、原边线圈的匝数、线径等的参数设计,提高了反激式变压器设计效率,降低了计算难度,有利于反激变压器的快速设计.     

Design of low-leakage power supply transformers for high-precisionelectronic instruments

In most electronic instruments, the magnetic interference generated by the power supply transformer induces noise in the measuring circuitry, limiting the overall precision of the instrument and significantly reducing its accuracy at low-level measurements. A method for reducing the intensity of the noise-signal, which is based on a low-leakage design of the power supply transformer, is presented, and its effectiveness is demonstrated through testing of a prototype designed and built according to the design procedure given here. Finite-element analysis is used to predict the magnetostatic performance of the transformer design prior to building a prototype. It is demonstrated that the finite-element analysis is an effective tool for saving time and resources in developing transformer prototypes     

Design and construction of double-Blumlein HV pulse power supply

A double Blumlein pulse generator is constructed using a coaxial cable. This power supply is capable of providing a voltage up to 20 kV across a matched load and 40kV across an open load with a charging voltage of 10 kV. It is designed to provide a pulse width of 110ns. A rise time of ∼10ns is obtained with present spark gap. A rotating spark gap is also designed and constructed to get a pulse repetition rate of 25Hz. Although, in the present work this pulse generator is used to study the streamer discharge in air, it is useful in many other applications also.     

一种反激式LED驱动电源变压器设计方法

变压器作为LED驱动电源的核心部分,其设计方法较多,但是大部分设计方法都有公式多、计算困难等缺陷.研究提出一种反激式LED驱动电源变压器设计方法,从电感的电学特性引入变压器相关参数的计算,并结合工程实践给出了相关参数计算步骤.最终通过相关实例对该方法进行了验证,并且与电源设计软件PI Expert相比较.结果表明,该方法有效可行,且对参数的选择更具有灵活性.     

基于可编程片上系统的宽频带超声波电源系统设计

针对当前超声波处理装置的频率单一、专机专用等问题,提出了一种基于可编程片上系统(System-On-aProgrammable-Chip,SOPC)的新型宽频带超声波电源系统。该系统基于现场可编程门阵列(Field-Programmable Gate Array,FPGA)可编程逻辑及数学运算等方面的优势,移植了NIOS II软核作为主控制器,移相脉宽调制(Phase-Shifted Pulse-Width-Modulation,PS-PWM)用于调频调功,正交相关电路检测输出电压与电流间的相位差。实验结果表明,该方案能在指定带宽范围内(20~40 k Hz)使超声波振子工作状态趋近于谐振状态。     

基于STM32的频率和功率可调非接触供电超声电源设计

为解决接触式供电中漏电、磨损、电能传输不良以及超声电源在加工中谐振频率漂移、跟踪速度慢、输出功率不稳定等问题,文章以STM32单片机作为主控系统,设计了一种频率和功率可调的非接触供电超声电源。根据采样反馈电路采集的电压电流相位差和有效值信号,采用锁相环和模糊比例积分(Proportional Integral, PI)控制相结合的方法对频率进行跟踪,并用传统 PI 控制法控制输出功率。在 Matlab 软件中搭建电源仿真模型,利用附加电阻、附加电感和附加电容模拟加工过程中负载参数的突变,对有频率调节和功率控制子系统以及没有子系统的电源模型分别进行仿真。仿真结果表明,电源输出功率稳定在 248 W。当负载参数发生改变时,电源的谐振频率发生漂移,经过频率自动跟踪子系统的调节后,电源在 0.01 s 后重新回到谐振状态。此控制算法实现了频率快速跟踪和功率控制。     

基于SG3525控制的车载逆变电源设计

介绍一种基于SG3525控制的车载逆变电源的工作原理和电路设计.主电路采用典型两级变换的逆变结构:第1级变换通过SG3525控制器产生高频脉冲宽带调制(PWM)波,对输入信号升压整流;第2级变换通过NE556和CD4013芯片搭建逆变控制电路,将直流信号变换成工频信号;设计电池过压、欠压,输出过流、过热和输出欠压等保护电路.经验证该逆变电源具有可靠性高、电路简单、体积小等优点.