涡轮分子泵轴承的油脂润滑

一、引言 近年来,采用涡轮分子泵获得“清洁”超高真空的场合日益增多,因而有关涡轮分子泵“清洁”程度或返油水平的研究和讨论成了重要的论题[1、2、3]。 大多数的测试表明:在操作无误的情况下,涡轮分子泵可将油蒸汽的返流率降低到传统测量方法的可检水平以下。但是,只要分子泵内有油面存在,就构成一种炭氢蒸发源,操作偶有失误,泵油就有可能以气相或表面迁移等方式向泵的进口侧返流污染被抽容器。因此,进一步降低涡轮分子泵运油水平的最好措施;是彻底取消油润滑的轴承,以空气动压轴承或磁悬浮轴承代替。采用这两种支承的分子泵虽已有商品问…     

TURBOVAC型磁悬轴承涡轮分子泵

本文介绍一种经过数年积极研制而成的涡轮分子泵，其结构为ＴＵＲＢＯＶＡＣ型，涡轮 转子完全用主动的磁轴承悬挂。因此首先得出了二个特征： 由于不使用有机润滑剂而无碳氢化合物；由于涡轮转子的有利的阻尼性能而产生最小的 振动。文内还分别报导此泵的真空技术特性。     

改进的涡轮分子泵

本文介绍了一种抽速达1600升/秒的最新式涡轮分子泵的结构和性能。为了达到所要求的抽速,叶片的几何形状、叶轮的排列方法,以及压缩比的选择,都是根据不含有经验成分的理论,从大量模型泵中计算出来的。这种泵的机械尺寸与十年前相同,而抽速却超过了10倍。新型泵还安装了一种对水蒸汽抽速为1600升/秒的多层液氮致冷板。 1958年N.Becker描述了第一台商品化的轴流涡轮分子真空泵(普发伊费尔公司 TVP500型)。Becker认为,涡轮分子泵的工作原理来源于盖德的分子牵引抽气的理论,所不同之处在于它在工作时在互相牵引面之间采用较大的间隙,而且这…     

涡轮分子泵的动平衡

一、前言 旋转机械的不平衡是引起振动的常见原因之一。在高速旋转机械中,不平衡则是很严重的问题。挠性转子平衡问题。更是目前解决许多高速机械振动问题的技术关键之涡转分子泵FB—450A转速:24000转/分 FB—110转速:43000转/分一般都过第一临界转速,故为挠性转子。动平衡的目的就是要保证涡轮转子在启动和工作的过程中,使轴承所受的动压力、转子本身的变形都在允许范围之内。FB—450A分子泵原设计要求达 G0.4级。 二、分子泵挠性转子用影响系数法 计算不平衡量及其数据处理 1.转子在不平衡力作用下的变形和振动 一个静态不平衡的转子,…     

涡轮分子泵用于加速器

加速器是用人工方法使带电粒子受电磁场作用而加速到高能量的装置。为保证带电粒子能顺利地加速到预定的能量,就要保证粒子在运动过程中尽可能避免与气体分子碰撞而造成不必要的影响和损失,这就要求粒子必须是在真空中运行,也就是说,真空系统在加速器中是必不可少的。上海先锋电机厂的 J—J2型电子静电加速器的真空系统包括电子枪、加速管、磁透镜、三通管、软连接、阀门、扫描真空盒和抽气机组等。系统的真空度要求达10~(-4)帕量级。满足     

涡轮分子泵三十年

简要回顾了涡轮分子泵的发展史;叙述了它的工作原理。介绍了测定泵的抽速的简易方法。在介绍发展史的同时还说明了它的新应用。涡轮分子泵与差级抽气相结合,使预抽技术有了更高的使用价值,并使小型干式前级泵有了更多的应用。简要预测了涡轮分子泵的发展趋势。     

涡轮分子泵性能测试方法

ISO/TC 112(61部分) 103EISO/TC 112/SC 3(30部分) 79(修订稿) 引言 本国际标准的目的是要确保涡轮分子泵 (以下简称分子泵-校注)的性能测试尽可能在相同的条件下按相同的程序进行,以便为不同的制造厂或在不同的实验室中进行的测试,以及各制造厂产品说明书中对泵的性能介绍有一个正确的,可供比较的基础,这样对制造厂及用户双方都有利。 1.内容及适用范围 本标准涉及分子泵极限工作压强,抽速及压缩比的测试方法。因为这种泵工作的压强范围扩展的很宽,而性能测试所采用的方法又与涉及的压强范围有关,所以选定两个压强范围这就是: (a) 1…     

涡轮分子泵的整机动平衡

由于涡轮分子泵在高转速下工作作,其转子的不平衡量引起的振动将会影响分子泵的性能和工作环境,严重时可引起破坏,因此,对分子泵的转子必须经过严格的动平衡。本文介绍了用影响系数法对FB-110型涡轮分子泵进行整机动平衡的步骤,以及测量不平衡响应幅值、相位的方法,并用计算机程序控制平衡过程,程序采用人机对话的方式,简单易懂。实验结果表明。影响系数法平衡涡轮分子泵是切实可行的,而且残余不平衡响应可低于设计指标的要求。分子泵外壳振动通常小于0.05μm。     

涡轮分子泵的运用特性

涡轮分子泵是一种纯机械的压缩型排气泵,它具有启动快,可获得洁净的超高真空的特点,目前正日益受到人们的重视。在文献(1)中笔者根据涡轮分子泵的作用原理,推导了泵的两个主要参数,即泵的抽速和压缩比的表示式,并讨论了它们与实验结果比较的情况。泵抽速的表示式为 S=SBDE/(SB+DE) S～GU(l)此处SB──第一级轮叶处的抽速; DE─—进口法兰管道、防裂纲等呈现的流导; G──决定于轮叶几何形状和尺寸的常数; U──泵的转速。 泵压缩比为 K= KI、K2……K. K1～exP(gu)(2)此处K1、K2……Kn表示泵内第1、2……n级轮叶的压缩比; g—决…     

涡轮分子泵的统计理论

现有涡轮分子泵理论有一定的局限性和片面性。本文从统计物理出发,分析了涡轮分子泵的工作原理,证明了涡轮分子泵的抽气作用并不是 Gaede 分子拖动原理的一种类推,而是由于叶片与被抽气体之间的高速相对运动使入射分子与上下叶片表面的碰撞几率以及从叶轮一侧直接飞入另一侧的几率不相等。对于这种泵来说,分子拖动理论实际上只是在叶片速度不很高时的一种近似数学描述。当叶片速度接近被抽气体分子的热运动速度时,泵的抽速和压缩比将趋向饱和,即进一步增加叶片速度时,泵的抽速和压缩比均不可能有显著增加。最后还用统计理论讨论了有限长叶片的何氏系数和压缩比,其结果与实验符合得很好。     

涡轮分子泵的发展近况

一、前言1913年,盖德提出了一种新型的与位移原理无关的机械真空泵。他的分子牵引泵实际上是这样的设想:气体分子不断地与运动着的固体表面相碰撞,按一定的方向被抽出。基于同样的设想盖德发明了扩散泵,在扩散泵中,气体分子被高速喷射的蒸汽分子带出。他将几级泵串联在一起,当前级压强为1毫巴时,对空气的压缩比达到10~6,抽速为1升/秒。一种改进的盖德分子牵引泵在1923年由霍尔维克(Hol week)提出。转子在具有环形槽的圆柱筒中转动。它所达到的抽速约为5升/秒,对空气的压缩比为10~6的好几倍。     

现代涡轮分子泵的进展

本文叙述了涡轮分子泵近期迅速发展的原因,涡轮分子泵采用的轴承型式的演变过程,宽域型复合分子泵的开发与磁悬浮轴承在涡轮分子泵上的应用。     

短叶片涡轮分子泵—一种复合分子泵

本文分析了涡轮分子泵和拖动分子泵抽气机理的不同物理图象，并论证了短叶片涡轮分子泵的抽气作用是这二种分子泵抽气机理同时作用的结果，从而，这种泵具有涡轮分子泵和拖动分子泵的共同优点。     

涡轮分子泵抽气的质谱分析

一、引言 涡轮分子泵是一种较先进的泵,它具有工作范围宽,运行方便,在10～(-3)托以上工作时抽速稳定,能获得准无油的超高真空等优点。尤其是对于要求预先获得高或超高真空然后在10～(-3)～10～(-4)托的连续气流下工作的场合特别适用,因此它被广泛地运用于受控核聚变装置的油气系统,国外几乎所有的聚变装置如PLT,JFT-2,D-Ⅲ,TFTR,ALCATOR等均采用涡轮分子泵为主体泵的抽气系统,中国环流器一号装置HL-1也是如此,本装置以F-450分子泵为主抽气泵,已获得 1× 10～(-8)托的干净的本底实空,而后在10～(-4)托的气压下长期工作要求数百小时…     

涡轮分子泵的压缩比和泄漏

涡轮分子泵中存在着通过分子泵各级的泄漏现象，影响了分子泵实际的压缩比。如果在计算压缩比时不考虑这个影响，那么实际测得的压缩比大多远小于计算所得。对于从高压强级到低压强级的泄漏所产生的影响，本文作了一个理论估算。提出了一个简单模型亚计算泄漏引起的压缩比的降低。     

空冷型涡轮分子泵的研制

本文介绍新研制的空冷型涡轮分子泵系列。性能测试和现场试验与过去的水冷型相比，在抽速、压缩比、极限真空、剩余气体、振动、噪声等方面都得到了等于或超过以前的结果。新型空冷涡轮分子泵的特点是： （１）不需水冷，所以安装和操作简单，而且可靠。 （２）润滑油的寿命长，超过一年。 （３）与溅射离子泵和冷凝泵等其他超高真空泵相比，运转和维护费用最低。 该新系列的研制是把日本岛津多年经验的飞机用高速转动机器和各种真空机器的设计、制造技术为基础而实现的。同时还研制了具有不同特点的控制回路和保护回路的泵用高频电源。因为涡轮分子泵既适用于无油反复抽降，也适用于长时间超高真空抽气，所以可望广泛应用．目前研制的空冷涡轮分子泵有抽速 ２２０升／秒、４５０升／秒和１４５０升／秒三种规格。     

对新式涡轮分子泵的看法

我们同最近发表的一些文献所持的观点不一样。本文论证了对轻气体的压缩比并不取决于涡轮叶片的几何形状。在这些文献中对不同抽速解释为与被抽气体的性质有关，这种解释没有充分的根据。本文以表格的形式列出了压缩比和抽速的数据。     

关于涡轮分子泵的一些研究

本文在简要地评述分子泵的发展过程后,着重研究了涡轮分子泵的机理及其特性,并与实验进行了比较,文后对分子泵的发展前景作了展望。