以低温泵为主泵的真空检漏系统研究

由于分子泵对氦气有较大抽速,因此在真空检漏系统中通常用分子泵作为主泵,但当检漏容器很大时需要大量分子泵。低温泵具有清洁无油、抽速大的优点,如果在检漏系统中能够采用低温泵作为主泵,可以大大减少真空泵数量。本文对以低温泵为主泵的真空检漏系统进行了实验研究,并对实验现象进行了分析。研究结果表明,低温泵可以有效提高检漏系统的工作真空度,对检漏系统的有效灵敏度影响很小,但以低温泵为主泵的检漏系统的反应时间比以分子泵为主泵的检漏系统反应时间长。     

1989年《真空》杂志主题目录

14C 真空技术及设备 用国产锆一铝吸气剂获得极高真空性能的研究 2(1) 大型全金属超高真空规管比对系统 2(40) 五级金属油扩散泵的研制 2(52) 短叶片涡轮分子泵──一种复合分子泵 2(58) 爪型泵型线的研究3(9) 制冷机低温泵中光屏蔽问题的探讨 3(34) 真空阀门的改进3(45) 用于     

IC生产工艺中真空获得设备的合理应用

真空获得设备如何在ＩＣ生产工艺中正确合理的使用是至关重要的，作者依据 多年从事半导体设备设计和维修工作的实际经验撰写了本文。阐述了罗茨泵、油扩散泵、涡轮分子泵、钛升华泵及低温泵等系统在半导体生产工艺中合理使用的经验。     

改善外延生长气氛和外延材料性能的一种抽气方法

分子束外延材料的质量强烈地依赖于分子束外延生长时环境气氛(主要是碳氧气氛).尽量地减少碳.氧对外延膜的污染,提高外延生长时的真空度对高质量外延膜的生长十分重要.针对国产分子束外延Ⅲ型设备在材料外延生长时与国外同类设备相比真空度不好,碳、氧污染比较严重的问题,利用低温泵对有害气体(水蒸汽、CO_2、CO)具有巨大的抽速、较高的极限真空、安装、维护简便等优点,在国内首次将低温泵和离子泵的组台抽气运用于分子束外延材料生长实验.实验结果表明:低温泵与离子泵组合抽气提高了生长时的真空度,降低了 H_2O、CO_2,CO 等气体的分压.外延材料碳、氧污染明显降低.外延材料的性能得到改善.众多实验结果表明:在国产设备上利用低温泵与离子泵组合抽气进行分子束外延材料生长的尝试是有效的、成功的.同时,为新一代分子束外延设备的真空系统设计及工艺改进进行了有益的探讨.     

致冷机低温泵在真空镀膜中的应用试验

本文扼要地介绍了低温泵的抽气原理及其主要的性能参量,同时叙述了ZDB型低温泵用于三种真空镀膜装置和离子注入机的抽气特性及承受热冲击的情况,用低温泵抽气系统所得膜片的性能比扩散泵抽气要好得多。     

兰州重离子加速器真空系统的设计问题

兰州重离子加速器是串列回旋加速器系统，用以加速从氢到氙的重离子。注入回旋加速器真空系统利用了原有油扩散泵。主回旋加速器真空系统是由一台１００立方米真空室和一套相应的超高真空系统组成的。本文介绍了主回旋加速器真空系统的设计要求、选取的设备和运行情况。选用的八台ＢＡＬＺＥＲＳ ＲＫＰ８００低温泵具有总抽速１６０ｍ２／ｓ，可满足设计气载的要求，在真空室内获得１０－６Ｐａ真空．两台ＰＦＦＥ　ＩＦＥＲ　ＴＰＨ５０００涡轮分子泵组成辅助排气系统．另外还有粗抽系统和液氮流程。全系统已于 １９８６年９月建成并投入运行。其性能满足设计要求．     

新型的阱

阐述自主创新研发的CG系列(0.5～75 L/s)油雾过滤器的特性及用途.阐述了特殊的高吸附性能纤维活性炭CF系列吸附阱;CC系列三级旋风式颗粒除尘器.新型的阱已用于低温泵系统、分子泵系统、罗茨泵系统、干泵系统.     

低温抽气的超高真空系统的烘烤

考虑到超高真空系统烘烤期间低温泵的热负载问题,介绍一种简单的热挡板,该结构允许烘烤到200℃,而且在系统正常工作期间不影响低温泵的高抽速。 获得清洁的超高真空(UVH)的先决条件是能够烤烘真空室,使放气减到最少。这样的系统常用溅射离子泵或扩散泵抽气。但主泵的选用可有多种的考虑。近来,涡轮分子泵和低温泵已经成为经济可行的替换泵种,这就为用户在真空获得手段的选择方面有了更大的回旋余地。由氦气深冷致冷器冷却的低温泵[1],其工作原理是将可冷凝的各种气体冻结在一系列冷板上,并将剩余的气体低温吸附在保持8～15K的活性碳表面。…     

油扩散泵返油率的控制分析

基于真空系统油扩散泵的工作原理,分析油扩散泵返油的原因,总结出油扩散泵控制返油的方法;引用实例阐述如何查找返油原因;并根据具体原因采取具体措施,以降低油扩散泵的返油率。     

如何选择和使用涡轮分子泵

本文首先介绍了涡轮分子泵的工作原理,结构型式及其优缺点。为了利用涡轮分子泵,获得清洁真空,国外多利用干式机械泵作其前级泵,构成无油的真空系统。然而,目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵,构成了有油真空系统,如果操作不当,很难避免油蒸汽返流,对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空,国内外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验。这些对用户正确选择和使用涡轮分子泵有油系统获得清洁真空,有一定的参考价值。     

真空镀铝技术在反光布上的应用

介绍反光布的结构及反光原理,对其中形成反射层的真空镀铝技术做综述探讨。介绍了真空镀铝机的原理,主要包括真空系统和真空室。真空系统工作时,按照滑阀泵、罗茨泵、油增压泵、油扩散泵的顺序依次运行。真空室内卷绕室与镀膜室并联,其中卷绕室容积与镀膜室之比为3：1,工作时卷绕室的压力为镀膜室压力的10倍以上。其次,通过分析铝层结合力、温度湿度来阐述其对真空镀铝性能的影响。一般而言,玻璃微珠型的反光材料的镀铝层厚度控制在150～400A之间。为了保证该结合力,蒸发舟间隙为100～150mm,其与冷却辊的距离控制在160—240mm。当空气湿度大于85％时,考虑到被镀材料的放气,选择油性胶植珠的薄膜,否则真空度达不到要求。     

加氢处理润滑油基础油对真空泵油性能的改进

采用优质加氢处理的润滑油基础油生产真空泵油,改进油品性能;并从理论上分析化学组成对油品性能的影响.     

对《新的真空抽速特性系数及其应用》一文的讨论

指出新的抽速公式在扩散泵范畴内应用是正确的，在其他泵类应用时就不一定正确。     

油封式旋片真空砂在恶劣介质环境中的应用

油封式旋片真空泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一，应用面广而量大。但其在恶劣介质环境中（如含大量可凝气体、可凝结介质、灰尘，频繁大气起动及经常工作于高压强状态等）中使用，则因为油路易堵塞、油性能快速下降、被污染的油返入泵腔或排气阀易损坏而造成泵油浪费、砂性能下降甚至泵损坏，本文介绍了通过改进后的油循环结构及排气阀结构的油封旋片式真空泵，使其广泛应用于恶劣介质环境而保持长期性能稳定。     

钢包真空脱气处理工艺及设备

随着炼钢技术的飞速发展,真空脱气处理技术成为减少钢中气体和非金属杂质的有效措施,其关键在于如何获得真空.本文以某厂利用蒸汽喷射泵的钢水炉外真空处理为例,介绍了真空系统的设备组成,阐述了真空泵的抽气理论,利用边试验边改进的方法来优化蒸汽喷射泵的抽气性能.最后,给出了钢水的真空脱气处理工艺及其效果.     

油扩散泵的现状及发展

对国内外油扩散泵的主要性能及现状作了比较，初步分析出存在的差距，提出了今后泵的发展趋势。     

中性束注入器低温冷凝泵性能测试

中性束注入器(NBI)是一套用来产生高能带电粒子并进行中性化的设备.优良的动态真空特性是NBI获得高的束传输效率的重要保证.对布置于NBI主真空室的低温冷凝泵进行了低温抽气特性测试,结果表明,使用该泵能获得满足NBI要求的动态真空.     

GQZ—400新型高真空油增压泵

为使油增压泵在高真空领域有较高抽速，改进了现有油增压泵的结构，其极限真空和抽速有了显著提高。扩大了它的应用范围。在真空设备中得到了成功地应用。     

新的真空泵抽速特性系数及其应用

给出了以真空泵抽速特性系数表示的抽速计算公式，以实例说明如何求值和选定真空泵抽速特性系数，最后说明真空泵抽速特性系数应用。     

耐特种气体腐蚀涡旋干泵的研制

采用化学镀、氟涂料和真空离子镀(PVD)技术对涡旋干泵实施防护涂层,对转子和定子采用化学镀镍磷和氟涂料封闭技术制备防护涂层;对曲柄轴和曲柄销采用PVD技术制备Cr/CrN多层复合防护镀层。通过腐蚀试验表明,防护涂层可以长时间抵抗高腐蚀性气体的腐蚀,能够有效地提高涡旋干泵的使用寿命。