第七讲：真空检漏

第七讲：真空检漏关奎之（东北大学）二、检漏仪器（接１９９７年第５期第４４页）用于检漏的仪器有氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器、气敏半导体检漏仪及用于质谱分析的各种质谱计。这里主要介绍氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器的工作原理、结构及国...     

氦质谱检漏仪在溴化锂吸收式制冷技术中的应用

指出了氦质谱检漏仪在溴化锂制冷行业中应用的重要性.进一步介绍了氦质谱检漏仪的基本原理,结构,以及对溴化锂制冷机组进行氦质谱检漏时的检漏程序、检漏方法和注意事项.     

第三章 氦质谱真空检漏法的物理过程

用氦质谱检漏仪进行检漏的方法有真空法、加压法和背压法三种,它们都有各自的特点和适用对象。然而真空法的应用更为广泛。因此了解这种方法的物理过程,对于正确选择检漏系统、正确运用这种方法和解决检漏中出现的实际问题是非常必要的。     

涡轮分子泵逆检流漏技术研究

一、逆流检漏方法的特点在通常的氦质谱检漏法中,被检件接在检漏仪的高真空侧,被检件通过节流阀与检漏仪的质谱室相连,如图1所示。氦气通过漏孔进入被检件并被抽入质谱室,其中一部分被主泵抽走,另一部分在氦质谱室中建立起氦分压,由此形成了     

HL-2A装置真空室总体检漏

介绍中国环流器2号A偏滤器托卡马克装置真空室总装检漏及结果.根据其真空室特点设计了不同结构的检漏子系统,用氦质谱检漏仪、四极场质谱计与氦质谱检漏仪相结合的方法(双质谱法)分别进行零部件和真空室总体检漏,对有关检漏技术问题进行了讨论.     

空调器生产线的氦质谱检漏技术

氦质谱检漏技术在空调器生产中已得到了应用，产生了明显的经济效益。对于生产线的空调器整机检漏采用了加压吸枪法。研制的检漏设备分三部分：充氦系统、氦质谱检漏仪和氦气回收系统，回收效率可达９０％以上。设计了一套二器（冷凝器和蒸发器）氦质谱检漏设备。这套设备可对两器进行总检，其检漏速度达５０ｓ／台，灵敏度达１０－９Ｐａ·ｍ３／ｓ。     

真空技术及应用系列讲座 第十三讲:真空系统的检测技术

(上接2005年第1期第64页)5.4.4　质谱仪检漏法质谱检漏是最灵敏和常用的检漏技术,实际应用的质谱检漏仪都采用高灵敏磁扇形残余气体分析探头。为获得最高灵敏度,可适当降低分析器的分辨率。为此可选用质量数唯一,容易分辨并且大气内含量极少的试验气体。氦气是惰性气体,质量数为4,基本上符合要求。因此质谱检漏仪常用氦气作为试验气体,并称之为氦质谱检漏仪。这种仪器的分析器探头只对氦气分压力的变化有响应。氦质谱检漏仪最重要的技术指标是灵敏度。灵敏度是仪器输出信号的变化除以引起此变化的输入量变化。质谱仪的输出信号是表头读数,输…     

氦质谱检漏仪性能诸元关系的研究

本文根据顺流式氦质谱检漏仪和逆流式氦质谱检漏仪真空系统的结构配置特点,分别推导出这两类检漏灵敏度、最高入口工作压强、抽气时间、最小可检漏率、最大可检漏率、响应时间和清除时间等特性的普适性计算公式。这些公式能够解释有关的实验结果,有助于分子泵逆流检漏仪的研制开发。     

中国环流器HL和欧洲联合环JET的检漏技术进展

对HL环流器系列装置,开发了蒽-丙酮荧光液渗透检漏用于真空内衬的零部件检漏,灵敏度可以达到10-9Pa.m 3.s-1,示漏位置分辨小于0.5mm;对大容器真空检漏,采用四极质谱计和氦质谱检漏仪相配合的检漏法;对压力容器检漏,开发了真空罩吸枪-氦质谱检漏系统,还研制了适于抽除大量水汽的检漏真空机组。对氘氚放电的JET,使用普通的氦质谱检漏仪(扇形磁体型)受到真空室壁释放所吸留的氢同位素的、尤其是氘的严重干扰,因为示漏气体氦(4H e,4.0026u)与氘(D2,4.0282u)的质量数十分相近。在氦质谱检漏仪入口处串接选择性抽气泵——用液氮冷阱来抽除可凝气体、用分子筛泵或10K低温泵来抑制氢同位素本底,并前置一个涡轮分子泵来压缩加强采样气流等。这种加强组合能使原先的氦质谱检漏系统灵敏度提高3个量级以上。     

标准漏孔及其校准

随着我国航天事业的发展 ,各种型号的卫星、宇宙飞船、导弹和运载火箭相继研制成功。但是 ,由于各种泄漏也造成多起质量事故。目前 ,泄漏已成为我国航天器发射失败的主要原因之一。所以 ,航天产品密封检查尤为重要。氦质谱检漏仪是一种非常灵敏、使用广泛的检漏设备。在航天领域 ,承担着各种密封零部件、密封系统、整星和电子原器件的检漏任务。氦质谱检漏仪是一种比对仪器 ,在检测产品前要与一个已知漏率的标准漏孔进行漏率值的比对 ,即用标准漏孔对氦质谱检漏仪或整个检漏系统进行校准。只有经过校准的氦质谱检漏仪或检漏系统才能准确地测…     

氦质谱检漏仪现场校准方法研究

目前,用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准,由于受检漏仪线性范围的影响限制,不能对其全量程范围进行校准。为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准,将一系列不同量级漏率的薄膜渗氦型标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪,得到一组标准漏孔检漏仪示值,通过对标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线进行数学拟合,得到氦质谱检漏仪全量程测量范围示值与漏率值之间的拟合公式。其校准过程简单,能够提高氦质谱检漏质量。     

氦质谱正压检漏法

为了直接获得工作状况下的漏率 ,在模拟工况条件下 ,采用氦质谱检漏仪正压检漏法可满足这样的要求。这种方法具有广泛地推广价值。介绍了此方法的意义、检漏过程及计算公式。     

电真空器件的气密性检测

基于氦质谱检漏仪的结构和原理,设计了适用于电真空器件气密性检测的检漏平台。电真空器件的结构特点及测量精度要求决定了氦罩法和喷吹法是电真空器件氦质谱检漏技术中最常用方法,氦罩法测定总漏率,总漏率超出允许值后用喷吹法对漏孔准确定位。双回路复杂结构和复杂串联漏孔的定位,表明了氦质谱喷吹法在电真空器件检漏中的影响因素必须遵循的喷吹检漏原则。同时,温度、临时密封材料和设备材料吸附等因素会带来一定的测量误差。     

低温容器的氦质谱检漏

分析了大、小型低温容器的氦质谱检漏的各自特点及应注意的问题，讨论了部分国产氦质谱检漏仪的应用特点。     

基于MSComm的L200+型氦质谱检漏仪数据监测系统软件设计与实现

本文针对L200+型检漏仪检漏数据无法自动存储、无法显示数据变化趋势等不足,在面向对象的开发环境利用MSComm控件实现计算机和检漏仪的串口通讯.在此基础上设计并完成了L200+型氦质谱检漏仪数据监测系统软件的设计和编写,实现了L200+型氦质谱检漏仪检漏数据的自动存储、处理及显示,在实际工程中得到了较好的应用.     

嗅敏探枪累积检漏方法

氦质谱检漏法是目前使用最多、灵敏度最高的一种检漏方法。这种方法又可分为抽空法和加压法。所谓抽空法就是将被检件与检漏阀相连,利用检漏仪的抽气系统或专门设计的抽气系统将被检件内腔抽空,然后在被检件外部焊缝处施以氦气(喷吹法或氦罩法)。在一个大气压的压差作用下,氦气便通过漏孔进入被检件内腔并传输到检漏仪中,使检漏仪输出指示发生变化(如图1所示)。所谓加压法就是被检件内充以高压氦—空气混合气,氦—空气混合气在压差(1～几个气压)的作用下通过漏孔向外部大气中逸出,被检件外部用一种叫嗅敏     

真空漏率校准装置与检漏

本文叙述国内外真空检漏技术动态，着重介绍常用流量计法校准真空漏率的标准装置，结构、原理、最后统观一下氦质谱检漏仪发展与现状。     

逆扩散型氦质谱检漏仪的研究

一、常规型质谱检漏仪的发展真空检漏技术中,唯有氦质谱检漏仪灵敏度最高。广泛采用,发展较快亦较成熟。早在四十年代其检漏灵敏度为10~(-8)托·升/秒,到五十年代末达10~(-13)～10~(-14)托·升/秒。国内在六十年代以来分别研制的氦质谱检漏仪以及国外绝大部分质谱检漏仪新产品均属常规形式(见附表1、表2)。被检漏件与节流阀相连,由辅助机械泵完成粗抽。检漏时节流阀徐徐打开,调至质谱室允许的工作压强,质谱室真空由扩散泵抽气。为提高系统的真空度和质谱室少受沾污,一般加有液氮冷阱,前级有机械真空泵以及必要的一些辅助的旁路或     

带腐蚀性物料的真空系统在线检漏方法研究

带腐蚀性物料的真空系统,往往对密封性要求严格。为了进行带腐蚀性物料的真空系统在线检漏而进行研究,分析可行的检漏方法,提出适用手段。通过分析,经过分级冷冻、物料处理及选用适合的检漏步骤,能够使氦质谱检漏仪满足负压检漏条件,从而使用喷氦法确定漏点位置,使用氦罩法获得准确的漏率。实际应用证明,该方法用于带腐蚀性物料的真空系统在线检漏,能够准确、有效的检测漏点位置及漏率。该研究为带腐蚀性物料的真空系统在线检漏提供了技术支持。     

卤素(气态)供给与回收检漏系统研制成功

电子工业部第十二研究所,是我国最早从事电真空器件研究的大所,改革开放以来,“军转民”的科研成果不断涌现,其中九十年代初,就研制成功的“氦质谱正压检漏系统（即简称为“氦回收系统”）,是我国当时第一家推向市场（已销３０余套）的商售设备,最近又研制成功“卤素（气态）供给与回收检漏系统”,也同样是国内第一家向社会推荐并申报了专利。一、用途电冰箱、空调机运行线的抽空前检漏,热交换器、蒸发器、分体机的室内机,柜机的室内机等任意专用线,可以设点检漏。其中卤素检漏仪,由厂家另行购买。二、性能特长１、检漏灵敏度,…