大角度离子注入机控制系统软件设计

大角度离子注入机的控制系统具有控制部件和控制算法复杂、支持SEMI自动化软件标准等特点,通过优化软件结构和关键控制算法,成功实现控制系统设计和GEM标准组件设计,测试证明软件自动化程度高、稳定、可靠。     

大角度离子注入机控制系统软件设计

介绍了大角度离子注入机控制系统软件的设计和实现,重点介绍了控制系统的总体设计和系统软件的结构设计、软件的具体实施和系统软件主要模块的功能.     

大角度离子注入机中的颗粒污染

针对大角度离子注入机中的颗粒污染进行了分析和探讨,着重描叙了颗粒的产生,对注入掺杂的影响;介绍了颗粒的测量和监控;重点列出了如何从设计上减少颗粒污染的产生途径以及生产设备怎样预防颗粒污染。     

北京中科信研制的100nm大角度离子注入机最新进展

北京中科信电子装备有限公司自行研制的100nm大角度离子注入机样机，继在中芯国际天津大生产线上调试、运行成功，各项工艺指标全部一次通过测试后，项日进展又传捷报——北京大学信息科学技术学院微电子研究所利用100nm大角度离子注入机成功研制出亚100nm工艺器件。     

大角度离子注入机的束流自动调节

阐述了大角度离子注入机的束流自动调节,着重描述了新建立菜单的第一次调束,从束流的引出到固定法拉第杯获得目标束流的具体调节步骤,包括束流的均匀性检测的全部过程,另外对调束过程中的一些算法也进行了细致的介绍。     

LC19离子注入机控制方法及主控制器原理分析

为了使离子注入机满足生产线工艺的要求，控制系统的设计必须使控制功能完善、控制命令响应迅速、命令执行准确可靠、异常处理迅速有效和整机工作稳定可靠。LC19离子注入机控制系统采用主从集中式控制方法，较好地解决了控制功能复杂与控制系统反应迅速、高效、稳定、可靠之间的矛盾。其主控制器的设计采用双端口存储器传递主控制计算机的命令，实现对各子控制系统的控制，其原理简单，但很好地解决了主从式集中控制方法中信息高速传递的难题。计算机与主控制器间采用8位总线送数，主控制器与子控制器之间采用高速串口送数。主控制计算机可向双端口存储器的A，B两区交替发送命令。而且，主从控制器之间采用了巧妙的通讯监控方法，一旦发生通讯故障，子控制器就会清“0”复位，避免机器失控。介绍了主从式集中控制的硬件及其特点，分析了主控制器的设计原理，说明了其软件流程，简述了其调试结果。     

M5525100-1/UM型大角度离子注入机

1、产品及其简介M5525100-1/UM型大角度离子注入机可满足100纳米,8英寸集成电路制造工艺的要求,适合源漏区的大角度晕、袋、栅阈值调整、阱等注入,可获得良好的注入均匀性、重复性。M5525100-1/UM型大角度离子     

国产65nm大角度离子注入机进入晶圆生产线

<正>由北京中科信电子装备有限公司自主研发的300mm/65nm大角度离子注入机进入中芯国际(北京)集成电路制造有限公司,开始接受国际主流生产线的技术测试与器件工艺检验,为这一国产集成     

大角度离子注入机的束纯度控制

从大角度离子注入机束线系统设计上的改进出发,对加/减速模式和多电荷注入等情况下的束能量纯度控制进行了阐叙,同时依靠大量的实验,从SIMS的实验数据来验证控制设计的合理性和有效性.     

大束流离子注入机能量污染的研究

能够精确控制离子注入的能量从而控制掺杂的深度是离子注入机的重要特征。本文讨论了大束流离子注入机能量污染，产生的原因及降低能量污染的方法。     

强流氧离子注入机装卸片控制系统

介绍了一种用于强流氧离子注入机的装卸片控制系统,控制系统采用多轴运动控制器实现了多个电机的协同运动,解决了晶圆在传送过程中的中心偏差校正和角度校正的问题,并最终实现了晶圆的全自动传送。     

恒压供水自动控制系统的设计

介绍了一种楼房稳压稳流供水系统,它采用单回路闭环定值控制系统。通过PID调节器的自动调节,由变频调速器的改变水泵电机的转速,进而改变水泵出口流量,使水泵出口水压恒定。     

定位车驱动系统控制方式研究

针对工作中定位车驱动变频电机同步性差,驱动电机频繁跳闸的情况,分析和探讨了其主要原因。在外部机械结构难以改善的特殊条件下,通过深入分析,最终将驱动电机的控制方式由原来的主从控制方式改为单对单控制方式,成功解决了驱动电机频繁跳闸的问题,消除了驱动齿轮打齿等重大机械事故,使设备运转良好。对类似工程项目的电气设计提供了可借鉴实例。     

多媒体教学播放控制系统的研究与设计

针对教育现代化对多媒体设备需求的不断增加,设计了一套功能全面、经济实用的多媒体教学播放控制系统。以51单片机作为中央控制器,利用RS485总线将教室终端和节目源设备联合起来,中央控制器接收并执行总控计算机的命令,将节目源分配给不同的终端,各个终端可以对节目源进行远程控制,从而实现多媒体教学系统的集中管理和远程控制,达到辅助教学的目的。另增加备用键盘,以便在发生故障时取代PC机的功能,实现系统保护。