共查询到20条相似文献,搜索用时 15 毫秒
1.
一、前言 涡轮分子泵是一种能获得清洁超高真空的真空获得设备。它具有在极宽范围内抽速恒定、对被抽气体无选择性、起动快、操作方便等特点,目前已广泛应用于高能物理,表面物理,等离子体技术,各种分析仪器,电真空器件生产和真空技术各领域。 目前所生产的涡轮分子泵,是必需在有前级泵的条件下工作的真空泵。实验表明,由于级泵抽速的不同和前级泵联接管道的差异,对涡轮分子泵的性能测试结果有较大影响。涡轮分子泵的性能测试规程,规定其前级抽速是涡轮分子泵对不同气体名义抽速的 0.02至0.1倍。据此,如测定110升/秒抽速的涡轮分子泵性能时,… 相似文献
2.
3.
改进涡轮分子泵性能的几项措施 总被引:1,自引:0,他引:1
可以概括地说,减少真空泵和真空室连接件中的气流损失就可以改进涡轮分子泵的抽速。 使用另外的与涡轮分子泵相适应的超高真空泵系统来降低其极限压强是一种合适的方法。 有时降低前级真空端氢的分压强也能降低极限压强。 相似文献
4.
5.
6.
7.
涡轮分子泵是一种机械的超高真空泵。本文阐明了其结构,并与盖德分子泵作了比较。考虑了由返扩散和漏气所造成的损失之后,把盖德分子泵的公式作了修改,然后用于涡轮分子泵方面。用此法能算出泵转速对于各种气体的压强比。然后把计算值和实验值作了比较。压强比的对数与分子量的平方根成正比。对于质量数 120的压强比为10~16。对于譬如像比较重的油蒸汽分子来说,压强比的值就非常高,甚至用最新的仪表也测不出来。另外还指出,压强比取决于进气的抽速。还指出了由此曲线来计算分子泵(连接已知抽速的前级泵)抽速的程序。如果前级泵尺寸合适,那… 相似文献
8.
一、概述 由于立式涡轮分子泵(以下简称分子泵)的结构尺寸比较精确,再加上高转速,一些主要件稍有不对称或转动不平衡,就会产生很大的振动和噪声,甚至破坏分子泵。因此,对分子泵的加工和装配精度,轴的刚度,轴承的精度和质量以及润滑等都有严格的要求。同时,也要求使用人员要熟悉各生产厂的技术说明书,懂得分子泵的安装与使用操作步骤。这对正确使用分子泵是十分必要的。 二、前级泵的选择 当气体分子在涡轮叶片间的平均自由程减小到叶片间距十分之一时,分子间的碰撞过多,使气体的传输受到影响。由于分子泵的人口端处于低压状态,不会使气体的… 相似文献
9.
普通的涡轮分子泵采用电子变频电源或频率变换器,来提供涡轮分子泵的起动电源(频率发生器)和速度调节的保护控制。由于从几种设计中受到启发,研制了一种带有自动同步磁滞式电机的涡轮分子泵,用于核物理加速器或其它大型设备中。该电机不要求特殊专用电源。本文介绍了一种可以由中心电源操纵的涡轮分子泵,中心电源可以提供稳定电压和中频电源。该涡轮分子泵能够直接接在电源上,对于涡轮分子泵的广大用户来说,这样可以大幅度降低购价和安装费用。 相似文献
10.
采用蒙特卡洛方法计算单级涡轮叶列传输几率,引入气体分子与固体壁面反射适应系数模型,评估不同反射条件对单级涡轮叶列抽气特性的影响。采用积分中值法计算涡轮叶列传输几率,提高涡轮级抽气特性的计算精度。采用分段流态判别法计算牵引通道的抽速和压缩比,减少牵引级抽气特性的计算误差。提出涡轮级与牵引级之间的三种过渡结构,实现复合分子泵抽气特性的级间匹配,提高复合分子泵的性能。提出牵引级阻挡结构和分段式结构,有效减少牵引转子与定子间的间隙泄漏,提高复合分子泵的整体性能。通过算法改进,提高了涡轮分子泵抽气特性的计算精度;通过结构优化,提高复合分子泵抽气性能,为高性能复合分子泵开发奠定了基础。 相似文献
11.
12.
本文分析了涡轮分子泵和拖动分子泵抽气机理的不同物理图象,并论证了短叶片涡轮分子泵的抽气作用是这二种分子泵抽气机理同时作用的结果,从而,这种泵具有涡轮分子泵和拖动分子泵的共同优点。 相似文献
13.
本文讨论了涡轮分子泵前级压强对压缩比测量的影响,并通过实验求得了升压法测量中不同提升量时的压缩比修正曲线。 相似文献
14.
15.
储继国 《真空科学与技术学报》1996,(2)
介绍一种新颖拖动分子系,其抽速达到传统拖动分子泵的30倍左右,达到了涡轮分子泵的水平。该泵高压强(1~100Pa)性能明显优于涡轮分子泵。泵的结构则简单得多。 相似文献
16.
17.
关于涡轮分子泵的安全使用问题 总被引:1,自引:0,他引:1
本文叙述了关于涡轮分子泵安全使用的一些技术问题.首先对涡轮分子泵的构造特点作了介绍,其次对涡轮分子泵的故障类型、损坏原因,进行了分析.最后从设计和使用上的安全对策进行了讨论,以便更好的使用涡轮分子泵. 相似文献
18.
19.
油蒸汽流泵的抽速表达式 总被引:1,自引:1,他引:1
通常将油扩散泵和扩散喷射泵(油增压泵),统称为油蒸汽流泵。其工作原理与涡轮分子泵相似。在涡轮分子泵中。由高速旋转的叶片带走气体分子,以完成抽气过程。而在油蒸汽流泵中,抽气过程是由各级喷嘴吹出的高速蒸汽射流,把被抽气体(空气)分子携带到前级压力端。实践证明,无论是涡轮分子泵、油扩散泵或扩散喷射泵,在其相应压力范围内,都具有平滑的抽速特性曲线。 多年来各国学者已对油蒸汽流泵的抽气过程,进行过深刻的分析和讨论。最近德国学者M.Wutz更从气体动力学的角度来探讨油扩散泵的机理,提出了泵的何氏系数的计算表达式。国内许多专家… 相似文献