离子表面改性技术的回顾与前瞻

简要回顾了化学气相沉积、离子镀及离子化学热处理等表面改性技术的发展历程,指出了它们的优缺点及技术上的改进;并对近年来新开发的同基合金离子镀进行了扼要推介.     

TiN薄膜制备方法、性能及其应用的研究进展

综述了TiN薄膜的制备方法及进展,介绍了物理气相沉积、化学气相沉积、等离子化学气相沉积及光化学气相沉积等各种TiN薄膜的制备方法,评述了各种制备工艺的优缺点.介绍了TiN薄膜在超硬耐磨、耐腐蚀等方面研究的新进展,最后对TiN薄膜的应用范围和领域作了展望.     

PVD技术在冷挤压模具中的应用

本文阐述了应用气相沉积技术,在高速钠和LD钢制的冷挤压模具上沉积TiN涂层并对涂层的晶体结构、显微组织、厚度、硬度和涂层与基体的结合力进行了测试和分析。应用该技术大大提高冷挤压模具的使用寿命,取得了明显的技术经济效益。     

可用化学气相沉积方法来低压沉积立方氮化硼（c—BN）吗？

自从1982年发现金刚石低压沉积方法以来，人们寻求一种用于c-BN合成的类似方法变得尤为重要。近年来，许多研究者们取得了很大的成功，但是，其中许多人在分析BN涂层的特征方面的工作并不理想。然而，由S.Matsumot和W.Zhang撰写的新论文阐述了使用直流等离子体喷涂的c-BN沉积方法和利用各种分析方法进行的特征描述。为了研究是否可以用一种纯化学气相沉积方法来沉积c-BN这个问题，我们用一个简单的无等离子体活化装置的CVD反应器做了实验。沉积了各种BN涂层并对其进行了特征描述。X－射线衍射、IR－光谱分光仪和SIMS表明沉积了含有c-BN的BN涂层。然而，到目前为止，用TEM方法仍不能最终证实c-BN晶体的存在。     

物理气相沉积高温涂层的发展和应用

50年代中期，在航空燃气轮机的发展中，热端部件(沮轮导向叶片和转子叶片)的腐蚀问题尖锐地提了出来，于是有了铝化物涂层的应用。从此叶片上的保护涂层成了不可缺少的。随着燃气轮机由作为飞机的动力发展到用作海上和地面的动力装置，为改善其技术——经济性能，提高涡轮进口温度，使用劣质燃料，     

低合金高速钢的物理气相沉积技术应用与发展

简述了低合金高速钢的应用和物理气相沉积技术的发展现状,介绍了物理气相沉积技术在低合金高速钢的应用情况,提出物理气相技术用于低合金高速钢刀具是目前发展刀具材料的重要发展方向之一.     

生产铼部件的电子束物理气相沉积法

难熔金属铼是高温结构件和能源装置用的理想材料,如太阳能火箭发动机、热交换器、航天和导弹推进装置。它的优异耐蚀性能使它适用于高温火箭发动机和热气阀。铼有很高的熔点,仅次于钨,铼在高温下有最大的拉伸强度和蠕变断裂强度。因此,铼已被美国国防部的航天与导弹计划选用,用来制造导弹部件,包括推进器、调节阀管、供气管、拉杆、涂铼的球形件。然而由于铼冷加工硬化,每次加工变形5%～10%就需要完全再结晶退火。另外采用粉末冶金(PM)和化学气相沉积(CVD)很难制备铼部件。因为粉末冶金技术对于难熔金属的部件成形,遇到的困难很多,CVD方…     

物理气相沉积涂层技术(PVD)在模具制造上的应用

物理气相沉积涂层技术（PVD）现在已被广泛应用于欧、美等地的制造业，但在中国华南地区则仍处于刚起步的发展阶段。最近，科汇钛力有限公司引进了该技术，成为香港第一家为厂家提供最新功能性PVD设备及涂层加工技术服务的公司。该公司是著名的瑞士PVD涂层设备供应商Platit在香港的代表。Platit公司成立于１９４８年，总部位于瑞士，最初从事钟表的涂层加工处理，现在主要集中于提供功能性工具的涂层设备以及涂层加工服务。科汇钛力总经理郭光宇先生表示，PVD技术主要适用于刀具（如铣刀、车刀、刀片和钻头等）、模具（如冲压、拉伸、…     

物理气相沉积技术在冰刀上的应用

从冰刀的服役条件和失效方式出发提出了冰刀的强化和延寿可能途径。最后证实在其表面用物理气相沉积TiCN具有好的效果。     

PVD技术在刀具上的应用和发展

介绍了PVD刀具的涂层方法,概述了国内外PVD技术的发展趋势,指出了PVD技术将是刀具行业的主流技术,应用前景十分广阔.     

钛合金基体上AlCrN涂层的冲蚀磨损行为研究

目的研究钛合金基体表面的Al CrN涂层在固体粒子冲蚀条件下的磨损性能和材料去除机制。方法采用阴极电弧离子镀物理气相沉积技术在钛合金基体表面制备AlCrN硬质涂层。利用扫描电镜(SEM)分析冲蚀试验前后试样表面的微观形貌;利用能谱分析仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)分析涂层的化学成分和物相组成;利用白光干涉轮廓仪检测试样表面粗糙度和冲蚀试验后试样表面的冲蚀坑深度;利用纳米压痕仪和多功能材料表面性能测试仪测量试样的显微硬度、弹性模量和涂层与基体的结合力;利用冲蚀试验机考察高角度冲蚀条件下试样的抗冲蚀磨损性能。结果抛光后的钛合金表面光滑,没有明显缺陷,硬度为4.29 GPa,弹性模量为141.02 Gpa。Al Cr N涂层厚度约为10.5μm,表面有大量尺寸不一的球形颗粒和圆形凹坑等生长缺陷,硬度为23.27GPa,弹性模量为264.95GPa,XRD图谱表明AlCrN涂层中主要存在AlN相和Cr N相。在冲蚀角度90°、粒子冲击速度85 m/s和冲蚀粒子供给速率(2±0.5) g/min的条件下,Al CrN涂层的冲蚀坑深度仅为钛合金基体的1/10。通过冲蚀表面微观形貌观察与分析发现,钛合金基体表面的冲蚀磨损特征主要有冲击凹坑、挤压唇和微切削痕,Al Cr N涂层表面的冲蚀磨损特征主要有微切削痕、大颗粒塑性变形和剥落坑。结论钛合金的冲蚀磨损行为为典型的塑性材料冲蚀磨损机制。AlCrN涂层在冲蚀早期为塑性材料冲蚀磨损机制,随着冲蚀的进行,既有塑性材料冲蚀磨损机制,又有脆性材料冲蚀磨损机制。     

电子束物理气相沉积制备纳米晶Ni-20Cr-0．6Al合金在1000℃的氧化行为

利用电子束物理气相沉积（EB-PVD）方法制备了厚度为0．5mm的Ni-20Cr-0．6Al合金薄板，晶粒尺寸小于100nm。研究了Ni-20Cr-0．6Al合金在1000℃空气中的氧化行为。结果表明：氧化100h后在合金表面只生成了连续致密的α-Al2O3氧化膜。纳米化使得在Cr含量为20％时，要生成连续的Al2O3膜所需的最小铝含量大幅度下降。纳米晶Ni-20Cr-0.6Al合金1000℃氧化时的动力学曲线符合四次方规律，其氧化性能明显优于普通晶粒的Ni-20Cr-0．6Al合金。     

物理气相沉积中等离子体参数表征的研究进展

物理气相沉积作为制备表面防护薄膜的重要方法,一直是表面薄膜领域研究重点,而物理气相沉积中等离子体作为直接影响薄膜性能的关键因素,其参数的表征对优化沉积工艺和提高薄膜性能具有重要指导意义.概述了常用物理气相沉积方法及其发展,包括电弧离子镀、磁控溅射和电弧磁控复合技术的原理及发展历程.归纳了目前生产中常用的等离子体参数表征方法——Langmuir探针法、汤姆逊散射法、微波干涉法和发射光谱法,阐明了这些表征方法诊断等离子体参数的原理,分析了不同表征方法的优缺点和存在的主要问题,并对常用物理气相沉积中等离子体参数表征相关研究的发展和现状作了综合论述和总结,分别整理了电弧离子镀和磁控溅射中等离子体参数诊断的发展历程和近期研究.两种物理气相沉积方法最常用的等离子体参数表征方法都是Langmuir探针法和发射光谱法,早期的研究侧重于探索等离子体瞬态参数和薄膜结构性能的关系.随着现代技术的进步,早期诊断方法不断与新技术融合,研究方向也逐渐偏向于研究等离子体参数的时间变化和优化薄膜工艺、性能评价方法.最后分析了当前物理气相沉积中等离子体参数表征存在的问题和不足,展望了等离子体参数未来的研究趋势.