LED用图形化蓝宝石衬底的光刻工艺优化

基于对单片衬底曝光场分布规律的研究,建立了曝光场分布优化的数学模型,推导出计算单片衬底曝光场数目及曝光场顶点坐标值的解析表达式;根据曝光场顶点与衬底中心点之间的关系,开发了优化衬底曝光场分布的算法;将该算法应用于实际曝光加工过程,结果表明:曝光场数量减少了近10%,提高了光刻机的生产效率。     

超大规模集成电路制造工艺中的光刻及掩模技术

本文着重介绍了超大规模集成电路生产工艺中的关键工艺掩模及光刻技术的国际国内概况，比较详细地叙述了1：1投影光刻技术和1：1与5：1Stepper掩模及光刻技术，并且介绍了为使光刻质量的提高，采用掩模保护膜技术的原理，对我国集成电路制造工艺的提高具有一定的参考作用。     

65nm工艺节点下的光刻掩模版优化算法

在模拟退火算法中引入了准梯度的概念,改进了以模拟退火算法为基础的光刻掩模版优化算法．该算法优先搜索由准梯度确定的关键区域,减少了模拟退火算法的无效搜索次数,在保证优化效果的基础上,可以提高原算法的收敛效率．实验结果表明,在65nm CMOS工艺节点下,该算法使得收敛速度大幅提高,优化效果更好．     

实验过程的优化方法

通过实验与理论论证筛选出一种实验过程的优化方案,此方案可通过少量的实验数据,用计算机根据实验的因果关系建立实验过程的数学模型,以得出最优实验结果。为人们设计实验方案,开辟一个新的思路。     

SU—8微小网孔阵列结构的形貌优化工艺研究

研究了曝光剂量对于小孔成型孔径的影响.实验中发现由于SU—8为负性光刻胶,曝光聚焦条件控制不佳会导致倾角较大的倒梯形结构,不利于液体喷射.为了实现陡直的图形结构,深入研究了衬底和紫外曝光焦平面的相对位置(散焦量),对于SU—8光刻胶图形边界倾角的影响机制.研究发现,当散焦量从-0.6μm变化到0.2μm时,SU—8光刻...     

冻干机控制系统实现及工艺参数优化

真空冷冻干燥是一种使物料在低温低压下脱水的干燥工艺,具有许多优点。本文以某冻干机为研究对象,设计与开发了其控制系统并进行了相关实验。利用二次正交分析法对实验结果进行了分析,对冻干的关键参数时间、温度和真空度进行了优化。实验表明优化的参数可行。     

基于随机森林算法的机械加工工艺参数优化研究

针对机械加工工艺参数频繁调整、参数不精确进而影响加工质量的问题,提出了一种基于随机森林算法的机械加工工艺参数优化方法。根据铣削量、铣削深度、铣削速度等要素,创建出机械加工工艺参数优化的目标函数,以铣削最短总时间为目标,构建了具体的参数优化模型。VTest仿真表明,与基于粒子群算法的加工工艺调整方法相比,随机森林算法对机械加工工艺参数选择的精确性与稳定性均具有显著优势,对推动精密零部件机械加工工艺的发展具有积极意义。     

合成氨工艺参数优化技术开发及应用

以氨净值为响应值,影响响应值的17个过程参数为变量,经逐步回归选入触媒温度左3,触媒温度左4,循环CH_4%,H/N,NH_3%(进口)5个过程参数建立预测方程,并根据该方程对响应值的拟合结果和误差分布对样本进行分类。在此基础上,采取图形显示技术和统计分析的方法对分类样本集的过程参数进行比对分析,由此获取优类信息制订优化的工艺参数方案,经仿真验证后用于指导合成氨装置的生产试验。试验结果与试验前的对照期比较,氨净值均值由13.86提高到14.54,吨氨气耗减少15.9887m~3,吨氨电耗减少15.8kWh,节能效益十分明显     

基于神经网络的统计优化方法及其在纸浆漂白工艺中的应用

应用三层前向网络作为预测纸浆漂白效果的分类模型。在网络能正常识别漂白效果所属类别的基础上，通过模拟计算和统计分析，确定了漂白工艺参数的优化操作区域。这为难以建立精确数学模型又是多约束的漂白工艺过程的优化提供了一种有效方法。     

基于数字图像处理的煤炭工艺优化

自信息科技融入煤炭产业经营之后,诸多与采煤生产相配套的信息技术得到普遍应用,为采煤生产环节提供了更多的便捷性。煤炭企业要根据各项信息技术的功能特点,设计出最佳信息化作业方案,以发挥新型科技辅助采煤生产过程的同时,带动煤炭行业受益的增长。分析了数字图像处理技术应用于煤炭工艺优化的相关情况,提出了切实可行的采煤作业方案。     

Fast Level-Set-Based Inverse Lithography Algorithm for Process Robustness Improvement and Its Application

Inverse lithography technology (ILT) is one of the promising resolution enhancement techniques (RETs), as the advanced integrated circuits (IC) technology nodes still use the 193 nm light source. Among...     

发酵过程混合建模与优化控制新方法

针对当前微生物发酵过程存在因为生物传感器不具备足够的准确性和灵敏性,实验时的菌液和产物浓度等生化指标难以实时监测和控制等缺点,提出了采用量子粒子群优化算法(QPSO)优化最小二乘支持向量机(LSSVM)参数的QPSO-LSSVM混合建模新方法,并用于多粘菌素的发酵过程建模;同时,基于此模型,采用QPSO算法对pH值与溶解氧浓度Do控制轨线进行优化研究;首先,利用LSSVM进行发酵过程的建模,然后采用QPSO对LSSVM建模过程中的重要参数进行优化调整,形成QPSO-LSSVM混合建模与优化控制方法;仿真结果表明,该方法得到的模型能取得更好的预测效果,优化后的pH值与Do浓度控制轨线能够提高最终的产物浓度;该方法用于发酵过程的建模和重要参数的优化控制是可行的、有效的。     

光纤通信网络中故障优化诊断方法仿真

在光纤通信网络故障诊断问题的研究中,为及时准确的诊断出光纤故障,对光纤通信网络故障的检测需根据光纤通光后的信号异常曲线变化,完成各种故障判断.但是,由于在长距离的光纤通信中,通光后的故障信号随着传输距离的扩大,会发生较大程度的衰减,造成故障信号曲线发生非正常形变.传统的光纤故障检测方法只能根据采集的信号的异常变化判断光纤故障,对于光纤故障信号的长距离衰减形变无法与正常故障信号进行区分,容易出现误判.提出一种利用光功率值监测方法的光纤故障诊断方法.根据OTDR发射的激光脉冲信号在光纤中的后向瑞利散射和菲涅尔反射对光纤通信网络的功率值进行监测,并将样本的光功率值数据进行均值化处理,获取准确的OTDR故障曲线,为故障点的定位提供准确的数据基础.综合OTDR接收到的反射光功率值变化情况,最终获取准确的光纤故障点的定位.实验结果表明,利用光功率值监测方法对光纤故障进行诊断,极大的提高了诊断结果的准确性,缩短了诊断时间.     

热工控制网络及其实时性优化策略

指出了热工过程控制网络的特点,分析了热工控制网络中的信息交换,包括现场设备层网络中需要传输的四种主要信息和过程监控层网络需要传输的四种主要信息。提出了包括网络负载优化和节点内部优化的用于热工控制网络的实时性能优化策略。     

基于数据深度的过程工业故障检测方法

为了对过程工业的生产过程进行质量监控,提出了一种基于数据深度的故障检测方法。选取较为易用的马氏深度与空间深度,同时为了提高空间深度对位置偏离程度的敏感性,引入高斯核函数将其核化,借助深度函数（马氏深度、核空间深度）将高维过程数据映射成一维深度值,再结合非参数秩统计量构造渐近分布进行故障判断。通过田纳西-伊士曼（TE）仿真实验,参考误报警率和检测效率两个指标,并将故障检测效果与其他方法进行对比,验证了所提方法的有效性。     

Moment and Hypergeometric Filters for High Precision Computation of Focus,Stereo and Optical Flow

Many low level visual computation problems such as focus, stereo, optical flow, etc., can be formulated as problems of extracting one or more parameters of a non-stationary transformation between two images. Finite-width windows are widely used in various algorithms to extract spatially local information from images. While the choice of window width has a very profound impact on the quality of algorithmic results, there has been no quantitative way to measure or eliminate the negative effects of finite-width windows. To address this problem and the foreshortening problem caused by non-stationarity, we introduce two novel sets of filters: moment filters and hypergeometric filters. The recursive properties of these filters allow the effects of finite-width windows and foreshortening to be explicitly analyzed and eliminated.We apply the moment filter approach to the focus and stereo problems, in which one parameter is extracted at every pixel location. We apply the hypergeometric approach to the optical flow problem, in which two parameters are extracted. We demonstrate that algorithms based on moment filters and hypergeometric filters achieve much higher precision than other state-of-art techniques.     

一种支撑电信新业务的软件过程建模方法

基于对软件过程建模基本方法的研究,针对支撑电信新业务领域的软件过程建模特征,提出了一种在业务运营支撑系统(OSS/BSS)中支撑电信新业务的软件过程建模方法。经实际应用,该方法能较好地指导实际工作,具有一定的实用性。     

烧结法配料过程计算机控制系统

针对烧结法配料过程的工艺特点及技术要求,提出了实现综合生产指标优化的配料过程计算机控制系统,讨论了由过程控制、过程管理二层结构组成的计算机控制系统的结构、功能及优化控制策略,基于人工智能方法实现了过程控制。该系统成功应用于某氧化铝厂烧结法配料生产过程,磨机产能和生料浆一次配料合格率得到了大幅度提高,实现了配料过程的优化控制、优化运行、优化管理,取得了显著的应用成效。     

基于灰色理论与线性回归的降雨量测点优选

提出基于灰色系统理论中灰色关联分析与线性回归的建模方法,建立降雨量测点优选模型,从众多分散的雨量测点中筛选出关键的观测点,既能观测有代表区域的雨量及整个地区雨量的现状,又能节省成本。在实例分析中,将前9年的监测数据作为训练数据,建立优选模型,选择出12个测点中的6个作为关键测点,将最后一年的数据作为测试数据,结果表明,该模型能够优选出降雨量关键测点,并能准确反映总的降雨量,避免降雨量测点之间相互耦合的影响,准确性和鲁棒性均得到较大提高。     

微机原理及应用实验教学改革与实践

文章从培养高素质计算机应用人才的角度出发,结合微机原理及应用课程实验教学环节的实际情况,主要讨论了在实验教学改革中所存在的一些问题。通过提出新的实验教学改革方法和介绍在培养高素质计算机应用人才上所做的一些尝试,如激发学生学习的主动性;培养创新意识与创新能力;改革实验内容与实验方法等方面,使实验教学工作真正成为为理论教学的一个重要实践部分,提高学生对知识掌握的效率。