微波烧结技术及其进展

本文介绍了微波烧结的原理，设备，工艺及其影响因素。概述了微波烧结的特点及微波加速烧结进程的机理。     

微波等离子体烧结陶瓷的研究进展

从微波等离子体的特点、其应用于烧结陶瓷的特点及适用范围、主要烧结过程和实验装置等几个方面介绍了微波等离子体这一新型烧结技术.同时综述了近几年来微波等离子体新型烧结技术在陶瓷烧结方面的最新的应用研究进展.     

微波烧结工艺制备陶瓷材料的研究现状

微波烧结作为一种陶瓷制备工艺,因其与传统烧结工艺相比体现出快速高效、节能环保等一系列优点而备受关注.主要介绍了采用微波烧结工艺制备陶瓷材料及陶瓷基复合材料的特点；在先驱体裂解、粉末烧结制备陶瓷材料方面对微波烧结工艺与传统烧结工艺进行比较,表明微波烧结工艺是一种极具潜力的技术；最后提出微波烧结工艺在未来发展过程中亟待解决的若干问题.     

微波烧结技术及其进展

本文介绍了微波烧结的原理、设备、工艺及其影响因素。概述了微波烧结的特点及微波加速烧结进程的机理。     

陶瓷微波烧结技术及其进展

介绍了陶瓷微波烧结的基本原理、微小材料之间的相互作用机制及陶瓷微波烧结技术研究的最新进展，认为混合加热工艺是今后陶瓷微波烧结发展的一个方向，而良好的烧 结保温系统和精确的温度测量方法是目前最在挑战性的两个任务。最后，对微汉烧结技术在陶瓷工业上的应用前景作了评述。     

微波介质陶瓷材料的低温烧结

低温共烧陶瓷材料是目前微波介质材料发展的主流.综述了低温共烧陶瓷材料的性能要求和4种降低材料烧结温度的方法,并探讨了各种低温烧结途径的优点和不足,同时指出了目前低温共烧陶瓷材料研究中需解决的主要问题以及今后主要的发展方向.     

β—Sialon陶瓷的微波烧结研究

微波加热具有极快的加热和烧结速度，并从根本上不同于常规加热，利用微波高温烧结陶瓷是近年来迅速发展的一门新技术，本文利用自行研制的ＴＥ１０３单模腔微波烧地没加添加剂的自蔓 β－Ｓｉａｌｏｎ粉的微波加热特征进行了研究，通过选择适当的保浊 速加热至１６５０℃，有着适当的保温时间可获得９７．５％ＴＤ的β－Ｓｉａｌｏｎ陶瓷，与常规无压烧结（１８５０℃）相比显示了更高的密度，更均匀的微观结构和力学性能。     

先进陶瓷材料固相烧结理论研究进展

系统介绍了陶瓷材料固相烧结理论的历史和研究进展,综述了用来描述烧结前期、中期和后期的烧结理论和烧结模型.目前烧结理论大多局限于烧结全程的某一阶段,且只研究某一种扩散机制起主导作用,多数理论烧结模型不能完全反映真实烧结参数,烧结单元模型的定量描述不够完善,缺乏描述烧结全程的烧结模型,且大多研究局限于基础研究,如物质的传输机制、致密化过程、气孔和晶粒生长机制.因此,建立多种扩散机制耦合作用的全期烧结模型,进一步研究烧结动力学,用计算机模拟烧结的真实条件,建立能定量描述的烧结模型,是未来烧结理论研究的方向.     

陶瓷材料纳米烧结研究进展

纳米烧结是制造纳米陶瓷材料的关键步骤，其研究对象是纳米尺寸粉体的烧结过程。对纳米陶瓷粉体的烧结理论研究进展进行了综述，归纳分析了不同纳米烧结方法的特点及应用现状，并对今后的研究进行了展望。     

陶瓷材料微波烧结研究

陶瓷微波烧结技术是一门具有实用价值和应用前景的新颖烧结技术。它与常规烧结法相比具有：（１）改进材料的显微结构和宏观性能；（２）省时节能；（３）极高的升温速率等优点。本文对微波烧结的优点、机理、设备、工艺及发展和展望进行了分析和讨论。     

Si_3N_4陶瓷的微波烧结

用微波烧结技术和常规无压烧结技术烧结了 Si_3N_4陶瓷。用 XRD,TEM 等方法研究了不同技术烧结的 Si_3N_4样品的组成和显微结构;用三点弯曲和压痕法分别测量了两类样品的抗弯强度和断裂轫性。结果表明,N_2气压的引入可有效地控制微波烧结过程中 Si_3N_4的分解,微波烧结可大幅度降低 Si_3N_4的致密化温度,提高相转变速度,缩短烧结时间,其力学性能也明显地提高。     

Ce-Y-ZTA 复相陶瓷的微波烧结

系统研究了Ce-Y-ZTA 复相陶瓷批量试样在2. 45GHz, 功率0. 5～ 5kW 连续可调的矩形多模腔内的微波烧结过程及材料性能。实验表明: 通过合理的保温结构和工艺控制, 可实现高稳定性和重复性的微波快速烧结。相对密度达到99%TD。与常规烧结相比, 微波烧结过程只需约2小时, 致密化温度降低50～ 100℃。烧结后材料具有晶粒尺寸细小、均匀的显微结构, 弯曲强度由600M Pa 提高至670M Pa, 同时获得较高断裂韧性值。      

用放电等离子技术烧结TiB2陶瓷

利用脉冲大电流快速烧结技术（也称放电等离子烧结SPS技术）研究了TiB2的烧结过程。结果表明：升温速率对烧结样品的相对密度、晶粒尺寸及烧结过程中真空室气压均有重要影响。最佳的升温速率使TiB2烧结晶粒相对最小、烧结体相对密度较高。分析认为，在SPS条件下的快速升温有利于颗粒表面活化，烧结体晶粒尺寸既受控于烧结时间，也受控于晶粒生长活化能。     

金刚石膜气相沉淀技术中微波等离子体反应腔的数值模拟

采用有限积分法(FIT算法) ,并利用一种简单的等离子体模型模拟了具有轴对称的微波等离子体反应腔中微波场与等离子体的行为。计算出了给定等离子体的空间分布时电场的分布情况 ,以及给定电场的空间分布时等离子体的分布情况 ,从而得到微波———等离子体反应腔中电磁场稳定分布以及等离子体的放电位置。并依据实验中的一些可变参数 ,寻求影响等离子体放电位置的参数 ,为设计化学气相沉淀(CVD)技术沉积大面积金刚石膜微波反应腔提供依据     

A STUDY OF PLASMA PROPERTIES FOR VARIOUS MAGNETIC FIELDS IN A MICROWAVE MULTIPOLAR ECR PLASMA

A sputtering-type microwave multipolar ECR plasma processing for preparing thin films, is built with Nd-Fe-B magnets and 2.45 GHz, TE_(10) mode microwave. The plasma distributions in the axial direction, which is important for preparing thin films, are found to be very sensitive to the magnetic potential fields in plasma chamber. The plasma parameters are also influenced by the background gas pressure.     

微波加热岩石与混凝土的研究进展与工程应用

微波加热固体是新型的绿色、高效加热技术,具有即时性、整体性、选择性以及低能耗低污染等优点,微波辅助岩石和混凝土的破碎技术是国内外研究的热点方向。针对微波加热岩石和混凝土的机理和加热特点,国内外学者开展了一系列理论分析、模型模拟以及试验研究。该文系统总结了该领域理论、模拟以及试验的研究进展,在论述微波加热特点、材料对微波加热响应以及加热影响因素的基础上,阐述了微波加热岩石和混凝土的内在机制,讨论了微波加热在岩石强度劣化、辅助岩石破碎、岩石钻孔、混凝土骨料回收以及微波辅助选矿等工程领域的研究现状与应用前景,探讨了相关领域的研究重点以及未来的研究方向,以期为推动工程中微波加热技术的应用和发展提供借鉴与参考。     

圆柱谐振腔式MPCVD装置中氢、氩微波等离子体分布规律的数值模拟

在使用简化的等离子体放电模型的基础上,模拟了圆柱谐振腔式微波等离子体沉积室中,不同金刚石膜生长条件下微波等离子体的分布状态。在模拟中,针对纳米金刚石的生长环境,就纯氩气反应气体中,不同的输入功率、不同气体压力条件下,沉积室中形成的等离子体分布的变化规律进行了模拟,将其与一般氢气气氛下的相应模拟结果相对比。模拟所获得的结果,对微波等离子体方法沉积金刚石膜的操作环境的优化,有着一定的指导意义。     

微波等离子体化学气相沉积——一种制备金刚石膜的理想方法

综述了微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备金刚石膜技术,表明MPCVD是高速、大面积、高质量制备金刚石膜的首选方法。介绍了几种常用的MPCVD装置类型,从MPCVD装置的结构特点可以看到,用该类型装置在生长CVD金刚石膜时显示出独特的优越性和灵活性。用MPCVD法制备出的金刚石膜其性能接近甚至超过天然金刚石,并在多个领域得到广泛应用。     

微波等离子体还原钛铁矿工艺研究

利用微波等离子体技术,在氢气和甲烷的气氛中,对钛铁矿进行了还原。通过XRD和SEM分析了不同的甲烷流量及微波功率对还原产物的组成及形貌的影响。研究结果表明,反应气体中碳浓度的增加或微波功率的提高,有利于纳米碳管的生长,并加快钛铁矿的还原速率。     

低温空气等离子体改性PDMS的研究

为了改善聚二甲基硅氧烷（PDMS）的亲水性和稳定其电渗性能,采用空气微波等离子体在低温条件下对其表面进行改性。利用原子力显微镜（AFM）、X射线光电子能谱（XPS）及静态接触角对处理前后的PDMS进行分析。经空气微波等离子体处理3min后,PDMS的亲水性得到极大的改善,水在其表面的接触角接近零度。XPS结果表明：处理后PDMS表面形成SiOx薄层;AFM显示空气等离子体处理对PDMS的表面没有损伤。与文献报道的高、中真空氧等离子体处理方法相比,亲水效果基本一致,却大幅度降低了对设备真空系统的要求,并缩短了操作时间,节约了成本。最佳处理条件为：微波为100W,腔体内气压为1.0kPa,空气的流量为20sccm（1sccm=1cm3·min^-1）,时间3min。