半导体芯片厂有害气体检测器使用经验之探讨

本文除概略介绍气体检测器的种类外，主要对气体检测器的原理和在实际使用中的局限性作一基本归纳叙述。限于篇幅，本文将论述的重点放在气体检测器的选用与设置规划上，提出个人的一点心得与看法，以作为未来设置气体检测器系统时之参考。     

高纯气体中微量一氧化碳,甲烷,二氧化碳的气相色谱测定

气体中微量一氧化碳、甲烷、二氧化碳的测定,大多用灵敏度较高的氢焰离子化检测器(FiD)。随着半导体工业的发展,大规模集成电路的生产对高纯气体中一氧化碳、甲烷、二氧化碳的检测,提出了更高的要求。然而,对氢焰离子化检测器,随着灵敏度的提高,噪音明显增高,基线达到稳定需要较长的时间。我们采用液氮冷阱冷却载气,基线不仅能很快达到稳定,而且在高灵敏度时,噪音显著降低。长期测定结果表明,这一方法是完全可行的,能够满足集成电路生产对高纯气体中微量一氧化碳、甲烷、二氧化碳检测的需要。     

定电位电化学气体传感器在环保中的应用

本文论述了定电位电化学气体传感器的工作原理、特性及其在环保中的应用。定电位电化学气体传感器适用于各种有害气体报警装置与气体监测仪。     

浅析半导体晶圆代工厂的特气供应系统

本文先从特种气体在半导体晶圆代工厂的应用及气体的不同特性进行了分类和讨论，进而对特种气体在晶圆厂的主要供应流程及其要点进行了较具体阐述，并且对在晶圆厂有着重要作用的关键管件及设计要点进行了探讨，以便读者对整个特种气体供应系统在晶圆代工厂的储存、输送与控制等有较为清楚的了解。     

定电位电化学气体传感器在环保中的应用

本文论述了定电位电化学气体传感器的工作原理、特性及其在环保中的应用.定电位电化学气体传感器适用于各种有害气体报警装置与气体监测仪.     

六氟化硫排放核算及统计数据准确性评价研究

为积极响应国家“碳达峰、碳中和”双碳要求，更好地管理不同环节六氟化硫气体使用情况，安徽电科院研发了六氟化硫气体重量感知装置，实现对设备内六氟化硫气体重量全过程测量。本文通过开展六氟化硫气体排放全口径核算和六氟化硫气体损耗模型研究，建立一套数据统计准确性评价方法，实现地市级供电公司六氟化硫气体排放量、填报数据及安徽省六氟化硫气体使用情况准确性验证，有助于加快落实六氟化硫气体减排工作，全面推动碳达峰碳中和目标实现。     

一种基于STM32的空气检测下位机设计方法

为了检测当前空气环境的质量及各气体浓度,以便采取有效的预防和改善措施,文章设计了一种气体检测器监控系统,该系统以STM32F103C8T6为主控芯片,组合MEMS气体传感器、温湿度传感器,有效地采集当前环境温湿度、甲醛、二氧化碳和TVOC等参数指标。通过LCD进行实时显示,同时通过无线Wi Fi网络连接至服务端,实现数据的远程监测。实验表明,系统稳定可靠,能够准确地测量当前各项气体参数值。     

我国气体激光器产业的现状与发展

本文从国内外的市场动态和应用领域，浅析了我国气体激光器产业的两头与发展重点介绍了ＣＯ２激光器的发展。文中并介绍了我国各类气体激光器的性能和达到的实际水平。     

电磁波在气体放电快速产生的等离子体中传播

本文根据气体放电的平均电流密度表达式，通过解麦克斯韦和波关方程，求得了电磁波与气体放电快速产生的等离子体工作用时场的表达式。并对圆极化平面电磁波进行了讨论，得到场的表达式、反射和传输系数。     

如何提高超纯气体输送系统的可靠性

国际半导体技术的迅猛发展，对超纯气体的要求越来越高，超纯气体输送系统是超纯气体的污染源，本文介绍如何减少超纯气体输送系统对超纯气体的污染。     

基于ARM的矿用便携式多参数气体检测仪的设计

针对目前煤矿常用气体检测仪以检测单气体为主,检测精度不高、稳定性不强等问题,研究并设计了一种基于ARM9的便携式多参数气体检测仪。本检测仪以S3C2440A微处理器为核心控制器,可以实现CH4、CO、H2S、O2四种气体浓度的实时检测,同时,检测仪移植了Linux嵌入式操作系统,提高了系统的可靠性和稳定性。实际应用表明,该检测仪携带方便,测量准确,将井下气体信息浓缩于一掌之中,使井下生产人员能及时有效的获得矿井安全状况,具有较高的推广应用价值。     

养殖场环境下基于MSP430单片机的CO_2检测仪的设计

设计一种基于MSP430系列单片机的低功耗泵吸式CO2气体检测装置。研究设计中根据CO2传感器EMF(输出电势)和浓度曲线图,考虑养殖场的实际需求状况,通过Matlab仿真拟合出EMF和浓度曲线的关系式,将EMF值放大后送入单片机处理,通过12864液晶实时显示出当前的浓度,同时实现声光报警功能。研究中利用MSP430F249单片机低功耗、功能完善的特点,通过对CO2传感器EMF(输出电势)和浓度曲线图拟合,实现了一套功能丰富,结果精确稳定的CO2检测仪。     

基于热释电型红外气体探测器的原始信号探究

作为采用非色散分光红外吸收光谱(Non-dispersed Infrared, NDIR)原理的红外光谱气体分析仪的一个核心器件,热释电型红外气体探测器输出信号的特征与后级信号处理息息相关。基于PYS3228TC_G1G20热释电红外气体探测器在不同调制频率下对激励源和输出的原始信号的同步跟踪,深入分析了激励源与探测器输出信号之间的关系。通过这些实验,总结并得出了热释电型红外探测器的初始信号特征,为热释电型红外气体分析仪的信号处理提供了重要的理论参考。     

基于无线HART协议的可燃气体报警仪设计

为解决工业现场可靠监控可燃性气体的问题,提出一种基于WirelessHART协议设计的可燃气体报警仪,对可燃性气体实现监测并实时响应。该报警仪采用MSP430芯片作为主控芯片,通过多种功耗模式实现报警仪的低功耗运行,利用被动检测法使传感器快速检测出可燃气体,并采用WirelessHART协议将数据发送至无线HART网关,实现控制终端与现场设备的双向无线通信。通过实验测试,表明该设计可快速检测出可燃性气体并实现数据的可靠无线传输。     

一种多层波导光传播计算的新方法

提出了一种新的简单的一光学方法，可以使用在多层波导的光传播计算中，尤其是在光探测器的设计中。把设计值与目前普遍采用的ＢＰＭ法进行比较，结果吻合较好。与ＢＰＭ法相比，此法最大的优点是在计算中考虑了材料对传播光的吸收，而在光场达到稳定分布后再考虑吸收，故在理论上此方法更加接近实际。作为例子用这种方法计算了一种新型的探测器的尺寸。这种探测器与Ｓｉ波导的集成器件正在制作 中。     

微型低温制冷技术的现状和发展趋势

介绍了目前典型的军用第二代、第三代焦平面探测器杜瓦制冷机组件中斯特林制冷机和节流制冷器的应用情况,从焦平面探测器芯片探测元尺寸的变化,提出了配接制冷机的冷指尺寸的变化,介绍了昆明物理研究所微型低温制冷技术的发展现状及微型低温制冷机向高可靠性、低成本、高工作温度的发展趋势。     

A Fast-Speed Pulse Detector Based on N-Type Si-Schottky Diode via Tuning Circuit

A fast-speed pulse detector based on n-type Si-Sehottky diode mounted in the waveguide is investigated. The relation of the fast-speed pulse detector between response time and 3 dB bandwidth is analyzed. By adopting the tunable circuit, the matched bandwidth is achieved as wide as possible. Experi- mental results show that the pulse response time of the detector is less than 150 ps within random carrier signal 500 MHz bandwidth range between 35 GHz to 39 GHz via tuning circuit. The detector is very easy to operate because it does not need bias current or synch-pulse source.     

一种新型非致冷红外探测器

介绍一种基于标准硅工艺、采用电容读出方式微悬臂梁非制冷红外探测器的设计、制作及性能测试。用这两种热膨胀系数相差很大材料（氮化硅和铝）的薄膜做成的双材料微悬臂梁在红外辐射下，温度升高并发生弯曲。通过检测微悬臂梁和衬底形成的一个可变电容变化可以得知微悬臂梁的弯曲情况，从而可以探测红外辐射的信息。利用外部测试设备对单元探测器进行测试表明微悬臂梁对红外辐射有很高的响应。     

基于GSM的煤气浓度检测器设计

煤气的广泛使用给居民生活带来了诸多便利,提高了生活质量效率,还减少了环境污染。但是,煤气具有一定的危险性,一旦发生不同程度的泄漏,若处理不及时,就可能引发中毒,甚至是爆炸,给广大群众的人身与财产安全带来威胁。面对煤气泄漏而带来的各种安全隐患,如何对其实现统一化智能控制和预警成了一个急需解决的问题。本文设计了一种新型煤气浓度检测器,其使用基于GSM 作为通讯模块,以STC89C52单片机为主控芯片,配合使用MQ－2气体传感器和ADC0809芯片,采集煤气泄漏的信息。该检测器实现了对煤气浓度的识别以及智能化控制并能发出危险报警,使用户与智能设备的沟通更加方便,具有一定的使用价值。     

基于MSP430的便携式甲烷气体浓度检测仪

介绍了一种基于MSP430微处理器的便携式甲烷报警检测仪的设计与实现。仪器以催化燃烧式传感器为检测元件,可以准确地对甲烷浓度进行现场实时测量,并将测量结果及当前时间保存。当空气甲烷含量超过预设报警值时,采用声光报警。仪器具有与PC机通信的功能,通过串口可将保存的历史数据输出给PC机,通过管理软件实现历史数据的回顾与整理。仪器测量电路具有通用性,配合不同气敏元件适当调节参数就可实现对多种气体的测量。