面向代理的半导体生产线建模技术研究

为了有效分析和评价基于多代理的半导体生产线调度与控制性能,提出了面向代理的有色赋时Petri网的半导体生产线建模方法。将设备代理内部行为进行封装,建立了设备代理的有色赋时Petri网模型。同时,将半导体生产线多代理模型按层次划分为设备代理层、设备组层和系统层,有效地降低了模型的复杂性,提高了模型的可重用性。建立了分布式半导体生产线仿真平台,以实现基于面向代理的着色赋时Petri网的半导体生产线仿真定量分析与评价。以上海某半导体制造企业6英寸晶圆生产线为例,其仿真结果验证了建模与仿真的有效性。     

半导体生产线全局修正式重调度方法研究

基于群体智能思想,提出了全局修正式半导体生产线重调度方法。首先,给出了基于群体智能思想的重调度模型;然后,在此模型基础上,给出了全局修正式重调度算法;最后,基于实际生产线的仿真模型对全局修正式重调度算法与企业原有算法进行了对比分析。仿真结果表明,在不确定的半导体生产线环境下,在适当的时候使用全局修正式重调度算法生成重调度方案,能够更好地优化模型的在制品移动次数、在制品移动速率与工件操作准时交货率等短期性能指标。目前,该方法已在某实际半导体生产线中应用并取得了良好的效果。     

多智能体技术在半导体生产线调度中的应用

针对半导体生产线调度问题的特性，引入了多智能体系统概念，建立了半导体生产线调度问题的多智能体模型。通过动态求解半导体调度的多智能体效用模型，能够很好地解决半导体生产线生产过程中出现的各种突发事件，达到优化调度的目的，通过仿真，说明了该方法的有效性。     

半导体生产线群体智能调度模型研究

模仿蚁群生态系统，提出了半导体生产线群体智能调度模型。该调度模型由集中优化控制MAS(C-MAS)与分布式动态控制人工蚁群MAS(D-MAS)构成，实现了优化控制与动态调度的优势互补。其中，C-MAS主要由仿真Agent与调度Agent构成；D-MAS由一个蚁后Agent和代表半导体生产线物理实体的多个工件蚂蚁Agent与多个资源蚂蚁Agent构成，蚂蚁Agent通过基于信息素的间接交互实现半导体生产线的动态调度，蚁后Agent用于实现C-MAS与D-MAS的紧密协作，从而获得半导体生产线优化的动态智能调度。给出了基于群体智能调度模型的智能动态调度算法，对群体智能调度模型进行了定性评价。     

基于ETAEMS/GPGP-CN的半导体生产线动态调度技术研究

针对缺乏半导体生产线动态调度分布协同机制的研究现状,提出了基于扩展的任务分析环境建模与仿真／通用部分全局规划一合同网(ETAEMS／GPGP-CN)的动态调度技术。对TAEMS的非局部影响进行扩展,以实现调度过程中协同关系的定量描述与分析。利用GPGP获取上、下游协同信息,结合合同网的招投标机制,以解决其动态调度。以某150 mm晶圆生产线为例,仿真试验表明了该动态调度算法的有效性。     

半导体生产线动态调度方法研究

为了满足半导体生产线多目标优化要求,提出了多目标优化动态调度规则。它由正常状态调度规则、瓶颈设备较低在制品水平的调度规则、非瓶颈设备较高在制品水平的调度规则、多批加工设备调度规则以及紧急工件调度规则五种类型的调度规则组成。使用具有半导体生产线本质特征的简化模型,将多目标优化动态调度规则与先入先出法、最早交货期法、临界值法进行了比较,结果表明,多目标优化动态调度规则能够改善半导体生产线的整体性能,更好地优化模型的生产率、加工周期与在制品水平,最终提高准时交货率。     

基于多智能体结构的车间调度方法

车间调度问题是一个复杂的 NP问题 ,车间调度系统需要具有相当的柔性机制。本文提出了一种基于多智能体结构的车间层动态调度方法。系统中有三种代理 ,车间代理、资源代理和任务代理协同并行工作。车间代理负责各个任务代理之间的协调 ,任务代理安排任务的调度路径 ,资源代理安排车间中的具体制造资源。车间代理能够动态调整调度规则 ,解决任务代理之间的资源分配冲突。任务代理采用招标投标机制选择最佳资源代理。资源代理能够提出并实时调整局部调度方案。本文实现了一个基于多智能体结构的车间调度原型系统。     

基于模糊Petri网推理的半导体生产线动态调度研究

针对动态调度的特点,为了综合优化半导体生产线性能指标,尝试使用基于模糊Petri网推理的方法进行动态调度。首先分析了影响动态调度决策的生产线状态信息;然后建立了模糊Petri网形式化推理机,继而构建了面向半导体生产线的模糊Petri网推理模型;最后使用实际半导体生产线模型,将提出的方法与FIFO、EDD和CR策略进行了仿真比较。结果表明基于模糊Petri网推理的动态调度方法能够改善半导体生产线多种性能指标。     

基于多代理机制的车间制造资源调度管理系统的研究

在分析车间制造资源调度特点的基础上,综合运用多代理机制、规则调度和消息通信机制等技术,建立了适应制造企业车间层生产环境的多代理模型结构。重点研究了多代理机制的实现、基于多代理结构下的通信机制和规则调度机制等关键技术,构建了基于客户机／服务器结构车间制造资源的调度管理系统的体系结构,研究了其工作流程和实现方法,并开发了基于多代理的车间制造资源调度管理仿真系统。     

ExtendSim仿真在半导体生产线动态调度研究中的应用

根据半导体封装生产线的实际情况和特点,在现有的动态调度方法研究的基础上,针对不同类型的加工机器和生产需求等情况进行分析,对半导体封装生产线的动态调度方法进行研究,并结合离散系统仿真技术和系统仿真平台ExtendSim建立仿真模型,通过仿真结果得出生产线的主要生产性能参数。通过比较分析从而得出综合调度策略,改善和提高了半导体封装生产线的生产性能。应用实践表明,提出的仿真方法对于研究半导体封装生产线的调度问题是可行并且有效的。     

Research on AOCTPN-based modeling and simulation technology of semiconductor fabrication line

There was a lack of modeling technology for the line fabrication of semiconductors under multi-agent-based scheduling and control status in quo. To resolve this problem, an AOCTPN modeling technology for a semiconductor fabrication line was proposed. The interior behavior of the machine agent was encapsulated and the hierarchical multi-agent-based semiconductor fabrication line model was separated into the system layer, the machine group layer, and the machine agent layer, which reduced the complexity and improved the reuse of the model. In addition, a distributed discrete event simulation platform was built to evaluate the performance of the multi-agent-based semiconductor fabrication line. An illustrative example of a 6-inch semiconductor fabrication line in Shanghai demonstrates the effectiveness of this approach .     

基于模糊神经网络的半导体生产线重调度策略优化

针对缺乏半导体生产线重调度策略优化方法的研究现状,提出了基于模糊神经网络的半导体生产线重调度策略优化技术。将重调度策略划分为半导体生产线、设备组和设备重调度层次,利用仿真评价确定优化的重调度策略,并获得样本数据。通过对模糊神经网络训练,建立干扰和半导体生产线状态等输入参数与优化的重调度策略输出之间的映射关系。以上海某125mm晶圆生产线为例,结果表明了该重调度策略优化方法的有效性。     

基于eM-Plant的晶圆重入加工自动组合装置仿真

原子层沉积加工是晶圆制造中典型的重入加工,在这个过程中,晶圆需要在同一个模块中被加工多次,这使得整个系统的调度变得很复杂.为此,基于eM-Plant系统仿真软件,建立了晶圆制造单臂自动组合设备的模型,通过该模型模拟了晶圆重入加工调度过程,最终获得系统加工的节拍,为以后研究晶圆重入加工提供了一个有效方法.     

晶圆制造系统实时调度仿真平台的设计与实现

在对一般的制造系统仿真的共性进行抽象分析和建模基础上,依据晶圆制造系统的特点,采用面向对象技术开发了晶圆制造系统实时调度仿真平台。平台采用c样编写,内嵌离散事件仿真引擎,封装了晶圆制造系统仿真程序大部分功能,预定义了部分可扩展方法模块,提供了可调用的接口。该平台实现了晶圆制造系统的仿真,对晶圆制造系统调度以及优化方向的研究提供很大帮助。     

半导体生产线控制与调度研究

研究半导体生产线的控制与调度对微电子企业的生产具有重大价值。总结了国内外半导体生产线控制与调度问题的研究现状，分析并比较了各种调度策略，论述了对调度问题赖以存在的模型基础，指出了存在的问题，并探讨了可能的研究方向。     

一种改进的半导体生产线批处理机调度策略研究

研究了半导体生产线上有加工类型限制的并行批处理机组调度问题,其目标是最小化总加权拖期交货损失,从而最大程度地满足客户的按期交货要求.在研究了ATC-BATC和DBDH规则的基础上,提出了一种改进的ATC-BATC调度规则,通过反馈控制局部在制品数量来改善系统性能,并通过仿真证明该规则能更有效地减小总加权拖期交货损失.