紫外激光在微细加工技术中的优势研究

本文主要涉及紫外激光加工技术.通过实验,将紫外/红外两种激光设备对材料的加工结果进行比较,发现在特殊材料加工上,紫外激光相对于红外激光,加工边沿更光滑、效率更高.对于用红外透过率较高的材料加工的红外器件来说,紫外激光在加工中具有明显的优势.     

紫外激光在微细加工技术中的优势研究

本文主要涉及紫外激光加工技术。通过实验,将紫外/红外两种激光设备对材料的加工结果进行比较,发现在特殊材料加工上,紫外激光相对于红外激光,加工边沿更光滑、效率更高。对于用红外透过率较高的材料加工的红外器件来说,紫外激光在加工中具有明显的优势。     

355nm和1064nm全固态激光器刻蚀印刷线路板

采用输出功率8 W的355 am Nd:YVO4紫外激光器和50 w的1064 nm Nd'YAG激光器对覆铜板(CCL)和柔性线路板(FPC)进行了刻蚀实验,研究了激光功率密度、重复频率、扫描速度和单脉冲能量等加工工艺参数对刻蚀质量的影响.实验结果表明,由于铜和聚合物材料对紫外激光有更高的吸收率,紫外波段的激光只需要较低的能量就可以将表面铜层刻蚀完全,并且引起的热作用也较小.相反,红外激光加工最大的优势就是对环氧树脂和聚酰亚胺基板的破坏较小,从而适合于表面铜层的去除加工.与此同时,355 nm紫外激光器由于能快速轻易地将厚聚合物基板分离,更适合于印刷线路板(PCB)的切割成型加工.     

基于157nm深紫外激光的蓝宝石基片微加工

为了探索157nm深紫外激光对蓝宝石材料的微加工技术,采用157nm激光微加工系统,对蓝宝石基片进行了扫描刻蚀和打孔加工,以研究激光工艺参量与刻蚀深度、表面形貌的关系,分析了157nm深紫外激光对蓝宝石材料的作用机理,并利用扫描刻蚀法在蓝宝石基片上加工了一个2维图形。由实验结果可知,157nm深紫外激光作用于蓝宝石材料是一个光化学作用与光热作用并存的加工过程,适合扫描刻蚀的加工参量为能量密度3.2J/cm2,重复频率10Hz～20Hz,扫描速率0.15mm/min;在能量密度2.5J/cm2下的刻蚀率为0.039μm/pulse。结果表明,通过对激光重复频率和扫描速度的控制可实现蓝宝石材料的精细微加工。     

基于紫外纳秒脉冲激光的微加工系统设计与实验分析

介绍了紫外纳秒脉冲激光微加工系统的设计, 以及利用该系统对不同材料的样品进行加工实验分析。系统采用355 nm波长的紫外纳秒脉冲激光作为加工光源, 设计了光路机械结构和基于DSP和FPGA的运动控制板, 驱动3D运动平台带动样品运动实现加工。上位机软件对加工图像进行解析, 并对加工过程进行控制。光路结构的共焦特性, 保证了CCD的照明光源和加工光源共焦平面, 实现了自动聚焦和在线观测功能。利用该微加工系统, 针对单晶硅、光敏玻璃、陶瓷、金属等材料展开了多种加工实验, 验证了系统性能的可靠性和实用性, 通过对不同材料的加工结果进行了观测和分析, 对加工参数和工艺进行了优化, 总结了紫外脉冲激光针对不同材料的加工特性。     

1064nm和355nm激光扫描刻蚀覆铜板工艺及质量研究

为了研究不同纳秒激光工艺参量（波长、能量密度、扫描速率）以及铜层厚度对激光刻蚀覆铜板质量（包括刻蚀深度及加工面粗糙度）的影响,采用50W的1064nm红外光纤激光器和10W的355nm紫外固体激光器对覆铜板进行了对比刻蚀实验。通过分析红外、紫外激光刻蚀覆铜板材料的作用机理并对比实验结果得知,采用1064nm红外光纤激光作为激光光源时,设置合适的刻蚀参量,能在完全去除铜箔层的条件下,最大限度地保证环氧树脂基底的完整性;而采用355nm的紫外激光作为激光光源时,因环氧树脂材料对紫外波段激光的高吸收率,以及紫外激光对有机材料的光化学作用,基底材料的损伤难以避免,此外,红外光纤激光具有较高的刻蚀效率。结果表明,综合光纤激光器高稳定性和高集成度的特点,若激光直接刻蚀技术被用于大规模覆铜板的工业加工中,红外光纤激光将更具优势性。     

激光直写导体刻蚀技术

<正>紫外激光具有光波波长短、聚焦光斑尺寸小、对特定材料光能吸收率高、热区影响小等优势，采用紫外激光加工材料时可以获得很高的精度和质量，已引起微电子制造、航空航天等领域工程技术人员的高度重视。本文对紫外激光加工的影响因素进行了分析，实现了金属-树脂复合材料的激光无碳化直写刻蚀。根据激光与材料的相互作用机理，可将激光加工分为热加工和冷加工(光化学反应加工)。     

深紫外激光对GaN薄膜的激光抛光研究

为了研究157nm深紫外激光的激光抛光加工特性,采用小光斑对GaN半导体薄膜进行了微平面扫描刻蚀.通过探讨激光工艺参量与激光抛光质量的影响关系,得到了最佳的工艺参量范围.结果表明,随着激光抛光扫描速率的增加,材料加工表面粗糙度值Ra逐渐减小,其中扫描速率在0.014mm/s～0.015mm/s处,激光抛光质量最高;而激光抛光扫描间距的减小,或者脉冲频率的增加,都将导致被加工表面粗糙度增大;当脉冲频率取8Hz时,抛光效果较好,表面粗糙度值Ra≈20nm.     

扑翼微飞行器紫外激光加工技术

为了实现微米尺度扑翼微飞行器的加工,运用了加工材料范围广的紫外激光切割技术,以及碳纤维预浸料的真空袋高温高压固化工艺,通过合理安排工艺流程,实现了一种适于微米尺度复杂机械结构、可采用材料广泛且可以小批量快速加工的加工技术.并将其应用于扑翼微飞行器的加工,得到了一个翼展3 cm,最小尺寸为80 μm的飞行器样机.     

透明材料的深紫外激光三维微刻蚀工艺

157nm深紫外激光因其波长短且具有较高的光子能量,被视为较理想的微刻蚀工具之一.介绍了157nm深紫外激光的刻蚀机理,并利用先进的157nm激光微加工设备,进行了一系列微刻蚀实验.研究了激光工艺参数对石英玻璃的刻蚀效率和表面粗糙度的影响,进行了多种三维微结构的加工试验,证实了157nm激光微刻蚀工艺在制备MOEMS器件方面的实用性.     

胆小管超微细胞酶学研究

以电镜细胞化学的方法,观察了小鼠胆小管酶的分布。观察的12种酶中,NDPase和G6Pase三种酶分布于胆小管微绒毛;AlPase、Na~+-K~+ATPase、Mg~(++)-ATPase、Ca~(++)-ATPase、CMPase、ACase和5＇-Nase等7种酶分布于胆小管微绒毛,也分布于肝细胞邻接面细胞膜和Disse间隙微绒毛;ACPase、细胞色素氧化酶以及线粒体ATPase不分布胆小管微绒毛,也不分布Disse间隙微绒毛和肝细胞膜。据信,胆小管微绒毛上的酶参与胆汁成份的转运,提供转运所需能量以及还可能与某些代谢过程有关。本实验中磷酸水解酶类使用的铈基法及亚铁氰化钾半还原的锇酸后固定法,效果优于铅法。     

基于GNSS_CN高速公路自动收费系统的研究与设计

本文独创性的提出将多卫星定位系统融合来提高定位精度,并采用高可靠、高精度的定位应用于高速公路等收费系统中,实现了基于GNSS/CN高速公路收费车载单元的研究与设计.介绍了车载单元工作原理,以及硬件和软件系统的设计方案,通过硬件和软件设计与调试,相比原有单一卫星定位系统,在多卫星定位系统融合的基础上,实现了更高精度的定位.车载单元利用GPS或/和BD等系统获取车辆的位置、速度等信息,通过蜂窝网络和控制中心进行通信,将位置、速度等信息发送到控制收费中心,可在控制收费中心和车载单元上进行地图匹配,动态显示车辆位置、速度以及收费等信息.该成果已成功试运行.     

铁路机车设备检修管理信息化系统的研究

随着国家轨道交通事业的迅速发展,铁路维修业务不断增多,铁路物资积累日趋丰富,鉴于自身发展的需求,文章提出在检修流程、任务派发、人员管理、物资使用、维修管理、物品存放、安全监测、循环利用等环节,都需要采用更加现代化的管理模式。通过对机车设备检修流程信息化的实现,进行检修产品全生命周期的管理,以及检修产品故障原因的总结和分析,提高检修管理和实施的效率,最终形成一个安全、稳定、高效、协同的精细化管理模式。     

基于微件的井位部署论证系统实现

针对勘探、油藏井位部署过程中涉及的地理位置、勘探开发历程、油藏地质特征、产能状况等重要环节,对油田各级地质构造、三级储量、沉积相、井位等勘探开发图形对象叠加地形地貌在平面上进行多尺度、多层系的图形展示,并结合地质信息服务和企业数据服务,实现了探区内地震资料处理、解释一体化查询展示、已探邻井相关资料一体化研究、正钻井生产状况实时查询、区块内岩性、物性统计分析、油气储量分布情况展示、井位的在线编辑及成果标注等功能,有效支撑井位部署过程中的各种数据查询、在线踏勘、井位编辑,统计分析以及成果展示,从而提高油田井位部署的效率及水平。     

基于属性密码体制的区块链安全技术研究进展

区块链是一种集合了分布式存储、点对点传输、共识机制、密码学算法和智能合约等关键技术的分布式账本,具有去中心化、不可篡改、透明化等特性.近年来区块链技术的安全性问题逐渐显露,阻碍了区块链应用的发展.本文介绍了区块链的基本概念与安全模型,分析了区块链的安全性问题;然后,基于属性密码体制,从访问控制、密钥管理、数据隐私保护这...     

Survey on data security and privacy-preserving for the research of edge computing

With the rapid development and extensive application of the Internet of things (IoT),big data and 5G network architecture,the massive data generated by the edge equipment of the network and the real-time service requirements are far beyond the capacity if the traditional cloud computing.To solve such dilemma,the edge computing which deploys the cloud services in the edge network has envisioned to be the dominant cloud service paradigm in the era of IoT.Meanwhile,the unique features of edge computing,such as content perception,real-time computing,parallel processing and etc.,has also introduced new security problems especially the data security and privacy issues.Firstly,the background and challenges of data security and privacy-preserving in edge computing were described,and then the research architecture of data security and privacy-preserving was presented.Secondly,the key technologies of data security,access control,identity authentication and privacy-preserving were summarized.Thirdly,the recent research advancements on the data security and privacy issues that may be applied to edge computing were described in detail.Finally,some potential research points of edge computing data security and privacy-preserving were given,and the direction of future research work was pointed out.     

SEM在半导体工艺研究中的应用实例

根据半导体工艺的需要,介绍了利用SEM分析工艺问题的方法。主要包括样品的解理、缀饰及为提高导电性所采用的镀膜方法比对,其中高效、准确的解理定位是重要前提。三个典型案例中,埋层漂移是在问题刚显露时就得到及时分析、彻底解决;而MEMS器件悬臂梁断裂翘曲及减少鸟嘴工艺,则是在研制开发新工艺过程之初,就列为"定点清除"的主要问题。上述问题是发生在科研生产中的实例,且均已在工艺规范层面定型。在形成成品之前,特别是工艺设计及加工制造阶段的失效分析及可靠性研究,能够在隐患转变为大面积工艺问题及后期性能参数问题之前,就能够提早定位并彻底解决,更为今后产品大规模量产及产品升级换代提供客观准确的科学依据。SEM是其中的重要技术手段,尤其在线检测分析更是物尽其用。     

智能语音操控在广电端到端的系统设计及应用

在数字化中国的大背景下,在公司个人宽带与互动电视在线交费用户均突破300万户的情况下,为解决我们的用户总找不到自己喜欢看的节目,记不住频道名称和喜欢的节目,提升公司竞争力。通过对前端的点播系统、AAA系统、EPG系统、PORTAL系统、ISMP系统、媒资系统、机顶盒终端的功能进行剥离、整合和详细设计,最后完成终端用户语音操控电视直播、点播、时移、回看、页面操控、系统设置,并支持普通话和四川话方言的目的。达到提升用户体验,增加公司竞争力,促进业务的发展。系统试运行后,用户体验效果得到很大提升,完全达到预期设计目的。     

化合物半导体器件与电路的研究进展

介绍了GaAs,InP和GaN等几种重要化合物半导体电子器件的特点、应用和发展前景。回顾了GaAs,InP和GaN材料的材料特性及其器件发展历程与现状。分别讨论了GaAs基HEMT由PHEMT渐变为MHEMT结构和性能的变化,GaAs基HBT在不同电路应用中器件的特性,InP基HEMT与HBT的器件结构及工作特性,GaN基HEMT与HBT的器件特性参数。总体而言,化合物半导体器件与电路在高功率和高频电子器件方面发展较快,GaAs,InP和GaN材料所制得的各种器件电路工作在不同的频率波段,其在相关领域发展潜力巨大。     

基于RS232-USB转换器及LabVIEW平台下温湿度采集系统的设计

本文将RS232-USB转换器及虚拟仪器技术应用于温湿度测量中,以LabVIEW为软件开发平台,以计算机为核心,配上传感器、RS232-LJSB转换器和相应软件,针对室内环境的温湿度进行实时精确的采集及测量,编写了数据处理程序和人机交互界面,将结果通过人机交互界面以数字的方式进行实时显示,显示了虚拟仪器技术在温湿度测量中应用的灵活性和其功能的强大性,同时体现了RS232-USB转换器的RS232串行口至USB口转换功能的稳定性。实验表明,该系统能实时准确地采集温湿度信息,并通过RS232口-USB口显示至PC上,达到了可视化的效果。