振膜式气体密度传感器的研究

本文讨论了振膜式气体密度传感器的工作过程、设计思想,并对其基本特性进行了实验研究。     

压力传感器

德国Entran传感器公司最近推出了一种应变计式压力传感器,这种传感器已经温度补偿至200℃,其特点是连接螺纹由M10缩小到M8,电缆线是去张     

压力传感器

本文介绍一种结构形式简单、使用方便的流体压力传感器。这种传感器由主体、膜片和容室组成。主体上有一个充液小腔,膜片作为腔的一壁,通过膜片把被测压力传递给腔内的充入液。容室和腔相通,由可变形的薄壁构成。在可变形的薄壁上贴一电阻。腔内的压力变化引起薄壁变形,电阻值也随之改变。电阻值的这一变化即用来测量压力的变化。     

压力传感器

一、压力传感器的动向五十年代的压力测量主要是用波登管、波纹管和膜片等弹性元件的机械式压力计进行的。这些廉价的压力计,至今仍在使用。六十年代,在测量仪表方面,压力、差压变送器得到了发展,它可以把压力、差压转换成4～20mA的电信号,其精度达0.5％级。这些压力传感器大都采用机电转换元件和金属应变片组合而成的(如应变片或者差动变压器),还有的是把膜片作为电极的静电容,即把膜     

VEGA压力传感器

VEGA压力传感器是远程测定和检测连续液面位置的仪器。它制造方便,安装简单,适用于水、污水、油脂、油、巧克力、牛奶、啤酒等流质的液面控制。对于一些对化学反应极敏感的流质也同样适用。因此,它广泛应用在工业生产中。VEGA 是由薄膜、电容器、振荡器、计算仪、表盘四部分组成。传递图如图1所示。     

电容式压力传感器

本文对电容式压力传感器构造与计算作了必要的分析研讨。由于耐温可靠,自制简便等优点,在缺乏常用的电阻式压力传感器或其质量不符要求情况下,电容式压力传感器提供了气缸内压力的良好补充测试手段。     

特种压力传感器

德国WIKA公司生产了一系列特殊的压力传感器。过去在挤压机及注塑机加工时,对高温塑料的压力测量一直是塑料加工的难题之一。WIKA公司现在生产的这一系列特殊压力传感器可以使用到材料温度达400℃。这种压力传感器的测量范围为:0～50巴至0～2000巴,可提供的传感器精度为:0.5％和1％,其输出可为电压,也可为电流。目前销售的有4     

触觉压力传感器

Tekscan公司提供的TV8408型轮胎扫描系统能够收集和分析大型轮胎滚动的接地印痕压力花纹。     

微型压力传感器

美国Vibrometer公司最近研制成功了一种微型二线压力传感器,它是由一片薄片作成。薄片上用积分微电子技术喷镀上金属敏感元件。这种微型压力传感器结构简单,输出电流很高为4     

标准压力传感器

英国得克福洛(Tekflo)公司研制了TF4系列低价格的标准压力传感器,用来精确测量液体、气体和水蒸汽的标准压力。传感器的测量范围从0～0.7巴到0～1000巴(约为1.02公斤/厘米~2),输出电压量程为1～2毫伏/伏,非线性和迟滞误差为±0.25％fs。测量元件是一个     

压力传感器校验台

力传感 器校验台是用微机控制系统来检测“依维椅”汽车压力传感器,并能在负压测量条件下调整其触点的闭合域值。其检测精度为±１００帕（斯卡）。文中介绍了微机控制气压调节系统。     

集成型压力传感器

日立制作所研制出一种小型、高精度的集成(IC)型压力传感器。该传感器利用硅的压阻效应原理,并以独特的温度补偿方式改进了输出随温度而变化的不足。该传感器约3毫米见方。在一块厚2毫米的硅基座上,用溅射的硼硅酸玻璃膜,将厚度为250微米的硅片焊牢,并在此硅片中央的膜片上,作四个检测压力的电阻。其最大     

微型压力传感器

德国奥芬巴赫霍尼威尔公司(Honeywell,Ofpenbach)最近推出了一种新型微型压力传感器。这种微型压力传感器的工作电压为5VDC,输出电压为0.5～4.5V,它与施加的压力大小成正比。新推出的压阻式压力传感器用于负压、表压、绝压及差压测量、测时范围为0～345毫巴或0～1巴,其扁平塑料外壳具有电路板插装引线。     

硅压力传感器

美国新译西州Lucas Schaevitz公司最近研制的P4000硅压力传感器,采用了微切削加工硅技术以及隔膜设计。这种传感器,可对积分信号进行调节,并对流体和气体具有兼容性。由于采用了316不锈钢,因而使用极为方便。它使用5V以下直流电,输出电流为4～0mA,P4060和P4080型可在未调节的10～32V直流电源     

电容式固态压力传感器

本文介绍了近年来电容式固态压力传感器的发展,其中着重介绍了传感器的型式和检测电路,并对其性能进行了简要分析。     

迷你型微熔压力传感器

ＭＳＩ精量电子 (美国纳斯达克上市名称 :ＭＳＳ)微熔传感器分部日前推出适合大用量、低成本的工业和民用产品用户的新款迷你微熔传感器 (ＭＳＰ -34 0系列 )。这个最新的ＭＳＰ系列传感器产品具有高精度 ,数字补偿的特点 ,测量范围 10 0～ 15 0 0 0Ｐｓｉ。其压力腔由一整块高密度不锈钢结构加工而成 ,低成本包装设计 ,广泛适用于ＯＥＭ客户。ＭＳＰ -34 0采用微熔技术 ,引用航空应用技术 ,利用高温玻璃将微加工硅压敏电阻应变片固化在不锈钢隔离膜上 ,这一技术能成功地获得良好的介质兼容性 ,提供格外稳定 ,没有传统微机械传感器的Ｐ -Ｎ…     

Si微压力传感器

在工业应用中,要求具有小型和稳定的压力传感器。我们利用普通的平面集成电路技术开发了一个新的传感器。为了避免长漂,依赖于压力灵敏度的温度补偿是由enbedded稳压电源而不是由传统的电阻网络。输入压力范围是0—0.1MPa。灵敏度变化为200ppm/℃或更好,非线性误差(包括滞后)为满刻度的0.05％。传感器可以安装在印刷电路板上。     

微型高精度压力传感器

日本高立(株)公司最近推出了一种装有扩散型半导体应变计的微型高精度通用压力传感器、其型号为PRESKO—PTTI。这种压力传感器适用于狭窄的安装空间。据报导,其主要特点如下:①可用于对气体、液体压力测量,可测表压、差压、绝压;②精度     

半导体硅压力传感器

一、前言自1954年Smith等人研究了半导体Ge和Si的压阻效应以来,压阻效应就在压敏元件中得到了实际应用。由于半导体压力传感器灵敏度高、体积小,特别是80年代后硅集成电路工艺技术的发展,使以硅为衬底材料的硅扩散型压力传感器得到了惊人的发展。硅压力传感器是用途最广的传感器之一。目前大多都是采用半导体扩散技术制造应变计(应变电阻),称为扩散型硅压力传感器。由硅单晶衬底制成的膜片作为感压膜,它与应变电阻为一体结构,因此蠕变和滞后现象都很小,精度高。硅压力传感器可以与硅集或电路制造在同一衬底上组成集成型硅