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相似文献
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1.
光学膜厚监控方法   总被引:1,自引:1,他引:1  
光学膜厚监控方法是光学镀膜过程中用以控制光学薄膜光学厚度的主要方法,也是实现镀膜自动化的关键技术之一.了解光学膜厚监控方法的工作原理、特点及误差来源,有助于在实际应用中根据所镀产品的要求选择合适的光学监控方法及监控参数.文中针对最常用的两种光学膜厚监控方法一单波长法和宽光谱法,分别介绍其工作原理,给出了单波长下根据薄膜的透射率或反射率推算膜层厚度的计算方法以及宽光谱法所常用的3种评价函数,总结出影响单波长法测量的8种因素和宽光谱法的11种因素,并根据这些因素分析了这两种方法的特点和适用范围.  相似文献   

2.
鞠兵  马孜  蔡邦维 《激光技术》2006,30(3):283-285
通过对光学膜厚监控系统中光路部分、电路部分以及信号处理部分的噪声分析,设计出频率稳定性良好的斩光器、低噪声光接收电路和具有较强抗噪声性能的数字式锁相放大器,从而显著地提高了系统的精度和稳定性,为提高镀膜成功率和薄膜性能创造了有利的条件。将该系统应用于镀膜系统中,实验结果证实了该系统具有较高的精度和稳定性。  相似文献   

3.
光学薄膜膜厚监控方法及其进展   总被引:8,自引:1,他引:7  
针对目前膜厚监控技术的广泛使用和其方法的日益多样性 ,力图对光学薄膜膜厚监控方法作一个全面、细致的描述。包括膜厚监控方法的分类、进展和展望 ,重点介绍了几种膜厚的光学监控方法  相似文献   

4.
极值法是目前国内外真空镀膜膜厚监控中应用最广泛的方法。本文阐述了此法的膜厚监控原理、系统、方法。重点讨论了为提高监控精度而采取的一些改进措施。  相似文献   

5.
介绍一种复合光路宽光谱膜厚监控系统及其软硬件开发,对系统结构组成和工作原理进行说明。通过增加中间通光孔式的分光镜的复合光路,基于LabVIEW平台开发宽光谱膜厚监控软件,实现了基于宽光谱扫描法的宽光谱膜厚监控和基于极值法的光学膜厚监控的兼容并用,提高了光学镀膜膜厚监控的精确性和自动化,为传统光学镀膜设备的升级改造提出了一种可行性技术。  相似文献   

6.
石英晶体监控膜厚仪的发展与应用   总被引:1,自引:0,他引:1  
石英晶体振荡监控光学薄膜厚度是直接监控光学薄膜物理厚度的方法,与工作波段无关,设置简单,各种厚度皆可控制.易于实现自动控制,将会越来越广泛地应用在光学薄膜厚度监控中。本文首先介绍了石英晶体监控膜厚仪监控光学薄膜厚度的原理,然后讨论了石英晶体监控仪的发展和晶振片的稳定性。  相似文献   

7.
高精度高性能的光学薄膜厚膜厚监控系统是制备密集波分复用滤光片的关键,本文提出了一种非1/4波长膜系监控膜厚的方法,该方法所采用的系统具有稳定性好、波长分辩率高等优点。  相似文献   

8.
针对空间激光通信光学系统在800±5 nm和1550±5 nm收发效率大于98%的要求,采用Essential Macleod膜系设计软件结合物理气相沉积设备,在微晶玻璃上完成了空间激光通信光学系统中近红外反射膜的研制。提出行星夹具补偿挡板的修正方法,可将口径300 mm基片的薄膜厚度均匀性提高至99%。利用Lamda1050光谱仪测试了反射镜的光谱曲线,结果表明所研制的膜层在800±5 nm和1550±5 nm处反射率均值分别为99.3867%和99.1717%,满足技术指标要求。对实验样品开展了面形、附着力和高低温等环境适应性试验,试验结果满足空间激光通信光学系统使用要求。  相似文献   

9.
10.
对过渡金属氧化物CoO、MnO、NiO厚膜热敏电阻进行了掺杂改进和重复性烧结试验,可较好地实现厚膜热敏电阻与厚膜力敏电阻一体化的温度补偿。  相似文献   

11.
液芯光纤近红外光谱特性研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
通过实验测试了液芯光纤的液芯溶液在1510~1590nm近红外波段的透光特性和不同液芯溶液的红外光谱曲线,分析了影响液芯光纤透射率的因素,为寻找可实际应用于光通信波段的液芯光纤材料提供了一些实验数据。  相似文献   

12.
双波段红外光纤增透膜的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
张杏梅 《激光与红外》2000,30(2):121-122
介绍了双波段 ( 3~ 5μm和 8~ 1 2 μm)红外光纤端面镀增透膜的重要性及其研制过程。  相似文献   

13.
针对激光热疗中生物病变组织光学参数随温度变化的特点,将近红外光谱技术应用于激光诱导肿瘤间质热疗疗效监测,在线检测激光作用后生物病变组织的温度与光学参数的变化趋势,以此来对疗效进行评估。基于监测原理分析,设计实验系统,以肝癌小鼠皮下移植瘤为实验对象,研究不同激光功率和作用时间下,生物病变组织约化散射系数和温度的变化,并利用核磁共振成像技术对移植瘤术前、术后的影像进行对比。实验结果表明:病变组织的约化散射系数在激光热疗过程中呈上升趋势,起始阶段上升较快,达到一定数值后趋于稳定,整体变化趋势与温度变化趋势比较吻合,核磁影像对比也证实了治疗效果。因此,通过近红外光谱技术监测激光热疗中病变组织约化散射系数的变化可有助于指导临床激光热疗。  相似文献   

14.
红外光学系统被动式无热化设计方法   总被引:4,自引:0,他引:4  
红外光学系统在一定温度条件下会由于温度变化导致系统成像质量变差。利用光学材料热特性之间存在的差异,提出一种光学被动式无热化设计方法,分析了透镜组的消像差方程组并进行求解,讨论了不同透镜材料消热差和消色差的实现过程,利用不同材料合理匹配与合理分配光焦度实现热补偿。针对相同技术指标,设计了两个红外双波段光学系统并对两种系统性能进行比较,结果表明,采用热补偿措施的红外系统在-40~+60℃温度范围内弥散圆尺寸变化不大,焦距变化量小于系统最小焦深,成像质量接近衍射极限,不同温度下系统焦距的变化不影响成像质量和性能。  相似文献   

15.
The potential integration of polymer nanofibers in photonic devices and circuits is a major driver for research on their waveguiding and optical gain properties. Emission in the near‐infrared is especially important in this framework in view of the realization of nanofiber‐based optical amplifiers. Here, the optical gain properties of electrospun fibers embedding near‐infrared light‐emitting molecules are investigated. Upon pulsed optical pumping, line narrowing typical of amplified spontaneous emission is observed, with gain of 5.5 cm?1 and threshold fluence down to 0.25 mJ cm?2. Importantly, the stimulated emission characteristics are strongly dependent on individual fiber characteristics and on the mutual alignment of nanofibers in arrays, thus being tailorable through the fiber architecture and assembling. These results open interesting perspectives for the exploitation of electrospun fibers as active components in the near‐infrared range.  相似文献   

16.
吸收型近红外滤光片的制备   总被引:5,自引:2,他引:3  
以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为基体,近红外吸收染料(NIR1)、光稳定剂为添加剂,采用溶解共混的方法制得了吸收型近红外滤光片.该滤光片外观透光性能良好,透射光谱也显示其具备良好的近红外吸收性能.最后对染料分散情况进行了讨论.  相似文献   

17.
郑德忠  孙黎明 《红外》2011,32(11):5-9
为了使红外生命探测仪的光学系统具有更大的探测范围,提出了一种新型红外双视场光学探测系统.该光学系统为变焦距光学系统,它利用轴向移动变焦方式使透镜组实现变倍和温度补偿,简化了机电系统结构.该光学系统的工作波段为8~14μm,焦距为35~140 mm,变倍比为3倍.由于选择锗(Ge)和硒化锌(ZnSe)作为透镜材料,F数≥...  相似文献   

18.
激光辅助照明主动近红外成像系统   总被引:1,自引:0,他引:1  
陈林  毛茗  林熙烨 《半导体光电》2014,35(3):541-542,545
研制了一种激光辅助照明主动近红外成像组件。该组件使用半导体激光光纤耦合器件作为夜视光源,通过其在暗场自然环境下的成像验证了光源补光性能和选用的CCD芯片对特定波段光源具有较高的响应度。该组件可实现全天候成像,不受外界照度的制约,可广泛应用于科研、监控等领域。  相似文献   

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