浅谈非球面光学零件的超精密加工技术

对国内外非球面光学零件的超精密加工技术、设备以及发展状况进行了分析和总结,指出了我国与国外先进水平的差距,并对我国非球面超精密加工技术的发展提出了建议。     

非球面曲面光学零件超精密加工装备与技术

"Nanosys-300非球面曲面超精密复合加工系统"是 "九五"重点预研课题-"非球面曲面的超精密加工与测量技术"的主要研究成果.重点对非球面曲面光学零件超精密加工机床,非球面曲面光学零件超精密加工工艺,非球面曲面光学零件超精密测量技术进行了研究.其主要技术成果有:非球面超精密复合加工系统综合设计和制造技术,高速超精密空气静压主轴系统,超精密闭式液体静压导轨系统,高速超精密空气静压磨头电主轴系统,开放式高性能数控系统集成技术等.系统的精度检测和工艺实验表明其研究水平进入了国际先进行列.     

KDP晶体光学零件超精密加工技术研究的新进展

KDP晶体作为优质的非线性光学材料 ,被广泛的应用于激光非线性光学领域。由于大型KDP晶体具有一系列不利于光学加工的特点 ,因此被公认为是最难加工的光学零件。本文概述了KDP晶体超精密磨削和磁流变抛光的加工方法 ,阐述了KDP晶体光学零件单点金刚石加工技术的研究现状 ,并详细地分析了单点金刚石切削加工时机床精度、加工工艺参数、装夹变形、晶格方向变化、金刚石刀具几何参数、冷却液等对加工表面质量 (平面度、表面粗糙度、小尺度波纹等 )的影响     

光学表面超精密加工技术

介绍了国内外光学器件超精密加工的各种先进方法 ,重点阐述了磁流变抛光技术及其抛光机理和关键技术。并对光学超精密加工技术的发展进行了展望     

光学零件超精密加工达到纳米级精度

日本FANUC公司以生产NC系统闻名于世。它在光学码盘部件中使用了高精度的光学零件。为使这些零件达到高精度加工,最近研究开发了ROBO nano Ui型超精密复合微细加工机,对光学零件超精密加工能达到纳米级(10~(-9)m)精度。它与ROBOSHOTα-50i AP型电     

非球面光学零件的超精密磨削技术

本文首先介绍了非球面光学零件的作用、硬脆材料的超精密加工的一个热点──延性方式磨削，实现延性方式磨削的条件和应用了延性方式磨削技术的非球面光学零件的超精密磨削加工机床，最后介绍了非球面光学零件的ELID起精密后削技术。     

超精密加工中零件的装夹技术

从工件的定位与夹紧方面入手,分析了零件在装夹和加工过程中引起变形的原因,采用零件分类叙述的方法,分析了平面零件的平板及薄壁零件和圆柱类工件以及其他零件在装夹和加工中对加工精度和表面粗糙度的影响,并举出实例,说明此类工件装夹应注意的问题。     

超精密加工技术

超精密加工是从1960年开始发展起来的一项新技术。所谓超精密加工是指加工精度达到0.1～0.01微米的加工。 由图1可以看出,在19世纪下半叶,加工精度为1毫米级;进入20世纪,能可靠地达到10微米级,从而使零件有严格互换要求的军火工业得到迅速发展。现在,由于超精密加工的应用,不但提高了机床的性能和可靠性,而且保证一些新技术的实现(例如超大规模集成电路)。因此,随着加工技术的发展,过去作为超精密加工的技术,现在已是被作为精密加工技术而应用于成批生产。要想将超精密加工技术成批用于生产,就得研制一种适应这一工艺特点的特殊机床。在没有…     

超精密加工技术

1776年人类制造出了用来镗制蒸汽机汽缸的第一台机床——镗杆机。由于它能在直径为650毫米的汽缸上镗孔,精度达到1毫米,而使瓦特的蒸汽机从理想变成了现实。但是,将加工精度从1毫米提高到0.01毫米.差不多整整花了100年的时间。20世纪初,由于能测量至0.001毫米千分尺的发明,才逐渐将加工精度向0.001毫     

高精度轴承座类零件的超精密加工技术研究

介绍了轴承座密封类零件的结构特点、加工难点,分析了相关机械加工及超精加工的工艺难点。通过攻关试验,实现了通用设备一次装夹完成两项超精密加工的研磨工艺试验,确立了合理的加工方法、工艺方案和检测方法,圆满解决了轴承座密封类零件的加工难点。同时也积累了设备改造和研磨加工的经验,对于类似零件及超高精度零件的加工具有很好的借鉴作用。     

精密超精密加工技术综述

根据未来工艺发展规划要求,积极探索国内外精密超精密加工技术,对该项技术的现状进行了分析,作出综述,并提出了实施该项技术的具体途径及所要考虑的问题.     

精密和超精密加工技术

1.精密和超精密加工的概念和形成 精密和超精密加工是在70年代提出的,在美国、日本和英国等国得到了重视和急速发展。精密和超精密加工从加工精度的角度反映了加工技术的发展,通常,将加工技术分为一般加工、精密加工和超精密加工三个阶段;有些国家的学者将它分为一般加工、高精度加工、精密加工和超精密加工四个阶段。对当前来说,精加工是指加工精度为1～0.1μm、表面粗糙度为R_a0.1～0.025μm的加工技术;超精密加工是指加工精度高于0.1μm、表面粗糙度小于R_a0.025μm的加工技术。这一定量数据是相对的,将随着加工技术的不断发展而改变,即过去的精密加工对今天来     

精密加工和超精密加工技术综述

论述了精密加工和超精密加工技术的范畴,加工方法,系统结构及其在先进制造技术中的作用和地位;分析了２１世纪初期对它的需求和技术发展趋势,并提出了相应的技术发展前沿,归总了技术发展特点。     

加速发展我国的精密和超精密加工技术

精密和超精密加工技术是机械制造最主要的发展方向之一。本文介绍了精密和超精密加工技术的最新发展情况,如金刚石超精密切削、精密磨削和研磨、精密和超精密机床、精密加工中的检测和误差补偿、精加工的环境条件等。最后提出对我国发展精密和超精密加工技术的一些意见。     

弹性薄片零件精密加工技术

分析了弹性薄片零件难以加工的原因 ,并对其精密加工的技术途径进行了研究。     

大口径光学元件超精密加工技术与应用

大口径光学元件超精密加工技术是多种学科新技术成果的综合应用,促进了民用和国防等尖端技术领域的发展,在国家大光学工程的推动下,我国的超精密加工技术取得显著的成果。围绕大口径光学元件“高精度磨削＋确定性抛光”超精密加工体系,介绍该领域研究进展及厦门大学微纳米加工与检测联合实验室取得的相关研究成果,主要针对光学元件磨削和抛光两个加工流程,详细分析磨削装备技术、磨削工艺技术、精密检测技术、可控气囊抛光技术、加工环境监控技术和中频误差评价技术等关键技术的研究应用情况。这些技术研究从超精密加工的需求出发,借鉴国内外的研究经验和成果,通过对装备、工艺、检测等各方面整合,形成具有自主知识产权的大口径光学元件磨抛超精密加工体系,从而实现大口径光学元件高精度、低缺陷加工。     

无氧铜精密零件加工技术

无氧铜(TU1)以其纯度高,导电、导热性能优异等优越的电学性能,在微波技术应用领域里得到广泛的应用,大量用作电真空器件的制作材料。我所承制的某微波加速器为了提高电子束流的传输质量,避免尖端放电对微波场稳定性的影响,要求微波加速器内腔体表面具有很高的光洁度,加速腔表面粗糙度要求为Ra0．05～0．1,耦合腔表面粗糙度要求为Ra0．1～0．2,同时为了保证电子直线加速,要求每一个腔体的尺寸精度及形位公差都很高,一般     

中型零件的超精密平面磨削加工

近年来各种电子机械,光学机械,测量仪等零件的最终精加工要求越来越高,现有的磨床已不能适应这种超精密领域加工。日本住友重机械工业公司开发的主要用于加工机床的床身、立柱、工作台的导轨面的KPL型大型龙门平面磨床(工作台宽800～2400mm)和KSC型中型单立柱平面磨床(工作台宽600～800mm)的加工精度:(长度方向     

超精密零件加工的影响因素分析

超精密加工所能达到的精度是衡量一个国家制造技术水平的重要标志之一.随着加工精度越来越高,被加工零件对机床周围环境的要求也越来越高.超精密加工中除了液压、气压源的波动外,工作环境的温度、洁净度和振动等方面对加工质量影响很大.因此,主要从气源压力波动、环境温度变化、外界和自身振动几个主要因素,详细介绍了以上因素对超精密零件加工的影响,分析了影响原因,并提出了相应解决途径,为超精密加工环境建设提供了参考.     

超精密零件的内外圆磨削加工

叙述了超精密零件在内外圆磨床上加工的一些经验；重点介绍了机床的改装，调整以及装，调整后所达到的精度；夹具，辅具的结构；工艺上所采取的一些具体措施。