精密测量圆柱形工件内径的新途径

本文提出一种对圆柱形工件内径进行精密测量的新方法。激光改变了机电行业目前传统的手工检测方式,使测量精度从10微米量级提高到微米量级。该测量方法基于迈克尔逊干涉仪原理和光电检测技术,用光分束器将干涉仪的光路延伸到工件中。通过对干涉条纹的观察跟踪,实现对工件的准     

小型激光干涉仪

德国的IOT GmbH生产一种小型激光干涉仪,一个集成光学迈克尔逊干涉仪是长90.5mm,直径12mm激光干涉仪的心脏。这种干涉仪可用于机床、半导体和其他精密测量工业。这种干涉仪的所有被动光学元件都     

亚微米电子束曝光机工件台控制系统

激光工件台是电子束曝光机关键部件之一。它主要任务是完成图形的拼接。本文描述双频激光干涉仪为测量系统的计算机控制的数字伺服系统以及真空条件下的Ｘ－Ｙ工件台。该系统用于亚微米圆形矢量扫描电子束曝光机中。     

简易稳定可靠的电容测微器

电容测微器具有结构简单、长期稳定性好、价格低廉、制作方便等优点,但只能应用于位移量很小的测量上.电容测微器存在着量程与精度之间的矛盾:如加大电容器极板之间的距离,精度就不可能做得很高;为了提高精度和灵敏度,就需要缩小电容器极板之间的距离.与激光干涉仪相比较,虽然激光干涉仪在一定范围内不存在距离和精度之间的矛盾,且可以同时做到量程大、精度高,但如要把它的精度提高到十分之一至百分之一的半波长(即1%～1‰微米量级),是较为费事和困难的.另外,激光干涉仪的价格和复杂程度     

宽0.8微米深3~5微米沟槽深度的无损测量

日本电报电话公司电气通信研究所，使用迈克耳逊干涉仪（双光束干涉仪）和光纤等，研究成功对超大规模集成电路等刻划宽0.8微米、深3~5微米的沟槽深度进行无损测量。     

单频长基线激光干涉仪的在线稳定性监测方法

研究了一种长基线激光干涉仪的在线稳定性监测技术,可用于纳米量级的位移和振动测量。构建了一个臂长22m的激光干涉仪用于位移和振动测量。基于相位生成载波(PGC)解调技术,通过在相位调制载波中增加已知频率、固定幅值的指示信号,利用指示信号的幅度变化,实现激光干涉仪的工作状态监测,以及测量环境的变化与波动的指示。实验结果表明,加入已知幅度频率的指示信号可以实现激光干涉仪在线运行状态的监测。该方法的优点是没有增加硬件负载,可实现激光干涉仪的在线稳定性监测,简化了干涉仪调试过程,提高了运行效率。     

以激光冷却干涉仪反射镜

法国高师、皮埃尔和玛丽·居里大学的研究人员报道了用激光冷却反射镜 ,可提高干涉仪测量精度。由固有热噪声导致的布朗运动是干涉仪引力波探测器精度的最大障碍。该组用 810 nm Ti∶蓝宝石激光注入反射镜后高精密腔产生的同相振动测量布朗运动。用腔信号的反馈环路调制 50 0 m W辅助光 ,以减弱相位噪声。研究人员称 ,该系统可在不影响装置灵敏度的情况下将干涉仪的热噪声减至 1/ 2 0。以激光冷却干涉仪反射镜     

用于纳米测量的集成化单频激光干涉仪

研究了一种基于偏振光的集成式单频激光干涉仪。利用偏振光学变换方法,实现了干涉仪的光学4细分结构,提高了测量灵敏度;构建4路正交探测结构,实现了干涉仪的无源偏振调制,扩大了干涉仪测量范围;采用光路集成化的设计方法,实现了一体化干涉仪光路集成。对激光干涉仪进行振动测量实验研究,结果表明,静态位移测量误差小于±0.3 nm,振动测量的分辨率达10 pm/Hz1/2;上述集成单频激光干涉仪具有测量精度高、稳定性好、动态范围宽、受环境影响小等优点,可被广泛用于纳米测量的各个领域。     

激光合成波长纳米测量干涉仪的非线性误差分析

描述了激光合成波长纳米测量干涉仪的测量原理,分析了非线性误差对该干涉仪的影响,得出了由偏振光非正交、椭偏化和光学元件偏振非正交及椭偏化等对该干涉仪造成的非线性误差为偏振态误差的二阶或高阶小量。进行了激光合成波长纳米测量干涉仪和激光外差干涉仪的对比实验,结果表明激光合成波长纳米测量干涉仪的最大误差为2.1nm,优于激光外差干涉仪的最大误差7.5nm,验证了激光合成波长纳米测量干涉仪的优越性。     

光刻设备中工件台激光测长原理

通过对双频激光干涉仪的原理、结构、双频产生机理进行分析,阐述激光干涉仪在光刻设备中的实际应用,探讨激光干涉仪技术。     

环境分析用的小型中红外激光干涉仪

有机和无机分子的转动振动带处于中红外波段,因此特别适用于对环境有毒物质的光谱分析。德国克劳斯塔尔技术大学的Ｓｃｈａｄｅ小组在汉诺威展览会上展出一种新的可调谐中红外激光干涉仪,可　　中红外激光干涉仪(下图)和废气、烟雾中ＣＯ的探测在环境温度下灵活工作。为了产生中红外(5μｍ或更多)窄带可调谐光,将在ＡｇＧａＳ2晶体中产生差频的二支普通单模激光二极管辐射叠加。干涉仪由计算机控制。用ＩｎＳｂ作探测器,可实时探测发动机废气或香烟烟雾中的ＣＯ。环境分析用的小型中红外激光干涉仪@晓晨     

检验红外材料及光学系统的干涉仪

本文介绍一种在10微米光谱区工作的干涉仪,它的主要用途是检验红外材料的均匀性,对红外光学系统波面进行台曼—格林检验。这种干涉仪以CO_2激光器为光源,采用衍射光栅作分光器。配有单元探测器的扫描摄相机将干涉图形显示在示波器的荧光屏上。此外,还将介绍最近与企业公司共同研制的第二代干涉仪及其典型应用,以便使人们注意到,可以把这些仪器推广应用于检验普遍的机械零件。最后介绍一种能直接获得波面的相位线性显示的实验装置,这种装置与应用光程差调制原理的红外干涉仪一起工作。     

基于L298N的直流电机调速系统的设计与应用

本实验主要研究用无线控制的方式调节激光干涉仪的测量参数,以此实现其高效测量光学样品功能。实验中,直流电机调速系统软件是由TI提供的Basic RF来实现数据接收和发送,硬件是在控制模块与直流电机之间连接一L298N驱动模块,通过无线遥控板向CC2530控制板发送数据来驱动直流电机的转动以及调速,达到其在激光干涉仪中控制调整光学测量环境的重要应用。实验证明:基于L298N的直流电机调速系统可达到无线控制调节激光干涉仪的目的,使得激光干涉仪测量样品更加准确、高效。     

用于VEMbus系统的高性能激光干涉仪定位系统

介绍安捷伦公司的激光干涉仪定位系统的总体结构、功能及特点。给出各种组件的工作、原理及技术参数，包括干涉仪的激光轴板、激光补偿板、远程接收机及激光系统。     

OST-1型一步法投影光刻机、Stepper亚微米光刻镜头、氦-氖双频激光干涉仪在沪通过鉴定

中国科学院上海光机所研制的OST-1型一步法投影光刻机、Stepper亚微米光刻镜头和氦-氖双频激光干涉仪于1987年10月28日在沪同时通过鉴定.鉴定会由中国科学院上海分院主持.OSP-1型一步法投影光刻机采用王之江教授设计的投影物镜,经特殊光学工艺制造而成.它可在大于φ50mm(2时)的硅片上光刻.工作线宽优于4μm、套刻精度1μm; 放大倍率1:1;相对孔径     

激光干涉仪线性测长的准直调节方法

概述了激光干涉仪在半导体工艺设备精度分析领域的应用,简单介绍了光路准直对线性测长的影响。依据激光干涉仪的准直测量原理,详细介绍了激光干涉仪准直的调节方法。     

色心激光在2~4微米之间的连续调谐

本文报导了从2.38到3.99微米可调谐的ΚΙ(F+2)Α心的有效激光作用。同时存在于ΚΙ中的F+2和(F+2)Α心的复合激光范围是1.98~3.85微米。用脉冲Er:YLF激光器1.73微米线同时泵浦这两个心。     

激光干涉仪无线测控的设计和实现

针对传统激光干涉仪需要手动调节光学部件问题,设计并开发了一种激光干涉仪无线测控系统,该系统可以无线调节激光干涉仪光学部件的位置。系统采用nRF2401无线射频技术,与传统的nRF2401运用相比,该系统采用奇偶校验和CRC校验的双重校验,提高无线射频传输数据的正确率。同时系统采用闭环控制,提高了激光干涉仪的精确度和稳定性,避免了光学部件的过量调节对激光干涉仪的损伤。     

几种激光防护镜

目前,报导得较多的是关于红宝石(λ=0.69微米)和钕玻璃(λ=1.06微米)激光对眼晴辐射作用时的阈值及最大容许能量密度的实验和计算数据。这些数据彼此有些差别。对于经常操作激光并长时间受λ=0.69微米激光辐照的实验人员来说,可参考     

激光辐射通过大气传输的衰减

激光辐射通过大气传输的衰减是许多激光应用工程首先必须考虑的重要问题。近年来我们已对这一课题开展了一系列的研究工作,其中包括1.06微米钕玻璃激光、10.6微米CO_2激光和DF/HF化学激光若干谱线在不同大气条件下水平光程传输衰减的实验研究,0.53微米、0.63微米、0.9微米、1.06微米和10.6微米激光透雾性能的比较测量,如何利用水平传输衰减资料换算斜程传输衰减的理论研究,1.06微米激光的斜程衰减实验测量,大气中CO_2气体对CO_2激光各发射谱线吸收的理论计算和实验测量,以及水气对10.6微米CO_2激光连续吸收的实验室模拟测量等等。