油蒸汽流泵的抽速及喷嘴几何尺寸计算的探讨

本文讨论了蒸汽射流中被抽气体分子浓度和蒸汽流压力的变化情况。根据斐克第二定律的扩散微分方程式，导出了油蒸汽流泵的抽速计算公式，进而求得了第一级喷嘴直径计算式。用文中的公式对几种油扩散泵的抽速和第一级喷嘴直径等参数进行了验证计算，其结果与这些泵的实测值或实际使用值接近或相同。     

油蒸汽流泵的返流及其对抽速和极限压力影响的探讨

三十多年来，随着蒸汽流泵，特别是油扩散泵技术的进展，国外和国内围绕蒸汽返流这个课题做了不少的试验。发表了许多研究文章，分析了蒸汽返流来源，提出了减少返流的措施。但是，现在尚没有能够从理论上对返流问题给予定量的解释。此文根据气体分子热运动的麦氏分布律，推导出了离开蒸汽射流的油蒸汽分子速率的计算式，利用角系数概念，计算了喷咀出口平面以上的泵体内壁和测试罩内壁各表面上的返流率数值，证明了油蒸汽分子对表面需要碰撞十数次才能被俘获。由这些计算，提出了蒸汽返流模型。此外，又导出了由于蒸汽返流对抽速减小量Ｓｂ的计算式，分析了蒸汽返流与极限压力的关系，最后，还提出了减少蒸汽返流的一些措施。     

油蒸汽流泵喷嘴的实际抽速及何氏系数计算的探讨

本文根据斐克第二定律的扩散微分方程式，在文［１］的基础上求出了油蒸汽流泵喷嘴实际抽速的计算式。用文中的公式对几种油扩散泵喷嘴的实际抽速进行了验证计算，第一级喷嘴的值与泵的实测抽速比较接近（其他的喷嘴没有实测值可比较）。另外，还求出了何氏系数Ｈｏ的计算公式，它的最大值是在蒸汽射流方向与被抽气体流动方向垂直时，而不是现在通常所认为的是在二者方向一致的时候。     

真空泵抽速测试的计算表达式

本文仅对蒸汽流真空泵及容积真空泵抽速测试的计算表达式作一简介，并通过滴管 油柱压力单位的直接换算，得出简捷的计算表达式。     

油蒸汽流泵技术的新进展

着重介绍了油蒸汽流泵技术在抽汽理论研究和结构设计方面改进的一些新进展。使油蒸汽流泵的理论设计由半经验公式向理论公式靠近, 提高了泵设计的可靠性; 为泵的性能稳定提供了保证。     

油扩散泵两种抽速测量方法的比较

本文提出了介绍油扩散泵两种抽速测量方法的比较研究。所使用的方法是试验罩法和带有辅助抽气系统的流导管法。这个辅助抽气系统是在流量低于 １０－５Ｎｍｓ－１（～０．１μｌｓ－１）时的很低压力下使用。人们发现为了得到在重叠压力范围用两种方法测量油扩散泵抽速比较结果，当规管距泵口法兰是Ｄ／２时，即得到泵本征抽速的试验罩法的同样位置，流导管法中的流导管应安排在距泵口１．２Ｄ的高度。     

油蒸汽流泵设计的实践与认识

本文内容有二，第一部份根据德国学者Ｒ．亚开耳的《汽流高真空抽气机的理论》的二次近似计算的比抽速的表达式，考虑到扩散面积和喷咀角度对抽气速率的影响，而建立和求解偏微分方程组，推导出扩散泵在最佳抽气速率时的喷咀出口直径和喷咀角度的近似计算公式，可以用作油扩散泵喷咀设计计算的参考。第二部份简要介绍了按动量交换原理所推得之蒸汽量及喷咀喉部面积计算公式的两种表达式和按理想气体状态方程所推得之蒸汽流泵喷射级扩压管之喉部面积计算公式以及扩压管入口直径计算公式。最后提到多级蒸汽流泵各级串联工作的变流量设计问题。     

一种新型蒸汽流泵──油增扩泵

本文是通过５ＺＫ－１０００型油增扩泵实例来探讨该类型泵的工作原理、结构特点、性能和展望。     

大抽速轴流分子泵

作者简要地介绍了轴流分子泵的工作原理。接着描述了在大油速轴流分子泵上得到的一些结果。该泵的真空度直到１×１０乇时仍有９０００升／秒量级的抽速。试验期间达到的最低压强为１．４×１０～（－１１）乇。不过，这并不是泵的极限压强，因为在试验过程，泵之转速减低一半以上，压强仍可维持在５×１０～（－１１）乇。     

一种新型油蒸汽流泵——宽域高真空强力油扩散泵

一种新型油蒸汽流泵——宽域高真空强力油扩散泵张国孝（沈阳速达特种真空泵应用技术研究所）一、前言ＧＱＫ（Ｂ）－６００泵是一种新型油扩散泵。该泵打破常规设计，采用特殊结构。它除采用扩散泵结构外，还采用增压泵结构，并把二者有机的结合在一起。此外，还采用了前...     

溅射离子泵的抽速计算

至今,溅射离子泵的抽速用半经验公式S=K(I/P)表示,其常数K由实验确定。本文沿用Schuurman的磁约束气体放电理论,结合Sigmund援引Lindhard的原子碰撞公式所建立的溅射理论,并根据Langmuir的吸附理论,尝试从理论上求得二极型离子泵室温下对氮气抽速公式中常数X的表达式为;K=4.9×10~(-3)cfU_a~(1/4)(g 2-(g~2 4g)~(1/g~(2 4g)))。其中,常数c与泵的结构有关;函数f取决于压强;U_a为阳极电压;g=2.45×10~(-3)cfU_a~(1/4)I/PA。而A为阳极内表面面积。此关系式与实验结果比较相符。     

油蒸汽流泵临界前级压力的定义的修改建议

油蒸汽流泵临界前级压力的定义的修改建议夏正勋（兰州真龙真空设备公司）按照气体动力学理论，文［１］导出了油蒸汽流泵（油扩散泵，油扩散喷射泵）扩压器喉部蒸汽射流的临界压力的计算公式式中Ｐ０——油锅中油蒸汽的压力，ＰａＫ——油蒸汽的绝热指数ｄ２——喷射喷咀...     

扩散泵泵壳对抽速影响的理论模型

假设扩散泵的性能是以工作液的分子和被抽气体之间的碰撞为根据,通过一些合理假设,按照波耳兹曼方程可以推导出抽气作用方程。抽气作用方程可以变换成二阶偏微分方程,其泵体的形状可作为边界值问题,只有通过扩散油气理论,才能提出真正有实际价值的边值问题。能够用公式表示出来。对其求解有可能确定扩散泵壁形曲线对抽速的影响。 抽速方程式的推导 假设分子间的碰撞作为扩散泵抽气作用的基础,看来似乎是明显的。然而问题是碰撞的影响如何处理。从理论上来说,波耳兹曼方程对该问题是可用的,但是由于两种混合物(被抽气体和工作液蒸汽)和边界条…     

提高溅射离子泵抽速的研究

按抽气过程推出了溅射离子泵的抽速公式。实验研究了阳极结构、阴极材料对提高抽速的作用。通过离子泵抽氩清洗后抽速提高现象的分析研究.证实了阴极材料表层成分对离子泵抽速有几倍的影响;钛阴极的泵在抽氮气达到稳定值后,阴极表层即盖满 TiN,而泵的正常抽速是离子溅射 TiN 生成的钛原子在阳极表面抽气提供的。研究表明,理想的离子泵阴极材料不仅应当溅射率高,溅射膜有高的吸气性能,而且应对入射的被抽气体原子有足够高的扩散能力。     

微型离子泵抽速测量方法的探讨

探讨了用定容法测量微型离子泵抽速的装置及程序.并给出了抽速测量不确定度的简化评估.     

扩散泵抽速及动态流量法校准中有效抽速的研究

本文通过简单的数学推导，给出了Ｑ／Ｐ和Ｑ／ΔＰ 两种扩散泵抽速表达式，并从物理意义上解释了它们的区别。在此基础上阐明了动态流量法校准中的有效抽速Ｓ＂（Ｓ＂＝Ｑ／Ｐ－Ｐ０）何以为一常量的理由。文中给出有关实验数据。     

振动功率流的一般表达式及其测量方法

当研究—连续结构上点与点间的振动传输时,单靠测量传递函数尚不足于提供的足够的信息以确定传递途径,并采取有效措施以改善振动控制,因此近年来开始致力于功率流的研究.功率流方法的主要优点是:它同时考虑到了传到结构上的力和速度两个量值.因而也就考虑到了结构的阻抗特性;功率是一个单一的量值,它能给出振动传输的一种绝对度量.并可用常规仪器进行测量:它能清楚地指明哪一台机器、以至哪一个支承点对结构注入了最大的振动功率;最后,根据振动系统的动力特性可以预估振动功率流的传输.因为振动控制的方法是多种多样的,但如用功率流的概念来进行解     

分子泵对Xe气抽速的测试

在不同Xe气流量下测量了F-400／3500和F-250／1500分子泵对Xe气的抽速，指出分子泵对Xe气的抽速是其对N2抽速的0．6～0．8倍。这一折算系数和泵的型号有关，和泵口真空度也相关。     

多级扩散泵提高抽速方法的探讨

一、前言: 现代真空技术中,获得高真空和超高真空的抽气设备,种类很多,但是,在这些抽气设备中,扩散泵仍然是主要设备之一。 扩散系的主要性能参数:极限真空,抽速,最大反压强……等,最近几年来,都有很大进展。其中抽速的提高尤为引起国内外人们的注意。因为它的提高,不仅有技术意义,而且有较大的经济价值。评价一台扩散泵抽速大小,目前多采用何氏系数或比抽速。通过实践的摸索,对此个人有些异议,感到不够合适。因为何氏系数只表明第一级喷嘴最大外缘截面上抽速大小,不能表示泵入口平面上抽速大小;比抽速和温度又有关系,如果温度变化,该值亦跟…     

基于虚拟仪器的分子泵抽速自动测试软件设计

针对当前分子泵抽速测试装置自动化程度低,压强实验点难以调节等问题,设计出一套分子泵抽速自动测试软件,以LabVIEW为软件开发平台,采用RS485通信实现对真空计、气体质量流量控制计、温度控制仪的数据采集和设备控制;采用PID控制方法调节气体质量流量控制计的通气量,实现对压强实验点的稳定控制;采用继电型PID参数自整定技术提高算法对系统的适应性、该软件提高了分子泵抽速测量工作中数据采集和压强调节的自动化程度,减少了人员操作对测量过程的影响,使测试过程更加科学规范,对分子泵抽速测试技术研究和应用具有一定参考价值。