21世纪微电子光刻技术

介绍了248nm,193nm,157nm准分子激光投影光刻的发展过程和下一代光刻技术（NGL）的实用化前景。     

21世纪及1999年微电子技术展望

展望２１世纪及１９９９年微电子技术的发展。认为２１世纪初的微电子技术仍将以硅基ＣＭＯＳ电路为主流工艺,但将突破目前所谓的物理“限制”;集成系统将取代目前的集成电路得以迅速发展;微电子技术将与其它技术结合形成一系列新的增长点,微光机电系统（ＭＯＭＥＳ）、ＤＮＡ芯片等将得到突飞猛进的发展。１９９９年的微电子技术交城超微细光刻技术、铜互连及低ｋ互连绝缘介质,高ｋ栅绝缘介质、ＳＯＩ技术、ＧｅＳｉ和ＧａＮ技     

微电子技术新领域

（三）超导和分子电子技术１超导电子技术超导电子技术是采用超导材料而出现的一类新的电子器件及其应用的总称。早在１９１１年，人类就发现了超导电性，此后虽然经过７０多年的研究和开发，但是超导材料的超导转变温度始终停留在液氦温区，这给超导器件的推广应用带来了...     

21世纪微电子芯片设计技术发展方向

文章主要阐述了21世纪微电子芯片技术及其发展的三个方向：1）遵照Moore定律和按比例缩小原理继续高速发展；2）系统芯片（SOC）；3）智能芯片，或赋予芯片更多的灵气。     

微电子技术中的材料兼容

微电子技术的发展对材料提出了更高的要求。本文评述了硅材料与其它半导体、绝缘物和导体的单片兼容技术及应用。     

混合微电子技术

本报告从市场前景及技术趋势出发，预测本世纪末国外混合微电子技术可望达到的水平，从半导体ＩＣ技术、混合集成技术、垂直集成技术的相互影响了发明混合微电子技术的某些走向及关键技术；从国内混合微电子技术的现状、与国际水平的差距以及工业食物链原则出发，预测我国混合微电子技术应当达到的水平，建议拟应采取的几项对策。     

21世纪初微电子技术发展展望

综述了微电子领域中纳米技术，ＭＥＭＳ，Ｓｉ和ＧａＡｓ集成电路，微波／毫米波器件及宽禁带半导体技术目前的发展状况。在此基础上，对其在２１世纪初期的发展做了展望。     

发展微电子技术,迎接信息化的挑战

微电子技术，基于其重要的地位，成为世界各国尤其是发达国家竞争热点，从而导致此领域持续高速地发展，展望未来，传统领域新的推进或新的突破仍将出现，一些新领域的研究开发也将取得重大的进展。     

微电子技术新领域

微电子技术新领域陈克金,邵凯（南京电子器件研究所,南京,２１００１６）（一）微电子机械系统１引言微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的技术目标是把微机械和集成电路融为一体,将电子系统与外部世界联系起来。它不仅可以感受运动、光、声、热、磁等自然界的外部信号,将这...     

真空微电子技术

本文简要介绍真空微电子管的优越性及近两年来的水平,建议我们今后应做的几项工作。     

LB绝缘膜在微电子技术中的应用

本文研究了半导体技术中绝缘介质膜的发展趋势和LB绝缘膜/半导体结构的最新进展。在有机/无机兼容的前提下,阐述了LB绝缘膜在微电子领域中最有吸引力的方向。     

21世纪电子技术展望

进入2000年,21世纪的序幕徐徐拉开,未来的电子技术将怎样发展呢?日本科学技术厅从“微电子”、“光电子”、“分子、生物电子”、“存储、显示电子”四大领域作了如下预测。     

微电子专业“半导体材料”课程的教学改革

为适应新形势下对微电子人才培养的要求，本文对“半导体材料”的课程内容、教学方法和考核方式进行了多方面的改革。 此次改革的目的在于培养学生在主动学习、独立思考和解决问题等多方面的能力，从而探索出为微电子领域和半导体工业界培养高素质综合型人才的教学方案。     

微电子专业"半导体材料"课程的教学改革

为适应新形势下对微电子人才培养的要求,本文对"半导体材料"的课程内容、教学方法和考核方式进行了多方面的改革.此次改革的目的在于培养学生在主动学习、独立思考和解决问题等多方面的能力,从而探索出为微电子领域和半导体工业界培养高素质综合型人才的教学方案.     

电子整机模块化与混合微电子技术

本文论述电子整机模块化后的优越性及其实现的最佳技术，并给以举例说明。