电子级磷酸的纯化技术及其发展现状

随着半导体芯片制造业和液晶显示器(LCD)制造业向中国转移,中国将逐步成为全球较大的LCD产业基地,中国电子级磷酸的需求量将日益增长,发展电子级磷酸已成为当前精细磷化工行业发展的必然趋势。电子级磷酸广泛应用于大规模集成电路（IC）、薄膜液晶显示器（TFT-LCD）、半导体等微电子工业等方面,用作清洗和蚀刻剂。详细介绍了电子级磷酸的应用领域、质量标准、纯化技术和国内外研究发展现状。     

电子级磷酸的纯化技术及其配套技术

随着半导体芯片和液晶显示器(LCD)制造业向我国转移,以及国内电子级磷酸需求量的日益增长,精细磷化工已成为我国磷酸工业发展的必然趋势.阐述了电子级磷酸的应用领域、分类、纯化技术,以及生产电子级磷酸的配套技术,认为我国在提高电子级磷酸生产工艺水平的同时,应加强其配套技术的研发.     

电子级磷酸的制备工艺与应用研究进展

电子级磷酸是大规模集成电路（IC）、薄膜液晶显示器（TFT-LCD）、半导体等微电子工业必用的清洗剂和蚀刻剂。本文在探讨了电子级磷酸制备工艺基础上,对电子级磷酸的质量标准与检测方法予以综述,并对其应用前景予以展望。     

电子级磷酸的生产工艺及发展现状

电子级磷酸常用于高精度、大规模集成电路以及精密电子元器件等生产过程中的清洗以及蚀刻阶段。随着各类高精度电子元器件的更新换代速度加快,对电子级磷酸控制微粒的要求也更高。已经工业化的MOS以及BVI级磷酸已经实现了工业生产,但是更加精细化的电子级磷酸市场依旧在发达国家垄断下,进口依赖度高,我国尚未有相应的工业化生产线,配套的检测设备以及分析方法也不甚健全。本文主要介绍电子级磷酸生产工艺及其市场应用,同时对电子级磷酸工业化发展战略进行了分析。     

以湿法工业级磷酸生产电子级磷酸的脱砷技术

随着半导体芯片制造业和 LCD制造业向我国转移,我国将逐步成为全球较大的LCD产业基地,国内电子级磷酸的需求量将日益增长。本文对湿法磷酸生产电子级磷酸脱砷技术进行了简述。     

电子级磷酸装置工程设计特点

介绍了电子级磷酸的开发研究现状、制备方法、质量标准。重点综述了电子级磷酸装置工程设计特点，包括厂房设计、材质选择和超纯水问题。展望了电子级磷酸的发展前景，并提出了电子级磷酸生产装置建设意见和建议。     

电子级磷酸制备中杂质的吸附与膜分离技术进展

在电子级磷酸制备中,吸附与膜分离技术得到充分应用,不仅提高了磷酸的纯度,而且投资少,能耗较低,易于工业化。分别介绍了吸附与膜分离技术在电子级磷酸制备中的应用情况及其进展,并对其存在问题提出了改进意见。     

高纯黄磷与电子级磷酸制备方法

随着半导体芯片制造业和LCD制造业向我国转移,高纯磷和电子级磷酸的需求量日益增长,它们已成为我国精细磷化工开发的重点产品。介绍了近年开发的区域熔融、电磁净化法净化工业黄磷制高纯磷,以及熔融结晶法、膜分离法净化工业磷酸制备电子级磷酸等技术。     

电子级氢氟酸的纯化技术及其配套技术

随着半导体芯片和液晶显示器(LCD)制造业向我国转移,以及国内电子级氢氟酸需求量的日益增长,精细氟化工已成为我国氟化工业发展的必然趋势。阐述了电子级氢氟酸的应用领域、质量标准、纯化技术,以及生产电子级氢氟酸的配套技术,认为我国在提高电子级氢氟酸生产工艺水平的同时,应加强其配套技术的研发。     

湖北热法磷酸及液晶电子级磷酸项目

湖北昊坤投资发展有限公司在黄梅县建设热法磷酸及液晶电子级磷酸项目。投资总额615万元。     

电子级磷酸的研究进展

综述了电子级磷酸的应用领域和国内外发展现状,阐述制备高纯磷酸的一些方法,对各种方法进行了比较。     

电子级磷酸的研究与生产进展

介绍了电子级磷酸的用途、产品标准和检测方法,综述了电子级磷酸研究、生产的最新进展以及生产所需的配套技术,重点阐述了电子级磷酸生产中黄磷与磷酸净化的方法、过程和特点,指出电子级磷酸生产技术的发展趋势应为黄磷净化与磷酸净化的集成,以及生产全程净化工序的系统优化,从而实现净化效率的提高以及生产成本的降低。     

以湿法工业级磷酸生产电子级磷酸的脱砷技术

介绍电子级磷酸的生产方法,以及在原料(工业级磷酸)处理阶段的脱砷原理和工艺流程。湿法工业级磷酸经脱砷及后续的结晶、重结晶处理后,w(As)由75×10-9降至10×10-9,产品质量达到SEMI—C7标准。     

电子级试剂生产中应用的纯化技术

介绍了电子级试剂的分类,论述了近年来高纯化学试剂磷酸、异丙醇、过氧化氢和高纯化学气体氯化氢在制备过程中应用的纯化技术。展望了电子级试剂的发展前景,同时对电子级试剂的纯化技术提出了一些建议。     

我国高纯黄磷精制技术进展

近年来,我国在工业黄磷精制科学研究与生产技术方面发展迅速,高纯黄磷在实验室的成功制备为生产食品级磷酸盐、电子级磷酸与医药级磷酸盐打下了基础.介绍水相氧化法、区域熔融法、有机溶剂萃取法等各种技术组合精制黄磷技术及黄磷专用过滤器的技术进展,并提出了加快发展我国高纯黄磷精制技术的意见与建议.