基于数值仿真CFD技术的FFU效能研究

在电子工业洁净室中MAU+DCC+FFU的系统是一个比较常见的空调系统。FFU作为洁净气流循环的主要动力及过滤部分，其效能情况一直是制约洁净室发展的桎梏。将利用数值仿真CFD技术对FFU单元在洁净室运行中的效能情况进行研究，以找到洁净室FFU设计的优化方向。     

关于交流5速群控FFU控制系统探讨

介绍了洁净室FFU控制的几种常用方式,列举其优缺点,并在此基础上探讨电脑群控的交流电源5档调速FFU的开发应用和实例.     

FFU应用方式及相关的问题

风机过滤器单元（FFU）系统有着诸多的优点，在国外的净化工程中得到了极为广泛的应用。但在国内由于造价偏高等原因，一直未能推广。本文着重讨论了如何简化FFU系统，降低造价，以应用于乱流洁净室的问题。     

洁净室技术应用中当前的几个热点问题

对当前较被关心的问题，如洁净室的气流速度的确定，FFU系统的应用及悬浮分子污染控制，进行情况归纳和分析。     

半导体洁净厂房FFU与高架地板布置对气流流形影响的分析

当前的洁净室建造中,MAU+FFU+DCC是主流的气流组织方案,而其中高洁净等级的半导体洁净厂房又以高架地板为主要的回风型式,通过FFU与高架地板布置的分析,详细阐述了FFU布置率和高架地板开孔率的匹配关系,并针对某洁净厂房工程实例,结合先进的CFD (Computational Fluid Dynamics计算气体动力学)技术进行模拟分析,探讨不同布置方案下的气流运行情况,为洁净室气流组织设计提供了理论分析和实际经验支持。     

洁净室FFU盲板夹快速安装方法改良

根据近几年面板及半导体洁净室的施工实践,研究了FFU盲板安装及FFU盲板的固定方式,对于目前项目上常用的盲板夹固定方式进行描述,并进行改进,同行可在以后的项目实践中,对此类做法进行借鉴、参考或者直接引用.     

典型风机过滤单元(FFu)性能分析与评价

风机过滤单元(Fan Filter Unit,简称FFU)是一种模块化的末端净化装置,以其结构紧凑、布置灵活等特点,在洁净室中被广泛应用。针对FFU不同工况下的性能进行测试,分析其能耗变化规律。研究表明,在变工况条件下可根据FFU能耗性能特征,调整群控策略,以实现节能运行。针对不同FFU样品的能耗性能的评价,应同时考虑初始能耗性能指数及使用过程中的能耗增长率两个因素,加以综合判断。在产品的选择以及运行策略的制定方面对于FFU的设计、制造及使用提出指导建议。     

基于数值仿真CFD技术的MAU新风设计及流量调节验算

在电子工业洁净室中MAU+DCC+FFU的系统是一个比较常见的空调系统。MAU系统作为补充排风,区域压差控制的一个重要部分,一直是洁净室设计的一个重要控制点。将利用数值仿真CFD技术对新风管路设计的合理性及流量调节的有效性进行研究,以验证暖通设计方案的合理性。     

江苏苏净集团 苏州华泰空气过滤器有限公司

<正>真诚无限创新卓越以卓越技术和专业服务为您的洁净空间提供系统化的解决方案产品简介FFU系列风机过滤单元特点独特的高风量、低振动、低噪音优异的空气均匀分布性能风速均匀性高、自动恒定风机箱与过滤器分体,更换拆卸方便风机控制简单、操作方便用途FFU系列风机过滤器单元是采用新技术,适用于100000-1000级环境中获得100-1级的洁净环境,它为不同尺寸大小、不同洁净程度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房或翻新中,既可提高洁净度级别、降低噪音和减小振动,也可大大降低成本,是洁净环境的理想部件。     

一种温湿度高精度控制的洁净空调方式

温湿度控制精度较高的洁净恒温恒湿间,可以采用MAU+FFU+DCC空调系统,运用末端DCC冷冻水供水温度与室温相差不大且供回水小温差的精调方式来满足洁净室的温度、湿度高精度控制要求。     

净化空调系统噪声控制

通过具体实例介绍了噪声的估算及预控。     

建设经济型洁净手术室初探

本文对经济型洁净手术室的设施标准及其参考造价进行分析,并对经济型手术室的设计考虑的特点进行讨论。     

TFT-LCD生产工艺环境

文章介绍了TFT-LCD的生产工艺环境,主要阐述了洁净室的管理和在洁净室的一些操作流程。洁净室的洁净等级非常重要,它将直接影响到TFT-LCD生产的合格性,如果没有良好的洁净度等级,那产品的成品率会大大地降低。对于洁净室的管理,必须要做到不带入、不产生和不积累任何的灰尘,这样才可以保证产品生产的正常运行。     

半导体洁净室内分子级污染物的控制方法

对洁净室内分子级污染物(AMC)的分类、取样监测方法以及针对不同制程所采用通用的污染控制方法进行了较为全面的归纳和总结.对不同类型的污染源头进行分类识别,并举出实例.给出了几种控制污染的方法.分析了具体问题的实际情况,讨论了主要的污染源及具体产品的环境控制要求,以找到最合理、有效的处理方法.     

乱流洁净室换气次数的讨论

分析了乱流洁净室净化空调设计中室内发尘量和新风比对换气次数的影响。讨论了换气次数的正确选取方法。引入当量人员密度,提出了规范中换气次数上限适用的当量人员密度限值。     

某医院Ⅰ级手术室速度场数值模拟与分析

为了考察手术室空调设计方案的可行性,利用CFD方法对Ⅰ级洁净手术室内空气流动和分布情况作了数值模拟与研究.结果表明:主流区域单向流状态满足规范要求.空态时,工作面高度平均风速0.265 m/s,与该工程验收时测试值0.27m/s基本吻合;动态时,除在人体周围速度较小外,手术区附近速度基本在0.3 m/s左右,满足要求.     

某硅晶片生产厂房净化空调设计

结合某硅晶片厂房洁净室净化空调系统的实例,介绍了洁净室的净化空调设计原则、气流组织形式、空气处理过程。并对空调系统的自控问题进行了阐述和讨论。     

生物洁净室的污染控制

生物洁净室的目的是控制细菌污染。通过对细菌特性、来源及污染途径的分析,确定了全方位、全过程控制的基本思想,即污染源控制,污染传播过程控制和交叉污染控制,通过分析微粒的运动特性,提出了空气途径污染的主要手段是气流流动控制和表面污染控制,最后分析了交叉污染的形成原因及其防治措施。     

医院洁净手术室的室内空调参数分析

对《医院洁净手术部建设标准》中Ⅰ级洁净手术室的流场和温度场进行了数值模拟,证实了标准中的部分技术参数范围（主要针对静态手术室）在动态时是合适的,并具有可操作性。标准中规定Ⅰ级洁净手术室用局部送风代替全室单向流气流组织形式,既保证了关键区域的净化要求,又大大降低了洁净手术室的造价和运行费用,符合我国的国情。     

半导体硅片清洗工艺发展方向

对半导体硅片传统的RCA清洗办法中各种清洗液的清洗原理、清洗特点、清洗局限以及清洗对硅片表面微观状态的影响进行了详细的论述,同时在此基础上,对新的清洗办法(改进的RCA清洗办法)进行了一定的说明,指出了硅片清洗工艺的发展方向。