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NH3-MBE生长极化场二维电子气材料 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了用NH3-MBE技术在蓝宝石C面上外延的高质量的GaN单层膜以及GN/AlN/GaN极化感应二维电子气材料。外延膜都是N面材料。形成的二维电子气是“倒置二维电子气”。GaN单层膜的室温电子迁移率为300cm^2/Vs。二维电子气材料的迁移率为680cm^2/Vs(RT)和1700cm^2/Vs(77K),相应的二维电子气的面密度为3.2*10^13cm^-2(RT)和2.6x10^13cm^ 相似文献
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GaN材料的GSMBE生长 总被引:2,自引:0,他引:2
在国内首次用NH3作氮源的GSMBE方法在α-Al2O3衬底上生长出了GaN单昌外延膜。GaN生长速率可达0.5μm/h。GaN外延膜的(0002)双晶X射线衍射峰回摆曲线的半高宽最窄为8arcmin。霍尔迁移率为50cm^2/V.s。对质量好的GaN膜,室温阴性发光谱上只有一个强而锐的近岸边发光峰,谱峰位于372nm处,谱峰半高宽为14nm(125meV)。 相似文献
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氧化锌透明导电薄膜的制备及其特性 总被引:3,自引:0,他引:3
氧化锌薄膜的透明导电特性与化学计量偏离和溅射条件有关。以2%氧化铝掺杂的氧化锌陶瓷作靶,采用FR磁控溅射技术制备的透明导电薄膜,其电阻率4.5*10^-3Ωcm,载流子浓度2.8*10^20cm^-3,霍尔迁移率15.8cm^2/V.s平均透射率大于80%。 相似文献
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为探索砷化我阴极的光电灵敏度的影响因素,利用X射线光电子能谱、二次离子擀谱和电化学方法测试和分析了国内和国外GaAs光阴极材料GaAs/AlGaAs的C,O含量的空穴深度分布。实验发现,国内的材料在GaAs/AlGaAs 面及AlGaAs层的O含量分别为7.6%和10.6%,C深度分别为5.2×10^18atoms/cm^3和1.0×10^19atoms/cm^3,而国外的材料的O含量相应为1.0 相似文献
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利用二次离子质谱(SIMS)深能级瞬态谱(DLTS)研究了TiN/n-GaAs体系。SIMS结果表明,退火后Ti的浓度剖面向胂化镓衬底略有移动,N则基本救济为;DLTS观察到的Ec=0.21eV处的Ti^3+*3d)/Ti^3+(3d^2)单受主中心,但其浓度较EL2要小得多。根据实验结果,探讨了退火后难熔金属氮化物/n-GsAs体系电学特性改善的原因。 相似文献
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回顾了国内外在定向金属氧化法制备Al/Al2O3陶瓷基复合材料方面的研究成果,详细讨论了合金成分、外敷剂、温度和气氛以及预形体对其反应机理和显微结构的影响,指出了今后定向金属氧化法制备Al/Al2O3陶瓷材料的研究重点和发展方向. 相似文献
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无压渗透法是制备SiCp/Al复合材料的重要技术.应用实验方法系统地研究了无压渗透法的工艺参数和添加元素对制备工艺的影响.结果表明,在无压渗透法制备SiCp/Al复合材料的工艺过程中,浸渗温度是浸渗过程顺利进行的重要因素,900℃的浸渗温度为最佳浸渗温度.适量加入Mg元素能提高熔融金属Al和增强体SiC颗粒之间的浸润性,获得结合强度好、孔洞和疏松较少的SiCp/Al复合材料,Mg元素的最佳含量约为1.2%(质量分数).适量添加Si元素能增强熔融铝液的流动性,降低SiC颗粒与Al液间的表面张力,改善其润湿性. 相似文献
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本文介绍了电子能量损失谱的基本原理、能量过滤成像分析及应用电子能量损失谱计算碳同素异构体的电子密度和sp^2 键结构的含量。同时应用透射电镜(TEM)和电镜配置的能量过滤成像系统(gatan imaging filter),结合电子能量损失谱研究类金刚石(a-C/Ta—C)和Al/AlN两种纳米多层膜的形态、结构和膜中各元素的分布。结果显示透射电镜观察配合电子能量损失谱在纳米多层膜表征中将会扮演一个重要角色。 相似文献
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利用Ag的高温抗氧化能力,采用磁控溅射沉积Al/Ag/Al导电复合薄膜,并在480℃下进行热处理。扫描电子显微镜(SEM)和能谱分析(EDS)研究表明磁控溅射的Al/Ag/Al导电复合薄膜表面平整,热处理后表面Al膜生成致密的氧化层。溅射沉积和热处理过程中Ag和Al原子的相互扩散,最后形成富Ag的Ag-Al合金和Ag3Al化合物。Al/Ag/Al导电复合薄膜比Ag/Al复合薄膜的电阻率增大了一个数量级,导电复合薄膜热处理后导电性能更优,电阻率约为19.4×10-6Ω.cm。 相似文献