ZnO半导体气体传感器

气体传感器从其材料与结构来说是多种多样的,但简单而又实用的气敏元件多采用金属氧化物半导体作为原料,其中ZnO、SnO_2和γ—Fe_2O_3是常用的检测还原性气体的敏感材料。这三种金属氧化物是一种N型半导体,当其表面吸附了电子给予性气体分子(例如H_2、CO等气体)时,由于半导体与气体分子之间费米能级的差异,会使电子从吸附于表面的气体分子向半导体方向运动,因此N型半导体的载流子密度加大,导电率增     

Te半导体纳米材料气体传感器研究进展

碲(Te)独特晶体结构易形成低维度纳米材料,如纳米管、纳米棒、纳米片等,低维度纳米材料可有效提升材料气敏性能;Te具有高的载流子迁移率、带隙可调节、环境稳定等优点,作为气体传感器敏感材料得到一定关注.结合Te,二氧化碲(TeO2),Te/单壁碳纳米管(SWCNT)复合纳米材料制备方法、结构特征,讨论Te基纳米材料气体传...     

表面覆膜SnO_2半导体氢敏元件

在制备烧结体SnO_2半导体气敏元件的基础上,对元件表面进行了覆膜处理,得到具有高选择性的氢气敏感元件。     

SnO_2半导体气敏器件环境可靠度评估

<正> 引言 目前,SnO_2半导体气敏器件(以下简称器件),由于成本低,灵敏度高,响应时间快等优点已商品化,大量投放市场,用于对易燃、易爆、有毒、有害气体的监测,预报和控制工程中,因而器件的可靠性水平高低直接关系到国家财产和人民生命的安全。当前,半导体气敏传感器普遍存在可靠性差的缺点,故提高可靠性水平是当务之急,也是出口创汇的基本条件。     

一种新型的半导体气体传感器-热线型气体传感器

热线性气体传感器作为一种新型的半导体气体传感器,除了具有灵敏度高、响应恢复时间短、稳定性好的特点外,还具有较低的功耗和优良的抗环境温湿度干扰能力,解决了传统旁热式半导体气体传感器中长期存在问题.本文较为详细地介绍了该类传感器的结构、气敏性能以及气敏机理.     

一种新型的半导体气体传感器一热线性气体传感器

热线性气体传感器作为一种新型的半导体气体传感器，除了具有灵敏度高、响应恢复日寸间短、稳定性好的特点外，还具有较低的功耗和优良的抗环境温湿度干扰能力，解决了传统旁热式半导体气体传感器中长期存在问题。本文较为详细地介绍了该类传感器的结构、气敏性能以及气敏机理。     

一种自组装型SnO_2纳米线氢传感器

为了能够对低体积分数的氢气进行灵敏探测,提高氢气生产、使用、运输、存储的安全性,通过热蒸发SnO2和活性炭的混合粉末的自组装方式直接在Cr-Au梳状交叉电极上制备了一层SnO2纳米线气敏层,构成了SnO2纳米线气体传感器。经测试,发现此传感器对于体积分数范围为10×10-6~500×10-6的氢气具有良好的探测灵敏度。     

一种新型的电离式MEMS气体传感器

本文实现了一种新型的电离式MEMS气体传感器,即线性阻抗电离式MEMS气体传感器。该电离式气体传感器创新地采用了电导率而不是常用的击穿电压来检测不同的气体成分,这样可以避免高电压对器件的影响,提高器件工作状态的可重复性和稳定性。该器件在低压条件下不同气体组分中进行气体放电实验,测出了不同的伏安特性曲线和电导率值,从而证实了该器件的气体传感特性。     

一种新型三维敏感气体传感器的研究

在平面微电极式结构的基础上,提出了一种新型薄膜气体传感器,其主要结构引用了离散阵列的概念,将传统的长方体型薄膜改进为由多条小长方体有间隔的并行排列的离散结构,使敏感薄膜具有了三维敏感效应。根据半导体气敏薄膜的扩散响应理论,对传感器的响应时间和灵敏度特性进行了理论分析,证明新型传感器具有响应时间更短、灵敏度更高的优点;并分析了薄膜厚度对传感器响应时间的影响。     

金属氧化物SnO2半导体气敏传感器

金属氧化物SnO2半导体气敏传感器     

一种新型三维敏感效应电容式SO2气体传感器设计

传统气体传感器只能以简单一维扩散方式对气体响应,扩散机理是建立在表面效应基础上的。提出了一种新型电容式SO2气体传感器。该传感器敏感结构由离散的微型圆柱体单元三维式扩散模型组成,模型上表面和侧面同时接触被测气体,扩大了与被测气体的接触面积。根据气敏薄膜的扩散响应理论,对传感器的响应时间作出分析,并与梳状电容式气体传感器特性相比较,说明新型传感器具有响应时间更短的优点。     

厚膜SnO_2气体传感器的嗅觉特征提取与处理

用一组厚膜ＳｎＯ２气体传感器阵列模拟人的嗅觉形成过程,对５种不同体积分数乙醇溶液进行分 析。详细叙述了实验过程,分别从每个气体传感器与气体反应的曲线中提取４个特征,用ＢＰ神经网络对 样本特征值的处理,对不同体积分数乙醇溶液进行识别。神经网络对训练集的回判正确率为１００％,对测 试集测试正确率为９０％。     

一种新型光纤布拉格光栅气体泄漏检测传感器

提出了一种新颖的基于光纤自加热效应的气体泄漏检测用传感器,不仅可对管道连接处等易发生泄漏的部位进行实时监测,还可提供定量的有关管道泄漏速度的数据。泄露到光纤外部的泵浦光能被附着在光纤光栅外部的金属涂敷层吸收,导致温度上升,改变了光栅的栅格周期,进而影响了光栅的谐振波长。当有气流通过光纤光栅时,由于热量被带走,导致光纤光栅温度变化,通过监测谐振波长的改变即可求得气体的泄漏速度。为简化信号解调方法,利用长周期光纤光栅的边沿滤波器特性,实现光纤光栅传感波长的解调。实验通过控制CO2的流速,证实了该方法的可行性。     

SnO_2纳米结构气体传感器制备与气敏特性研究

由于二氧化锡(SnO_2)稳定的理化性质与优越的导电性能,制备的气体传感器具有灵敏度高、寿命长、稳定性好等特点。利用水热法制备了纳米结构SnO_2材料,进而制作旁热式气体传感器。通过调节氢氧化钠(Na OH)的量,研究不同浓度下纳米结构SnO_2材料的形貌,搭建实验平台,测试不同形貌下敏感材料的灵敏度、选择性、重复性,并分析其敏感机理。     

平面型SnO_2微型传感器

所研制的平面型SnO_2微型传感器是用射频溅射制备超微粒SnO_2膜,和常规的硅平面工艺制作加热器和温度检测器,二者相容集成而制作的气敏器件。用AES、ESCA对SnO_2膜进行了分析,结果表明膜中并没有分离的Sn的成分。利用SnO_2膜接触不同气体表面电导会发生变化的特点,对器件进行了气敏特性测试分析。结果表明:SnO_2膜和Pd/SnO_2膜在200℃～300℃工作温度下对CH_4、CO、H_2、NO_2和H_2S等气体均有明显的敏感特性。当SnO_2膜表面掺入几十埃的Pd后,对上述气体     

一种新型石英晶振微天平水果气体传感器研究

为监测水果在仓储、运输等过程中的新鲜程度,研制了一种石英晶振微天平（QCM）气体传感器。以基频6 MHz的石英晶体为基片,运用一步原位聚合法在其上沉积了对甲苯磺酸（TSA）掺杂聚苯胺气敏薄膜,制作出QCM水果气体传感器。搭建了测试平台,设计了相应的起振、整形、差频、频压转换及数据采集电路。在室温下,测试了该传感器对放置不同天数的苹果释放气体的敏感特性。实验结果表明,在一定范围内,TSA掺杂浓度增加会改善传感器的气敏性能。传感器对放置不同天数的苹果释放气具有不同的响应特性,且具有灵敏度高、线性度好、响应速度快、重复性好等优点,有望在水果仓储运输方面得以应用。     

新型三电极结构SO_2气体传感器

介绍一种新型三电极结构ＳＯ２气体传感器的工作原理、结构设计及其关键制作技术。给出了测试结果，并进行了分析和讨论。     

一种新型方位传感器

简述了二次谐波法磁通门磁强计的工作原理。以高导磁材料坡莫合金丝作探头铁芯 ,试制了一种以正交的双轴磁通门磁强计为基本结构的摆式航向传感器。该传感器体积小 ,分辨率高 ,精度达到 0 .2°。     

一种新型颜色传感器

1 引言颜色传感器在工业机器人、生产自动化和办公自动化中都有很大用处。已有的颜色传感器有三大类: a.双色分解式颜色传感器:把两个具有不同光谱特性的光电二极管扩散在一块基片上后,再求出这两个光电二极管短路电流之比,就可知被测物的颜色。     

一种新型湿度传感器

为改善常规湿度传感器性能,以适应现代科技要求,我们从材料、工艺、设计等各方面进行了研究,以期制得完全新型的湿度传感器.