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对等离子体刻蚀工艺过程中进行刻蚀的终点检测主要应用在以下两个方面：一是刻蚀穿透一种材料并在另一种材料的表面刻蚀过程终止．二是在一种材料内刻蚀到所需的深度后终止。在第一种应用中．由于刻蚀过程中不同材料的光发射谱是不一样．因而通常采用OES（光发射谱）方法进行终点检测。 相似文献
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邵娴 《大气与环境光学学报》2003,(6)
由德国IImenau技术大学、Julich研究中心和Bre-men国际大学的科研人员共同研制的一种用于干涉测量法的位置传感器,它包含了腔内部分透明的光电探测器,这种探测器对腔内形成的驻波进行采样。腔的一端是由附着在位移被监控的物体上的腔镜组成。 相似文献
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使用低相干、宽带光源可以让光纤传感器系统获得高分辨率和大动态范围.光谱域处理技术在具有这种特点的光源下应运而生.该技术的特点是除了使用传感干涉仪以外,还必须用第二个处理干涉仪来提取所需的条纹图样信息.使用交叉的梳状谱也是其特点之一.使用这种技术的光纤传感器系统可以实现多种物理量的测量,而且其结构简单、成本低廉. 相似文献
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压电陶瓷微位移特性的电脑接触式干涉测量法 总被引：5，自引：1，他引：4
介绍了压电陶瓷微位移器的工作原理，在此基础上提出了一种用由立式接触式干涉仪改造的电脑接触式干涉仪测量微位移特性的方法。其完善的测试软件系统，实现了对压电陶瓷微位移量的自动化、智能化精密测量。并对自行设计的压电陶瓷微位移装置进行了测试，得出电压－位移的关系曲线和迟滞曲线，精度和重复性值达０．０１μｍ。 相似文献
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使用低相干宽带光源可使光纤传感器系统实现高分辨率和大动态范围。本文介绍了在具有这种特点的光源下应运而生的光谱域处理技术。 相似文献
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给出了采用5步法测量白光干涉中零光程差位置的理论推导。提出在测量中以双光束干涉条纹间距的1／4大小作为干涉光强空间采样间隔；以被测点附近5点测量数据作为一组基本数据来确定干涉条纹的局部调制度；采用重心法确定干涉条纹调制度的最大值位置，并以此作为零光程差位置。对不同干涉光强分布公式生成的模拟测量数据进行了理论分析；对光电测量系统中的机械精度与光电测量精度对测量结果的影响进行了定量计算。通过计算得到，本方法的最大零光程位置测量误差不超过1／4干涉光中心波长。 相似文献
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利用双原子的光干涉美国研究人员在用激光照明两个捕陷冷却的汞离子的同时，成功地记录了由这些小物体诱发的光干涉。利用两个与离子同样小，同样好动的粒子来散射光并产生干涉，即明暗条纹的交替，这是最近美国得克萨斯大学和在科罗拉多国家标准技术研究院实现的奇特的想... 相似文献
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1 前言光学元件表面的几何形状可以通过干涉测量法非常精确的检测出。一个从所周知的例子就是应用玻璃样板来检测球面。数字化的干涉测量法通常用来获得数值化的检测结果。近来,用来测量圆柱透镜的干涉测量仪器已投入使用。尽管针对平面、球面和二次曲而已有相应的检测方法,但为了获得精确的结果所有的干涉仪都得进行校准。 相似文献
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划痕是光学玻璃常见的缺陷,会导致光束质量下降、光学玻璃热效应增强、抗激光损伤性能降低等,所以在加工过程中需要对其进行准确检测和表征。选取划痕深度值为70 nm的光学玻璃为检测样本,采用光干涉法通过光波加载光学玻璃划痕信息,接着对干涉条纹图像进行图像处理和边缘检测,获取划痕的实际深度值。实验证明,光干涉法测量划痕深度值为70 nm的光学玻璃时,相对误差低于1%。所提方法为光学玻璃加工过程中发现数十纳米级的划痕深度值提供了一种检测手段。 相似文献
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