日本松下开发出UA3P系列三维立体测量仪

日本松下电器产业最近宣布 ,该公司已成功开发出测量精度达 10 μｍ的ＵＡ3Ｐ系列三维立体测量仪 ,并于 2 0 0 2年 5月开始投产。以前的三维立体测量仪因测量探针较大 ,因而无法实现对零部件上极微细的凹陷或曲率半径极小的曲面的纳米级精密测量。而ＵＡ3Ｐ系列三维立体测量仪的探针顶端曲率半径和顶角分别只有 2 2 μｍ和 45°,极大改进了测量性能。该测量仪可用于测量零部件上曲率半径小至 2 μｍ的沟槽或凹陷 ,可用于测量曲率半径极小、面向新一代光盘的非球面镜头以及光纤通信零件的模具设计。ＵＡ3Ｐ系列三维立体测量仪的价格根据不同…     

自聚焦伺服的激光测微技术

以激光ＣＤ 光学头为基础,提出新颖的自聚焦伺服测微工作原理,并以此原理试制测微仪。利用半导体激光器作光源,ＣＤ 光学头作高精度位移检测传感器,并利用高分辨率、高动态响应的压电晶体作微位移驱动源,建立实时闭环反馈的自聚焦伺服系统,由单片机进行控制,实现自动跟踪测量。系统首先在±５００μｍ 范围内进行寻焦搜索,实现光学头聚焦于被测表面,随后立即进入闭环聚焦伺服状态,对微位移进行检测。可获得±０．１μｍ 以上的测量精度,测量范围±１０μｍ ,测量形式为非接触测量。同时,该测微仪还有成本低、体积小、使用方便等优点,是一种值得推广的新方法。     

工程表面粗糙度两用测量系统

介绍了一种新型工程表面粗糙度两用测量系统的设计原理、仪器结构及测试结果。该系统可采用接触法和非接触法两种测量方式,接触法测量范围达±１００μｍ,最小分辨率为０．００５μｍ;非接触法测量范围达±２５０μｍ,最小分辨率为０．０１μｍ。     

激光干涉接触式轴承表面轮廓综合测量

介绍了一种可用于测量滚动轴承曲面形貌的表面轮廓综合测量仪，在测量中应使杠杆处于平衡位置，以减小测量力；用衍射光栅干涉位移传感器作为位移测量系统代替传统的电感位移传感器；z向工作台采用粗、细两级驱动定位，利用步进电机驱动斜面导轨进行粗级定位以扩大量程，压电陶瓷做微位移驱动实现精密定位以提高测量精度。论述了该仪器的整体结构、测量原理、工作台的定位控制以及衍射光栅干涉信号的处理。     

智能刚度测量仪

本文介绍了高精度光栅位移传感器，经过对光栅输出的电信号的电路和软件细分等处理后，智能光栅传感器的测量范围２０ｍｍ，分辨率１μｍ、由位移传感器、压力传感器和测试台组成智能波纹管刚度测量仪系统。在测量系统中对由压力产生的位移误差以及压力的非线性误差进行误差补偿，提高测量精度一个数量级别，最后测量精度为２‰。刚度测量仪可以自动测量波纹管，测量时间１０秒／件，最后由打印机直接打印出所测量刚度、压力、位移的数值。     

哈尔滨量具刃具厂精品量仪简介

22 0 5 ,2 2 0 6型表面粗糙度测量仪本仪器是评定零件表面质量的多用途仪器。可对多种零件表面的粗糙度进行多参数测量 ,可测平面、斜面、外圆柱面、内孔表面、深槽表面及轴承滚道等。特点 :该仪器使用范围广 ,测量范围大 ,性能稳定 ,精度高。传感器采用金刚石测针 ,具有测力小、精度高、寿命长等优点。主要技术指标 :1 测量原理 :触针法 ,差动电感传感器。2 取样长度 (ｍｍ) :0 2 5;0 8;2 5。3 评定长度 (ｍｍ) :Ｎ倍取样长度 ,Ｎ =1,2 ,3,4 ,54 数字滤波器 :国标滤波器 ,相位修正滤波器 ,不滤波。5 量程 :位移的量程 (μｍ) :4 ,2 0 ,…     

高精度可调量程电感式位移传感器测量系统

本文根据电感传感器量程、灵敏度、分辨率和精度之间的关系,以AD598AD芯片为基础设计了电感传感器的后续处理电路。该电路配以数据采集卡和上位机采集程序,搭建了高精度可调量程的电感式位移传感器测量系统。经试验分析验证,测量误差可减小至0.74μm。     

高轨遥感卫星光轴指向误差夹角测量系统标定方法研究

针对空间环境应用中航天器结构形变夹角测量系统因系统误差导致测量精度较低的问题,提出一种基于自准直对比系 统的夹角测量系统标定方法。 通过该方法对夹角测量仪进行标定后得到标定系数,并应用仿真数据对系数进行验证。 验证结 果表明,夹角测量系统量程可达到±25′,测量分辨率可达到 0. 1″。 使用标定后的夹角测量系统进行角度检测,并将测量结果与 自准直仪进行对比。 结果表明,该标定方法简单方便精准度高,计算测量结果与标准值的差值的绝对值,夹角测量仪测量精度 达到±0. 2″,标定后夹角测量仪精度满足卫星使用要求,该方法的应用将为卫星在轨结构微形变研究提供技术支撑。     

基于LVDT的台阶信号拾取方法研究

大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿,合理地选择LVDT特性曲线的不同区域,以及正确设计传感器的安装角度等措施,有效地减小了零点残余电压的影响,并消除测量机构本身固有的二次项误差,提高了仪器的测量精度。实验表明,该仪器垂直方向测量分辨率可达0．5μm,重复测量精度为±0．015μm．     

一种新型三维表面形貌测量仪的研制及应用

介绍了一种新型的基于直线相位光栅干涉三维表面形貌测量仪,该测量仪具有高分辨率、大量程、低成本的特点.该三维表面形貌测量仪由基于直线相位衍射光栅干涉原理的微位移传感器、X-Y二维工作台、立柱、光电探测器以及信号处理电路、计算机及数据处理软件组成.该轮廓仪工作台的工作范围为50 mm×50 mm,最小步距为0.2μm,工作台计量系统的分辨率为0.05μm,微位移传感器理论垂直分辨率可达到0.12 nm,实际测量量程为2 mm,通过更换测杆可以达到6 mm的测量量程.     

广泛用于机床行业的SONY位移测量系统

SONY位移传感器（直线位移传感器和角位移传感器）及其数字显示仪表组成的位移测量装置,主要用于机床、量仪的坐标位置测量;SONY位移传感器及其后续电路也作为数控系统坐标的位置反馈的功能部件。随着位移传感器的发展,促进了量仪和数显测量系统的发展和数控机床的发展。50年来位移传感器的测量分辨力也从5μm提升到1nm,机械加工精度也从1μm提高到0．01μm。     

基准环规检定和传递

内径环规基准件的检定至今仍是一个很伤脑筋的问题 ,因为希望环规的不确定度能保证在± 0 5μm范围内 ,而这样高的精度是很难达到的。表 1列出了在现有水平下测量环规直径所用的仪器及测量方法。表 1　测量环规所用仪器、方法和精度仪器名称规格型号测量方法 仪器精度μm卧式测长仪4J、JD5、JDY -1 0 0T -UIM -5 0 0、ZEISEOPTON绝对测量± (2 +L/1 0 0 )测量仪MUT -1 0 0 0、TJA相对测量± (0 6+9L/1 0 0 0 0 )象点反射比长仪 2 0 0型数字式比长仪直接测量± (0 5 +L/3 0 0 +H/1 0 0 )孔径测量仪 70 1A干涉比较测量± 0 5…     

压电主动元件设计与实验研究

为自适应调节和改善空间结构动力学性能 ,利用压电材料的正逆压电效应 ,研制了一种具有传感和驱动双重功能的压电主动元件。该主动元件由压电驱动器、微位移传感器、压力传感器等组成 ,具有输出和实时检测微位移和力的功能。提出了压电主动元件的设计理论 ,并给出其工作机理及组成结构。针对其关键部件——压电驱动器进行了静态实验研究 ,包括位移输出情况、重复精度和稳定性实验。实验结果表明该驱动器输出位移可达 63 .2 μm、重复精度± 0 .0 5μm、稳定性 <0 .1μm,能够用于空间可展结构的精密微位移控制     

一种新型光电位移传感器在Y-200圆度测量仪中的应用

设计了一种结构简单的完全非接触式光电位移传感器,应用ADS1210数字转换芯片处理光电位移信号,在软件设计方面通过对ADS1210的实时校正调节,可在-2~2 mm范围内移动时线性输出5 mV~4.95 V,外围电路位移可准确测量到0.1μm;最后将所设计的光电传感器用于Y-200圆度测量仪测试钢球的圆度,试验结果表明测量精度较高,可靠性好。     

基于AT89S51的数控机床光栅尺位移测量系统

介绍了应用AT89S51单片机开发设计光栅尺位移测量系统的电路思路及软件设计方法。应用光栅位移传感器和辨向电路的设计原理,开发设计了一套在线测量位移装置,该装置测量精度可达到±0.01mm,实现了在机床加工过程中实时检测工件尺寸。     

用于尺寸测量的气针式传感器初探

论述了一种新型气动传感器——气针式传感器的静特性。气针式传感器的研制将使气动测量技术用于高精度测量场合成为可能。该传感器的测量范围为±１０μｍ,整个测量系统精度可达±０．０９μｍ．对系统经过进一步完善后,预计测量精度可达±０．０５μｍ．     

导电橡胶综合特性自动检测系统设计及实现

为了提高导电橡胶的检测精度与效率,研制了一套导电橡胶综合特性自动检测系统,该系统可以检测导电橡胶的力学特性与电学特性。首先,利用FPGA驱动步进电机,控制加压装置对被测导电橡胶进行自动施压;同时,利用光栅位移传感器测量导电橡胶的形变,利用压力传感器测量相应的压力变化,利用单稳态触发器电路测量导电橡胶的电阻值;最后,根据采集的数据绘制压力-位移曲线、电阻-位移曲线,并对测量结果进行分析。实验结果表明,该系统可以实现导电橡胶综合特性的自动检测。     

长光栅数显表中5μm分辨率的实现

用数显表与不同的传感器相配,只要将传感器的输出信号做相应的处理,就可得到各种类型的精密位移测量系统.如在直线位移测量中可与长光栅尺、圆光栅尺、磁栅、感应同步器等相配合,组成各种精度不同的测量系统.其中以长光栅数显表的分辨率为最高,可达10μm、5μm、2μm、1μm,甚至还可更小.因此,长光栅位移传感器及数显表已成为瞩目的新技术.     

长光栅线位移数字测量系统

<正> 中科院光电技术研究所为满足我国机电一体化和传统机床改造的需要,先后开发了SX-5和SX-6两个系列长光栅线位移数字测量系统。该系统由长光栅线位移传感器和光栅数显表组成。主要技术数据:光栅:25线/mm和50线/mm,精度:±2μm/m;标尺光栅同指示光栅间采用滚动摩擦,回程差:<2μm;工作速度:60m/min;输出讯号双路正弦波或方波任选。数显表的最小分辨率:0.5μm,具有细分预置,D/R和mm/in转换,线性误差修正功     

纳米级精度的线宽测量仪

在大规模集成电路生产中,对掩膜版与硅片刻线宽度的在线检测是保证质量的重要手段。本文介绍了一种高精度,自动化的线宽测量仪。阐述了其原理,构成及设计中有关问题。经实验表明:该仪器的重复测量精度≤±0.005μm;测量精度为±0.02μm.