φ4半导体微型应变芯片设计

本文介绍半导体微型应变芯片的设计依据，对φ4芯片进行设计计算，提出实现的工艺途径。     

一种新型彩色图像读取传感器芯片

介绍一种基于CMOS技术的新型彩色图像读取传感器芯片及其内部工作机理：在读取彩色图像信息时，该芯片可以改善因为R，G，B各色读取领域的不同而导致的颜色再现性差问题，并且具有读取速度快的特点。可以读取黑白图像信息，黑白图像信息的读取密度是彩色图像信息的读取密度的2倍，黑白图像信息的读取速度是普通读取黑白图像信息芯片的2倍。     

雨量光线传感器接口芯片MLX75308及其应用

随着光电技术、集成电路技术和检测控制技术的飞速发展,将雨量光线传感器RLS应用在汽车上从而实现雨刷自动刮水和车前灯自动控制等是近年来汽车传感器应用中的研究热点。重点介绍了德国Melexis公司研发的雨量光线传感器专用接口芯片MLX75308,以其为主控元件设计了RLS模块实现方案,并对其工作原理加以陈述。该方案可满足雨量光线检测在汽车应用方面的智能化、集成化、可靠性高和成低本的国产化研发和生产的需要,具有巨大的市场潜力和广阔的应用前景。     

采用芯片直接安装技术封装的风速风向传感器

提出一种采用芯片直接安装(Direct chip attach,DCA)技术封装的风速风向传感器的设计,制备和测试结果.该传感器采用圆形结构,利用热温差的方法测量二维风速和风向.其利用两步金属剥离工艺直接将在感风陶瓷基板上芯片制作出传感器芯片,利用封装胶将优质芯片倒贴在打孔印制电路板上并进行引线键合,用绝热封装胶对芯片进行封包,形成最终的封装.对封装后的传感器芯片进行风洞测试,传感器可以完成360o风向检测,风速量程为6 m/s.     

我国首颗内置传感器芯片诞生

国内首家研发商用陀螺仪系列惯性传感器的MEMS芯片设计公司深迪半导体目前发布旗下第一款陀螺仪产品SSZ030CG,这标志着我国第一款拥有知识产权的商用MEMS陀螺仪诞生。     

数字传感器芯片

美国芯片制造商美光科技公司日前宣布，它已经开发出了一款数字传感器芯片，新的传感器芯片象大拇指甲一样大小，能够安装在袖珍数码相机和可拍照手机中。每秒钟可以拍摄30幅照片或高清晰视频。     

微型机电系统在医疗中的应用

微型机电系统是一个新兴的技术领域,其主要优点是体积小、重量轻、能耗少、响应快、大批量、成本低等,有广泛的应用前景。在概述微型机电系统的基础上,介绍了用于医疗的微型机电系统,包括微型传感器、微流量系统、微仪器,以及其它MEMS系统。最后简介了国内在这方面的发展状况。     

硅微型传感器的现状与发展趋向

采用与标准集成电路工艺相兼容的技术来制作微型传感器是近来所能达到的,这将有助于将传感器、执行器的元件部分与接口电路集成为一体,来形成微系统。如加速度计、谐振传感器和化学传感器等发展的例子都可以证明这一点。     

压力传感器芯片设计及温度分析

设计了双岛梁结构量程是200 Pa的超微压力传感器,进行了理论分析与计算,并对模片上的电阻条的宽度和长度进行了研究,为传感器惠斯通电桥的设计提供了重要的依据.通过有限元仿真软件,对传感器进行了温度分析,探索出了传感器的工作温度范围.最后,对传感器芯片尺寸进行了相关分析,发现随着尺寸增加和膜片厚度减小,纵向、横向、纵横应力差及Von Mises应力均增加,但弯曲程度也相应增大,即灵敏度提高,线性度下降.     

微传感器压力测量系统

压力是应用最为广泛的物理参数之一,压力测量在工业生产中必不可少.在研究微电容传感器的基础上,分析了压力测量的工作原理,提出一种基于微电容传感器的压力测量的设计方法,给出适合该种传感器的信号检测电路和压力测量系统组成.实践表明,此设计方法具有较高的准确性和应用推广价值.     

压电薄膜微传感器的动态特性分析

论述了压电薄膜微传感器的结构和工作原理,应用有限元方法对压电膜微传感器进行了动力学分析。利用有限元软件ANSYS7．0对压电薄膜微传感器结构的振动模态进行了仿真,并拟合了感应电压和动态外力幅度、频率以及结构几何参数之间的关系,这些分析为此类微传感器的设计提供了理论依据。     

PZT压电薄膜微传感器的优化设计

通过经验设计出压电薄膜微传感器的基本结构，研究了压电薄膜微传感器的工作原理，选定了优化参数和优化目标；然后利用有限元软件ANSYS7.0进行优化设计，对压电薄膜微传感器的结构尺寸对其线性度和灵敏度的影响进行分析；结合微电子工艺的要求，选定了一个比较合理的结构尺寸，模拟了它的线性度和灵敏度。     

微电子机械技术的研究和发展趋势

MEMS技术作为一门新兴的技术，越来越受到世界各国的重视。文中主要阐述了MEMS的研制背景、加工工艺、现状和发展趋势，并对MEMS技术面临的问题进行了简要分析。     

微电子机械技术的研究和发展趋势

MEMS技术是一门新兴的技术,近年来,越来越受到业界各国的重视。以下主要阐述了MEMS的研制背景、加工工艺、现状和发展趋势,并对MEMS技术面临的问题进行了简要的讨论和分析。     

场发射推进器的研究现状及展望

论述了场发射推进器（FEEP）的原理、结构和研究现状,并阐述了开展该研究需要解决的关键技术。分析认为FEEP是一种先进的微牛级电推进器,特别适合于微型航天器的姿态控制、阻力补偿以及星座编队飞行。     

电磁热处理在普通手用锯条热处理上的应用研究

在锯条热处理过程中，保温时通入一定强度的脉冲电流，放入顺磁场中冷却，处理后T10钢锯条锯齿表面硬度可达到HV825～889，锯身的塑性较普通热处理也有较大提高，高的锯齿硬度和耐磨性加上好的锯身塑性使锯条的使用寿命得以延长。     

高功率射频微系统的微泵研究进展

随着射频电子装备不断向高集成度和大功率方向发展,传统开式循环冷却技术已不能满足系统微型化及高热流密度散热需求,急需发展闭式循环片上冷却技术.微泵是闭式冷却系统的核心部件,而目前微流控泵的性能与射频微系统大流量、高扬程的需求存在量级差异,因此亟待明确射频微系统微泵的发展方向,研制符合要求的高性能微泵,以解决射频微系统散热...     

基于COMSOL的电喷镀阳极喷嘴设计研究

为了缩短阳极喷嘴研制周期,按液体湍流建立加工区域流场的数学模型,并按照“电镀,移动网格”建立二次电镀的数学模型,根据电喷镀加工工艺参数设置边界条件,采用COMSOL Multiphysics软件对加工区域进行数值模拟,分析加工区域流场分布及电场分布对实际加工的影响,并模拟不同时刻阴极生长的轮廓曲线,最终确定较好的阳极喷嘴设计方案。结果表明,底端圆弧状的阳极喷嘴获得的沉积层效果较好,计算机模拟结果与工艺试验结果一致。     

电化学气敏传感器的原理及其应用

主要介绍了电化学气敏传感器的工作原理及特性,详细阐述了气敏传感器中的恒电位电解式传感器的结构以及应用电路。利用不同的恒电位电解式传感器能检测酸性、碱性毒气的特点,设计了主动式送风防毒面具的控制系统,成功实现了在不同环境下的过滤通道的切换,从而达到了过滤毒气的目的。此控制系统结构设计巧妙,具有广阔的应用前景。