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结合某多晶硅企业生产废气处理实践,介绍了碱液淋洗的处理工艺,并提出了电解废碱液回收Na OH、H2和Cl2的综合利用方法,不仅能将对环境的影响降至最低,还能够降低成本,产生一定的经济效益。 相似文献
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还原高频电源技术、硅烷流化床法和气液沉积法,可与改良西门子法工艺技术有机结合生产多晶硅,对解决目前国内多晶硅所面临的生产成本高、产品质量低下等问题具有非常重要的意义。本文总结了改良西门子法、硅烷流化床法和气液沉积法生产多晶硅的工艺技术,分析了各自的优缺点和发展方向。指出了目前的改良西门子法核心设备的改进方向和应用还原高频电源技术、硅烷流化床技术需在加热方式上做进一步开发研究,气液沉积法可与现有的多种工艺技术相结合形成多种工艺路线,其中二氧化硅经碳热氯化法制备四氯化硅后,与氢气还原四氯化硅法相结合制备多晶硅,是值得研究开发的一种新工艺路线。该工艺路线不仅工艺流程大大缩减,而且四氯化硅的提纯比其他氯硅烷更容易,生产的多晶硅产品质量更高、成本更低。 相似文献
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在多晶硅还原生产过程中,影响产品质量的因素主要有:硅芯氧化、爆米花、停炉倒棒。围绕还原生产过程中各个控制环节,提出如何提高多晶硅产品质量的措施。 相似文献
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多晶硅生产中三氯氢硅精馏节能工艺 总被引:1,自引:0,他引:1
简述了多晶硅行业概况和差压耦合蒸馏节能技术。详述了一种高纯三氯氢硅差压耦合精馏工艺,利用高压塔塔顶蒸汽作为低压塔塔釜再沸器热源,实现了能量的集成与过程优化。运用化工模拟软件PRO/Ⅱ8.1模拟了两塔高纯三氯氢硅差压耦合精馏工艺和三塔高纯三氯氢硅差压耦合精馏工艺的设计参数。结果显示,两塔耦合三氯氢硅一次收率为92.0%,理论节能50.1%;三塔耦合三氯氢硅一次收率为92.0%,理论节能66.7%,效果更好。该技术已成功实现工业化,可使精馏单元实际能耗平均降低40%~60%,同时大幅减少了设备投资。 相似文献
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随着我国低温储存系统应用的大型化发展,优化乙烯低温储存系统汽化气(BOG)气体处理工艺对降低装置运行能耗、节省投资的作用逐步增大。首先介绍了BOG气体的4种不同压缩制冷循环处理工艺;然后通过压焓图从理论上对其节能原理进行分析;同时根据实际数据对比不同工艺过程的制冷系数和能量消耗;最后总结出二次节流中间冷却工艺更为节能,为优化乙烯低温储存BOG气体处理工艺,实现节能降耗提出了适用性建议。 相似文献
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碳杂质是多晶硅产品的重要杂质之一。为了更好的控制多晶硅产品中的碳杂质,需要明确碳杂质在生产中的分布及转化原理,寻找控制产品中碳杂质的途径。通过分析多晶硅生产中原辅料中碳杂质的来源和控制方式,进而控制产品中碳杂质。 相似文献