双频激光干涉仪固定棱镜及活动棱镜的合理安装

本文分析了用双频激光干涉仪对仪器（机床）进行位置精度检测时，干涉仪固定棱镜（参考棱镜）及活动棱镜的安装合理与否对测量结果的影响。     

提高双频激光干涉仪对准精度的一种方法

本文介绍利用三面直角反射棱镜，提高双频激光干涉仪对准精度，减小测量误差的一种方法。     

激光干涉仪

激光干涉仪安田贤司１．原理和结构（ｌ）原理干涉仪是用某种方法使光束分为两路，它们行经不同的光路后再重合，观测由各光路长度决定亮暗的光强度（干涉条纹）的装置。光具有波的特性，上述重合将产生相互加强或减弱的现象，称为干涉。（图１略）（２）结构图２斐索干涉...     

用量块标定双频激光干涉仪的新方法

本文叙述了一种用量块对双频激光干涉仪的长度不确定度进行检定的方法。并对测量系统的不确定度进行了分析研究，这是研究工作中的一个新尝试。实验及理论分析表明，这种方法测量结果可靠，能够满足有关国家标准中的检定要求，并且测量系统易于组成，对测量条件要求不高，具有一定实用价值。     

基于Koester棱镜的单频干涉仪

介绍了一种采用Koester棱镜的单频干涉仪系统。该系统集成了两个干涉仪分别作为角度干涉仪和测长干涉仪,都是双光束平面镜Michelson干涉仪;使用四通道信号接收系统,可以提高测量的精确性;并给出整个系统的光路图和实验数据,获得较好的结果。     

工厂实用型激光干涉仪

本文介绍的仪器采用实物长度标准定标,不需要测定空气折射率,在标准温度(20℃)时可直接读数。且仪器成本低,适合工厂使用。     

高测速双频激光干涉仪及其性能检测

新型驱动电机和高速传动器件的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm/s，而目前商用外差干涉仪的测量速度不能完全满足这一要求。为此，研制了一种基于5MHz频差双频激光器的高测速干涉仪，理论上的最高测量速度可达1580mm／s。通过实验对测量速度和计数频率进行了检测，结果证明，这种干涉仪可以达到的最高测量速度为980mm／s，外触发计数频率达11kHz。     

双频激光干涉仪测量竖直轴光路调整实践

本文针对双频激光干涉仪在进行各种机床、风洞运动机构等竖直轴位置精度校准时,光路调整复杂,工作效率较低,测量精度难以保证等问题,在充分分析了光路调整工作原理的基础上,设计加工了一种竖直轴专用光路调整台,并成功应用于实践,缩短了光路调整时间,极大提高了工作效率。     

环境对双频激光干涉仪测量不确定度的影响

双频激光干涉仪使用于不同的环境条件下时，由于空气折射率的变化，会使其测量不确定度受到影响。采用计算法进行修正时，要求正确地测定环境参数，如气压、温度、湿度等。本文对于这些参数的测定精度进行了分析，给出了具体的环境参数测定不确定度。     

基于AD8302的双纵模双频激光干涉仪信号处理系统

为了解决双纵模双频激光干涉仪原有信号处理电路两路信号易直流漂移、不正交对干涉仪系统测量精度和速度的限制及调整光路观察信号不方便等问题,利用AD8302的良好高频处理特性,设计了一种新的基于AD8302的双纵模双频激光干涉仪信号处理系统,给出了方案的总体框图和信号处理流程图,详细地分析了其工作原理以及提高相位测量精度方法.由于器件相位测量的高分辨率,该系统也可用于高分辨率双纵模双频激光轮廓仪的信号处理.     

双频激光干涉仪的程控倍频计数器设计

在介绍双频激光干涉仪工作原理的基础上,给出程控倍频计数器系统总体设计图,详细论述了基于NE564程控倍频模块和双通道缓冲连续计数模块的硬件设计,实现了按键控制对输入信号进行2、4、8、16四种倍频处理,并对输入信号连续计数,硬件求出频差,通过单片机计算将最终测量结果显示到液晶屏上。最后用实验验证程控倍频计数器特性。     

激光干涉仪使用技巧

本文讨论了激光干涉仪在使用中的准直等技巧,用户在实际使用中增加配件以及维护中遇到的问题.     

双频激光干涉仪标准装置不确定度分析与表示

本文详细介绍双频激光干涉仪标准装置的不确定度分析与表示.     

外差激光干涉仪的实现方法及其特点

本叙述了激光外差干涉测量技术的发展和应用，介绍了实现激光外差的三种方法，双频激光法，频移器件法和半导体激光线性调频法，中分析了其特点及发展趋势。     

GLI-100型量块激光干涉仪

本文所介绍的是最近研制成功的GLI—100型量块激光干涉仪,主要用激光波长直接测量高精度量块的长度,又可免去传统方法测量时必须把量块与辅助面相研合的麻烦,本仪器由光、机、电、电感、电子、激光和环境参数(温度、气压、湿度)测量系统等各部分组成,集当代一些高新技术于一体而设计研制成功的自动化、智能化、原理新颖的光波干涉仪。     

接触式激光干涉仪的数据采集与处理系统

讨论了接触式激光干涉议的数据采集与处理系统，其特点是性能稳定，操作灵活。实验证明，该系统满足仪器分辨率为0．01μm，重复性误差在0．03μm以内的要求。