动态三维面形测量

简述三维测量必要性和要求后，提出用光栅莫尔三维测量，激光全息干涉计量和计算机全息干涉计量的工作原理。     

激光全息和其他光学检测术在航空航天工业中的应用

激光全息和其他光学检测术在航空航天工业中的应用朱建堂（成都飞机工业公司工研所，６１００９２）激光全息检测系指应用激光干涉技术对任意形状和表面状况的物体进行三维干涉检验和测量。。全息干涉计量术是普通干涉计量与光学全息术相结合的计量术，是一种微差位移（或...     

溶液扩散系数自动测量系统

结合实时法全息干涉计量和数字图象处理技术，提出了一种溶液扩散系数的自动测量系统。在干涉图的处理中，采用了相位检测和曲线拟合技术，得到了亚象素的测量精度。     

三维表面轮廓的白光干涉垂直扫描测量方法的研究

基于白光干涉垂直扫描轮廓测量原理,研制出一种以6JA干涉显微镜为基础,配合自带计量衍射光栅测量系统的精密垂直位移工作台,从而实现大范围、高精度三维表面轮廓测量的方法.实验结果表明,采用白光干涉垂直扫描轮廓测量方法,可满足测量解析度及精度达到纳米等级的同时,其垂直测量范围可达80μm的三维表面轮廓测量要求.     

利用计量型原子力显微镜进行纳米台阶高度测量

计量型原子力显微镜纳米测量系统主要由扫描器、测针位置传感器和一体化微型激光干涉三维测量系统等部分构成．针对计量型原子力显微测量系统,采用三维激光干涉测量系统作为测量基准,以实现原子力测量系统的纳米尺度量值溯源和校准工作．建立了校准模型,分析了扫描器9项主要误差项,并将该模型应用到原子力显微镜扫描器的校准中．校准后的结果表明,除z轴位置误差不超过±2nm外,其他8项的残余误差均不超过±1nm．通过台阶高度国际比对,建立了台阶高度标准计算方法及不确定度分析模型．台阶高度国际比对的测量结果表明,计量型原子力显微镜的测量值与参考值相差均小于1．5nm．     

WIVS三维表面形貌测量仪

介绍利用纳米计量垂直扫描工作台实现对6JA干涉显微镜的改造,研制出WIVS三维表面形貌测量仪。该仪器能够精确有效地测量Ra值为0.001~2.0μm的三维表面形貌。通过对改造前后的6JA干涉显微镜进行性能分析,说明了WIVS三维表面形貌测量仪能够满足工程表面测量的发展要求。     

准外差干涉计量算法分析及应用

采用最小二乘方法，在更一般的意义下推导了准外差干涉计量的相位计算公式，提出了测量误差与采样方式、采样次数、信噪比及相位漂移的关系，提出了相位算法选择的基本依据。建立了准外差全息干涉计量系统，能对条纹图进行全场、高精度、全自动的定量分析；将其应用于实际物体变形的测量之中，给出了实验结果。     

激光外差干涉测试

激光干涉测试具有测量准确度高、测量范围宽、测量速度快、测量过程容易实现自动化等优点。本文介绍一种抗干扰能力强、能在车间现场进行精密计量的激光外差干涉测试法和它的应用。     

全息剪切干涉法测量透镜几何象差

本文用全息双频光栅剪切干涉装置对透镜几何象差的测量进行实验研究。将象差光束中两剪切干涉光线的交点看成点源,提出了用经典杨氏干涉观点、由剪切条纹图确定这些交点的空间位置而直接得到几何象差的杨氏条纹分析法。对几个透镜的象差作了测量和分析;与设计理论值作比较,二者符合良好。     

激光全息干涉层析技术测量温度场的探讨

本文介绍了一种激光全息干涉层析技术来测量温度场的方法，具体包括光学质量、数学重建及可视化处理三个方面，并给出了应用实例，对该研究的实际应用给予了验证，结果良好。     

双曝光全息干涉测量

本文论述了双曝光全息干涉测量技术的基本理论和实际应用方法。并进而推论了条纹形状和物体微小位移之间的定量关系。最后给出了实验装置和实验结果。     

白光相移干涉中频谱对测量精度的影响

在相移干涉中有时采用白光干涉来扩大深度测量范围,白光光源的使用,缩短了光束的相干长度,降低了测量精度。本文从干涉理论出发推导了白光相移干涉法测量三维表面形貌的计算公式,通过数值积分的方法分析了干涉光频谱对测量精度的影响。分析表明,在白光相移干涉测量中表面形貌的测量精度与中心波长和频谱宽度有关,白光频谱越宽,测量精度越低,中心波长越大,测量精度越高。     

希尔伯特变换实时全息干涉条纹相位提取

实时全息干涉法可以观察记录整个测试过程中条纹图的动态变化,传统相位提取算法只适合于静态干涉条纹图相位的提取.根据实时全息干涉条纹和希尔伯特变换的特点,提出了利用希尔伯特变换提取实时全息干涉条纹相位值的方法,采用了高通滤波的方法减少背景光强的影响,对铝片受力变形实验中实时全息干涉条纹的相位变化分布进行了提取.实验表明:希尔伯特变换法适合于动态条纹的相位提取,可以自动提取实时全息干涉测量过程中全场各点在任意两个时刻间的相位变化值,且测量结果与实时全息干涉条纹人工分析结果一致.     

光纤折射率分布和几何参数标准测量装置的研究

介绍了中国计量科学研究院建立的光纤折射率分布和几何参数标准测量装置，该装置采用“光反馈激光开关干涉-计算机光功率组分”测量微位移，并采用“干涉逼近法”和“插值法”测量折射率差的方法，分别使光纤的几何参数测量和折射率差测量溯源到He-Ne激光波长，测量光纤皮径和芯径的不确定度（2σ）分别为±0.25um和±0.5um。测量折射率的不确定度达到±2×10^-3。     

双曝光全息图的几种记录方法

双曝光全息干涉法是利用空间波前再现原理，达到无接触地三维观测目的，是全息干涉量度技术的重要方法之一。此技术在各种领域中的应用日益广泛，本文介绍了为应用此技术而制作双曝光全息图的几种方法。     

基于线阵 CCD 的全息光栅位移传感器

目的：提出了一种新型的基于全息光栅的CCD位移传感器。方法：利用CCD分辨率高，像素均匀等特点，对干涉条纹的移动进行精确定位，利用全息光栅在测量过程中又具有不受光源波长的影响，适用光谱范围宽等特点，实现位移的自动精确测量。结果：系统能够对位移实现自动精确测量。结论：该系统具有一定的实用价值及应用前景。     

动态与信息

第七届全国激光检测与应用技术交流会在屯溪召开中国光学学会和中国航空学会于1994年8月16日至20日在安徽省屯溪市召开了第七届全国激光检测与应用技术交流会。来自12个省市自治区的64位代表参加了会议。会议共收到征文67篇，其中54篇论文（摘要）收入本届会议论文集。30位代表在大会上宣讲了35篇论文，分别涉及激光全息无损检测及干涉计量，激光散斑无损检测及干涉计量，激光光纤检测技术及应用，激光尺寸、形状、位置测量技术，激光多普勒测量技术，激光参数测量技术，激光在线检测技术，激光显示技术，激光超声检测新技术，激光光谱等方…     

激光全息干涉层析技术测量温度场的探讨

本文介绍了一种用激光全息干涉层析技术来测量温度场的方法,具体包括光学测量、数学重建及可视化处理三个方面,并给出了应用实例,对该研究的实际应用给予了验证,结果良好。     

光激励SMA对复合材料振动影响的研究

采用国内常用复合材料作试件，用全息干涉计量术，研究ＳＭＡ埋入前后有光激励前后对复合材料的振动的影响。     

基于数字全息层析的三维测量技术

针对传统测量方法不能同时实现功能性梯度材料外部三维轮廓测量和内部三维结构测量的缺陷,提出了基于数字全息层析的三维测量技术。以单模光纤作为实验样本,采用基于数字全息层析的三维测量技术对其进行分析。实验结果表明,基于数字全息层析技术的三维结构测量方法能很好地实现功能性梯度材料等一些透明物体的三维轮廓测量和内部三维结构测量。