小型四极质谱计用于某些材料气相成份的定性分析

一、实验装置和方法采用全金属的半无油真空系统(见图1)。前级用2XQ-1型机械泵,超高真空使用的是3TL-300型溅射离子钛泵。自行设计了不锈钢的六通样品分析室。分析室、前置真空、钛泵以及进样系统之间,均用CDS型超高真空阀门隔离。四极分析器以垂直方向密固在分析室的法兰上。     

涡轮分子泵制造工艺的一些改进及其在微波管排气的初步应用

我所制造的ＡＧ０７５、 ０２８型立式涡轮分子泵与我国ＦＢ—１型立式涡轮分子泵是同一类型产品。在制做过程中对电机、隔离环等进行了一些改进。产品制成后，对Ｏ型运波管进行了排气实验，通过排气过程的质谱分析及管子封离后的频谱分析表明管子的主要性能（信／杂、寄生调频、边带噪声等）都优于有油排气系统（机械泵＋扩散泵＋冷阱），平于无油排气系统（分子筛吸附泵＋钛升华泵＋离子泵）。     

有油排气系统的改进

以普通油扩散泵一机械泵组成的有油排气系统是当前电真空器件生产中获得高真空的重要手段。由于目前电真空器件在该有油排气系统上排气封离时极限真空都限制在１０－７～１０－６乇，且存在油蒸汽对被抽器件的污染，使许多要求耐高压、高放射率和长寿命的器件的性能不能稳定和提高。 本文试验了由钛升华阱──冷阱──普通扩散泵──活性氧化铝吸附阱－机械泵组成的真空系统的抽气性能。结果表明系统极限真空度用液氮冷却在五～八小时内达到 （５～８） × １０－１０乇，自然冷却达到（３～４） × １０－９乇。并用该试验系统试排了数只 ＴＭ－８５电子管，在基本上不改变原排气工艺规范和不延长排气时间的条件下封离时真空度为 （１～２） × １０－８乇比原系统提高了二个数量级，参数全部合格，试验结果说明，系统的操作步骤对极限真空有很大影响，如在管内采用锆铝吸气剂并适当改变排气工艺规范以适应系统的超高真空性能可能获得更高的极限真空度。     

钛升华泵

1.引言 在真空系统中,利用钛膜对活性气体进行排气的钛升华泵,操作简便,造价低廉,是一种具有较大抽速,无油污染的泵。因此被广泛地应用。就其应用范围来说,是所有需要清洁的超高真空的装置,不论是蒸镀装置、电子显微镜、加速器、核聚变实验装置,还是空间模拟的排气系统都可使用钛升华泵。 本文将介绍有关钛升华泵在使用上的各种特点,最近使用的蒸发源及其应用的例子。 2.钛升华泵的特点 2·1钛升华泵与其他泵相比的特点 钛升华泵(也叫钛吸附泵),这是一种在真空中将钛膜镇在堆壁上形成吸气面,利用钛活泼的性质进行工作的泵。排气机理主要是利…     

大功率发射管排气用的无油超高真空系统

一 、引言 无产阶级文化大革命以来,无油真空技术在我国发展很快。无油超高真空系统由于具有气氛清洁、极限真空高、安全可靠、无噪音和无振动等优点,逐渐应用于电子器件的研究与生产中。例如用于真空电容器和多种微波管的排气,近年已有报导。〔1〕〔2〕 用于广播、电视与通讯中的各种短波大功率发射管(以下简称大发射管),大多加工复杂、成本较高。这类电子器件都要求长寿命,高可靠性。因此,如何把无油真空这一新技术应用于大发射管的研制中已提到日程上来了。 我们两个单位合作试制的用于大发射管排气的无油超高真空系统于七四年末安装调试…     

如何选择和使用涡轮分子泵

本文首先介绍了涡轮分子泵的工作原理,结构型式及其优缺点。为了利用涡轮分子泵,获得清洁真空,国外多利用干式机械泵作其前级泵,构成无油的真空系统。然而,目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵,构成了有油真空系统,如果操作不当,很难避免油蒸汽返流,对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空,国内外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验。这些对用户正确选择和使用涡轮分子泵有油系统获得清洁真空,有一定的参考价值。     

程控无油超高真空排气台的研制

由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺的自动控制.介绍了无油超高真空系统、控制系统、烘箱与热功率以及软件的设计.排气台为多工位结构,具有气体质谱分析和充气功能;空载时极限真空度优于8×10-7Pa;烘箱烘烤温度为25～600℃,连续可调,恒温精度优于±1%;分析质量数为1～80.程控排气台设计合理,操作简便,计算机控制技术精细了工艺过程控制量,排除了人为因素,其性能稳定可靠,可满足使用要求     

第九讲：真空系统组成元件

2　捕集器(上接 2 0 0 0年第 1期第 51页 )捕集器也称为阱 ,用来捕集真空系统中的可凝性蒸气。在有油封机械泵和蒸气流泵组成的真空系统中 ,存在着工作液的蒸气 ,如油蒸气、汞蒸气、水蒸汽等。这些蒸气进入被抽容器之后 ,使真空度降低 ,氧化电热体和被处理工件 ,污染真空系统。为了减少乃至消除这些有害蒸气 ,在有油蒸气污染可能的真空系统中广泛使用捕集器。捕集器的种类很多 ,根据捕集器捕集蒸气的原理和方法不同 ,捕集器可分为挡油帽 ,机械捕集器 (又称挡板、障板、机械阱 ) ,冷凝捕集器 (又称冷阱 ) ,吸附捕集器 (又称吸附阱 )和其它类…     

第十六讲真空系统的操作与维护

(上接2009年第3期88页) 4 扩散泵抽气系统 4.1 扩散泵抽气系统组成 一台经典的低返油率小型扩散泵高真空抽气系统的示意图.抽气系统主要由扩散泵、冷阱、闸板阀和机械泵等的结合组成.     

口径φ200毫米超高真空氟橡胶插板阀

大口径插板阀,使用氟橡胶密封。由于氟橡胶有可凝物挥发出来,且出气率较高,会影响系统的极限真空,也可能会污染系统;因此在无油超高真空系统的设计中采用氟橡胶阀时往往很谨慎。分子束外延系统由分子筛吸附泵、升华泵(抽速7000升/秒)和三极式溅射离子泵     

具有冷冻升华阱的金属超高真空系统

在以金属油扩散泵为主泵的抽气系统中,附加一冷冻钛升华阱,消除了一般扩散泵抽气系统中普遍存在的压强脉动现象,获得了1× 10-11乇的极限真空。这是目前用来获得同等真空水平的简单、经济、适用的好方法。而且实质上是一台用有油的手段达到“无油”目的相当清洁的系统。 一、引言 油扩散泵抽气系统几十年来都是用以获得高真空和超高真空的重要抽气手段。但是近年来由于表面物理,空间模拟,电子器件等科研和生产对更清洁的真空环境的要求,完全采用无油抽气手段获得清洁真空环境的所谓“无油”系统迅速地发展起来。因此流行着一种看法:认为采用…     

复合式溅射离子泵

目前在中小型无油超高真空抽气系统中,大多采用溅射离子泵为主体系,尽管溅射离子泵具有一系列优点,如使用简便,寿命长,耗用功率小,不用水冷却,但是对活性气体抽速低,不能承受较大的放气量,故在电真空器件排气中仍要在泵内或系统中附加一只升华泵,帮助抽除大量活性气体。除此之外,溅射离子泵成本贵,体积庞大而笨重。因此,溅射离子泵对中小型无油超高真空抽气系统来说并不是一种理想的主体泵。而目前这种情况的存在原因是:(1)国外溅射离子泵成熟的历史早;(二)升华泵中升华器寿命太短。一台溅射离子泵的性能应有二方面的指标:第一方面是技术指…     

油封式机械真空泵理论抽速的计算与设计

一、引言 油封式机械泵(以下简称机械泵)大体上可分为三类:定片泵、旋片泵、滑伐泵(如图一)。机械泵是现代真空荻得技术中最基本的设备之一。它不仅能独立使用获取低真空,而且和高真空泵(如升压泵、扩散泵等)配套使用获取高真空。因此,我国制造厂每年生产大量机械泵,以满足各部门的需要。 标志每台机械泵性能的主要参数:极限真空,抽气速率,耗损功率,温升,耗水量等,其中抽速大力重要。 理论抽速或几何抽速(简称抽速)的精确计算与设计,不论对机械泵设计质量的提高,或者对机械泵性能结构的研究比较,都有很大意义。 二、抽速的计算 力简化公式的…     

电离吸气钛泵及其在电子管排气中的应用

无油超高真空技术对真空器件的研制和生产来说都有它特殊的意义。从现有掌握的资料来看,无油超高真空排气不但能提高电子管的发射性能,改善耐压,耐高频性能,使管子的合格率和优品率提高,还能缩短管子的排气时间,改善排气环境,不怕突然停电等优点。现在国内在电子管排气中广泛使用以溅射离子泵为主,升华泵为辅的组合形式钛泵,这样的组合使排气系统体积庞大,笨重,价格贵,因此,在电子管生产上推广应用还有很多技术问题需要解决。 电子管排气与其它超高真空无油抽气装置有着很多不同的地方,如管子体积一般都较小,管子与系统联接都有一根通导能力…     

红外探测器生产中的超高真空系统

讨论了红外探测器生产中应用的超高真空系统的组成,分析了喷射泵、液氮冷却吸附泵、钛离子泵及钛升华泵的工作机理,并给出了一些数据.系统具有无油污染、噪音低、工作稳定等特点。真空度可达1×10~(-6)Pa。     

2011年广州国际真空工业展览会

展览时间:2011年3月28～30日会展场馆:广州保利世贸展览中心(琶洲)主办单位:广东真空学会广州市雅斯展览有限公司参展内容:真空科学技术在通讯、电子、冶金、航空、航天、轻工、化工、食品、医药、卫生、印刷、建筑和装饰等各个领域中的应用以及与真空技术有关的新工艺、新材料和新产品,具体包括:(1)真空获得设备旋片真空泵、油扩散泵、罗茨真空泵、油增压泵、涡轮分子泵、分子筛吸附泵、钛升华泵等。     

1987年本刊总目录

学术报告高技术与真空科学1(2)炭纤维石墨化炉的结构与性能研究2(36)油蒸汽流泵的抽气量和它所需的蒸汽喷射量之间关系的探讨2(41) 试验研究CT—8低温泵在产额谱仪中的应用1(6)三级罗茨泵工作阻力分析与计算1(8)低温泵真空系统的安全问题1(16)油蒸汽流泵的抽速及喷嘴几何尺寸计算的探讨1(22)高真空相对校准装置1(30)显象管内残气的定量分析l(36)多弧离子镇技术3(43)磁力传动技术3(46)钛升华泵的残气分析3(51)压强控制器的研究4(18)二硫化铝在超高真空系统中的应用4(23)低温抽气与再生。 4(25)国产13x分子筛吸附特性的实验研究—6(48)DLX—…     

快速的简易的实验用极高真空系统

本文介绍一种实验室用的、抽气时间短、简易的极高真空系统。它由一台特殊设计的玻璃冷冻钛升华泵与超高真空玻璃油扩散泵串联所组成,可在10小时内从低真空抽到10~(-13)托(使用新型的轴向式抑制规测)。文章介绍了该系统的结构特点,并分析了影响该系统极限真空的因素。     

第十六讲真空系统的操作与维护

(上接2008年第3期第80页) 3.2 机械泵抽气系统清洁真空的获得 油封机械真空泵(简称机械泵)广泛应用于真空系统中,多数作为前级真空泵.由于科学技术的发展,对清洁真空的要求愈来愈普遍.因此机械泵中的油蒸气返油问题便愈来愈受到重视.我们把机械泵油流向高真空端的现象叫做机械泵的返油.     

日立H—800型电子显微镜真空系统简介

电子显微镜(TEM)真空系统的真空度要求在6.67×10~(-3)Pa 以上。为了改善真空性能,H—800型电子显微镜首先将不锈钢衬管插入电子束通道,以减小抽气体积,而将其它部件置于真空之外后,又减少了放气源。另外,H—800设置了两个抽气系统,分别使用了三台抽速为160l/min 机械泵(RP1,2,3)和两台抽速为570l/S 的油扩散泵。所以,该真空系统的真空度可达1.33×10~(-4)Pa 或更高。