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本文主要叙述利用力敏式半导体差压传感器灵敏度高的特点,检测弯管流量计的微差压信号。信号的采集,效字信号的处理,流量的计算和显示打印,采用MCS-51系列单片机,并提供了较详细的软件框图。由于半导体材料的压敏效应和热敏效应产生的测量误差,文中通过理论分析和实验数据的分析整理,从硬件和软件中采取了有效的补偿措施。通过实际应用表明,整个流量测量系统具有较高的测量准确度。 相似文献
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为了满足航天测量领域重量轻精度高的测量要求,传感器仅用单个扩散硅压力敏感探头,实现温度和压力的复合测量.通过测量敏感探头恒流激励模式多温度点多压力点下的桥电压作为原始标定数据.数据处理过程抓住主要影响因子来拟合输入输出变量函数.然后采用直线或曲线族的插值的误差修正方式来降低拟合误差.传感器压力综合精度从1.13%FS提高到0.05%FS的综合精度,温度综合精度从2.06%FS提高到0.05%FS的综合精度,最终满足用户0.05%FS综合精度的技术指标要求. 相似文献
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差压传感器非线性特性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了一种智能差压传感器,针对影响传感器准确度的输出—输入非线性问题进行了研究。采用了BP神经网络来建立差压传感器的输出—输入模型,网络模型采用了三层结构,输出—输入层各自采用了一个神经元,将神经网络的均方误差目标值设定为10-6,并在MATLAB中进行了仿真,经训练得到的输出—输入模型的非线性误差可以达到±0.032%。通过与多项式拟合方法和最小二乘直线拟合方法所得结果进行比较,结果表明:采用BP神经网络方法对提高智能差压传感器的测量准确度具有参考价值。 相似文献
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介绍一种用三根并排的光纤组成的差动补偿式微压传感器.传感器采用了差动补偿的检测方法,其输出不受光源强度波动、反射片反射率变化等的影响.该传感器在20kPa的测量范围内保持0.48%的线性度,长时间稳定性为0.2%/4小时. 相似文献
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物位测量传感器的选型设计与应用 总被引:1,自引:0,他引:1
以600MW大型火力发电厂“飞灰/底渣岛”的生产现场应用实例为背景,从物位测量的传感器的测量原理,选型设计、新技术应用、PLC/DCS接口等多角度去判断、分析、解决实际问题。 相似文献
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<正> 压阻式绝对压力传感器是利用单晶硅的压阻效应,在周边固支的圆型膜片上采用半导体平面工艺,在晶片特定的方向和位置上制成电阻并组成全桥电路,最后通过静电封接技术形成真空腔制成。 相似文献
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微压传感器制造中的硅杯腐蚀 总被引:1,自引:0,他引:1
<正> 一、前言 对于杯式扩散硅压力传感器来讲,硅杯是决定其性能优劣的关键部件。我们知道,工作压力P与硅杯的几何尺寸应满足下式要求: 其中,r为硅杯半径;h为膜片厚度;σ_c为硅的弹性极限,σ_c=8×10~7Pa。(1) 相似文献
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单面多层结构硅微压传感器的研制 总被引:3,自引:1,他引:3
提出并利用“掩模-无掩模”腐蚀的方法形成了一种新型单面多层结构的硅微压传感器,该传感器针对用体微机械双面加工的硅压阻式压力传感器的不足,从结构上给予了改进,文中给出了理论分析和实验结果。 相似文献
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用碳压阻传感器测量低冲击波压力 总被引:1,自引:0,他引:1
<正> 1 引言 压阻传感器在冲击波物理中得到广泛的应用。与压电传感器相比,它表现出了几个显著的特点:响应快、尺寸小、电磁脉冲干扰低以及可测量材料中的应力。由于在试验过程中,压阻传感器和材料中应力平衡时间在10_(-11)s内,所以,它可以完整地记录下陡的应力剖面。举例来说,这有利于记录液体中马赫交叉线后快速衰减的压力剖面和确 相似文献
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本文详细介绍集成惠斯顿有源电桥压阻传感器的实用校正方法,有效克服半导体集成传感器输出的共模电压影响,调节静态和满程压力负载条件下的静态零点和满足程输出毫伏值,使传感器在流体或气体的测量线路设计中带业方便。 相似文献
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对圆形、正方形和矩形膜片力敏折灵敏器件的灵敏度进行了详细剖析,计算并列出大量数据,指出了影响压力传感器灵敏度的因素和提高灵敏度的有效途径,给出部分实验数据与理论分析符合较好,本分析对开发设计高灵敏度的力敏元件有重要指导意义。 相似文献
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作者利用新型半导体器件MPNIM结构二端、三端变容器(已获专利)研制成功一种新型伏频变换器.将这种伏频变换器与压阻式压力传感器直接相联,可将传感器输出的模拟电压转换为频率信号,与计算机接口时无需高精度多位A/D变换器,可省去高增益、低漂移、高精度的测量放大器.与一般伏频变换器相比,它的灵敏度可高达400kHz/V;稳定性为±40Hz;重复性为土40Hz;分辩率可达0.1mV. 相似文献
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1引言随着城市工业化的发展,各工矿企业通过地下排水管道排放的污水量越来越大,如果不对其进行严格的监测与控制,不仅将使城市环境恶化,同时也将对人的身体带来危害。因此,应用先进技术,研制性能优良、使用方便、价格低廉、工作可靠而又具有一定通用性的工业污水流量仪表,已成为环境保护和工业生产部门的迫切需要。按排水工程的设计要求,在管道中排放的污水通常处于不满管流动状态,即处于无压管流状态。各工矿企业排放的污水又相当复杂,不仅会含有酸、碱、盐等化学有害物质,还会有固体颗粒、各种杂质以及悬浮物、漂浮物等。然而… 相似文献