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轴承支撑器是轴承精密加工中的关键部件。本文采用热丝化学气相沉积(简称CVD)法,以丙酮和氢气为碳源,在WC-Co硬质合金轴承支撑器衬底上沉积金刚石薄膜,制备CVD金刚石薄膜涂层轴承支撑器,并应用于轴承的精密磨削加工。结果表明,合理控制衬底材料的预处理和CVD沉积工艺对金刚石薄膜质量、形貌、粗糙度和薄膜与衬底间的附着力有显著影响。与传统硬质合金轴承支撑器相比,CVD金刚石涂层轴承支撑器的耐用度和使用性能显著提高。 相似文献
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高性能CVD金刚石薄膜涂层刀具的制备和试验研究 总被引:10,自引:0,他引:10
采用电子增强热丝EACVD法,以WC-Co硬质合金刀具为衬底制备金刚石涂层刀具,研究了提高涂层附着力的衬底预处理新方法,探讨了抑制Co催石墨化作用的有效措施,提出了改善金刚石薄膜表面粗糙度CVD后处理新工艺。研究结果表明,采用了Ar-H2微波等离子体刻蚀脱碳预处理方法对于提高金刚石薄膜涂层的附着力有明显效果,添加适量粘结促进剂,可有效地抑制CVD沉积过程中钴向表层扩散引起的催石墨化作用。采用分步沉积新工艺是减小金刚石薄膜表面粗糙度的有效方法。所制备的高附着力和低粗糙度的金刚石薄膜涂层刀具切削性能明显改善,对实现高效高精度切削加工具有十分重要的意义。 相似文献
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复杂形状金刚石薄膜涂层刀具的制备与试验研究 总被引:1,自引:1,他引:1
为了提高金刚石薄膜与衬底附着力,以整体式硬质合金麻花钻为例,对刀具衬底的预处理技术和CVD涂层技术进行了研究;以碳化硅颗粒增强铝基复合材料的加工为例,对复杂形状金刚石薄膜涂层刀具的制备及应用技术提出了合理建议。 相似文献
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以氢气和丙酮为原料,采用电子增强化学气相沉积(EACVD)法,利用改进了的化学气相沉积(CVD)装置在复杂曲面硬质合金(WCCo)钻头表面涂覆一层金刚石涂层.研究了适用于复杂曲面金刚石涂层刀具衬底预处理新方法和CVD涂层新工艺,并对碳化硅颗粒增强铝基复合材料进行了试验研究,研究结果表明,所制备的复杂曲面金刚石涂层刀具的耐用度和切削性能得到了显著提高. 相似文献
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提高金刚石薄膜的表面质量和附着力是实现CVD金刚石涂层在耐磨器件领域中广泛应用的关键因素.本文通过优化沉积工艺参数,采用直拉丝化学气相沉积法在WC- Co硬质合金拉丝模内孔表面沉积金刚石薄膜.检测了该涂层的表面形貌、薄膜质量以及表面粗糙度,并把所制备的CVD金刚石薄膜涂层拉丝模具在拉拔铜线材生产线上进行了应用试验,结果... 相似文献
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Cr过渡层沉积粘附型CVD金刚石膜的机理研究 总被引:3,自引:1,他引:3
研究了电沉积层作为过渡层沉积CVD金刚石膜的工艺,在硬质合金的Cr电沉积层上用热丝法沉积出CVD金刚石膜。利用SEM分析了电沉积层的形貌,利用EPMA分析了H等离子处理后电沉积层的断面,利用SEM和Raman分析了金刚石膜的表面形貌、成分,利用XRD分析了过渡层和CVD金刚石膜的结合面.利用压痕法研究了金刚石薄膜与基体的结合力。结果表明,H等离子处理使得硬质合全与Cr镀层成为冶金结合,提高了电沉积层的结合强度;在Cr过渡层与金刚石膜之间形成的Cr3C2和Cr7C3等碳化物有利于金刚石的成核和膜基结合强度的提高。 相似文献
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通过偏压辅助增强热丝化学气相沉积法,采用螺旋形热丝排布方式以及优化的预处理方法和沉积工艺,在硬质合金印刷电路板铣刀的表面沉积了均匀的金刚石薄膜,采用扫描电镜和拉曼光谱研究了金刚石薄膜的表面特征.随后,通过铣削试验研究了金刚石涂层刀具的附着强度和切削性能.试验结果表明,复杂形状金刚石薄膜涂层铣刀既具有附着力强、耐磨性好的特点,同时又具备优异的切削性能,并且其制备无需后续抛光处理就能得到平整光滑的表面,这对于推动金刚石薄膜在复杂形状刀具上的产业化应用具有重要意义. 相似文献
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0 INTRODUCT[ONDiamond is a kind Of excellent cutting tool material for cutting non-fermus metal and nonmetallicmaterials. Because of the limited supply and high cost of natural diamond it has been mainly used forspecial aPPlications Where no other tools can Perform satisfactorily.The study of dePOsition of diamond film on cutting tools and its wide aPPlications began in 1980.Great Progress has been made at the same time. The [ypical principles used in coated-cutting tool are thehacrow… 相似文献
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E. Salgueiredo F.A. Almeida M. Amaral M.A. Neto F.J. Oliveira R.F. Silva 《Wear》2013,297(1-2):1064-1073
The erosive wear behavior of mono-, bi- and multilayered diamond composite coatings grown by hot filament chemical vapor deposition (HFCVD) is investigated. The effect of the surface pre-treatment on the silicon nitride substrates was firstly evaluated revealing that flat lapping mechanical treatment combined with chemical CF4 plasma etching is the best surface preparation to achieve high adhesion levels. Multilayers were designed to combine the excellent adhesion of microcrystalline diamond (MCD) with a top nanocrystalline diamond (NCD) layer of reduced surface roughness. Indeed, the multilayered diamond coatings revealed the best erosive resistance, whose damage occurred by gradual loosening of material from the outer layer after longer testing time. The absence of areas with film spallation or substrate exposure is given by the action of the MCD/NCD interfaces in deflecting cracks, thus acting as “energy sinks” to further propagation. An analytical model of the stress field distribution within the coatings based on the von Mises criterion was developed to elucidate the erosive mechanical behavior of the different diamond composites. 相似文献
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