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相似文献
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1.
常温下用剂量为4×10(15)电子/cm2的1.8MeV电子束对CZ-Si单晶制成的p+n二极管进行了辐照,采用深能级瞬态谱技术(DLTS)在该样品中观察到4个深能级,并对其形成原因进行了讨论。  相似文献   

2.
本文研究了电子辐照在氮保护气氛中生长的直拉硅单晶中引入的深能级。没有发现可检测的与氮有关的深能级。  相似文献   

3.
本文研究了电子辐照在氮保护气氛中生长的直接硅单晶中引入的深能级,没有发现可检测的与氮有关的深能级。  相似文献   

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5.
(Pt及其硅化物)/硅界面的深能级研究   总被引:3,自引:3,他引:0  
本文利用深能级瞬态谱(DLTS),详细研究了(Pt及其硅化物)/Si界面上存在的各种深能级缺陷中心,并分析了引起这些缺陷的原因及与界面原于结构的关系.  相似文献   

6.
朱文章 《半导体光电》1993,14(4):356-361
采用光伏方法测量了1MeV高能电子辐照(辐照剂量为10^13~10^16cm^-2)前后硅单晶少子扩散长度的变化;结合红外光吸收谱的测量结果,分析了高能电子辐照对硅单晶性能的影响。实验结果表明:高阻硅比低阻硅具有更强的抗辐射能力,大剂量的电子辐照可以改变n型硅的导电类型。文中还计算了电子辐照在硅中所产生的陷浓度等一些重要参数。  相似文献   

7.
胡雨生  汪乐  陈正秀 《半导体学报》1990,11(12):889-895
本文用深能级瞬态谱(DLTS)法,结合表面光伏(SPV)法和某些常规测试,较系统地研究了1MeV能量和不同剂量的电子辐照下对N型LPE-GaAs层逐次引入的缺陷。研究了400~550K温区等时退火行为。讨论了随辐照剂量逐次增大及等时退火后,缺陷浓度N_T的变化和少子扩散长度L_p随N_T的变化情况。首次用理论和实验手段论证了由电子辐照引入的所有电子缺陷能级中,E_3为主要的复合中心能级。同时通过对Shockley-Read-Hall公式的简化提出了一个在诸多缺陷能级中判别出其中主要复合中心能级的方法,实验结果也证实了这种判别方法是行之有效的。  相似文献   

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11.
电子辐照快速恢复二极管莫长涛李钢黑龙江商学院基础部(哈尔滨150076)本试验为ZK50A快速恢复二极管。芯片厚320μm,n型衬底电阻率30~50Ω·cm。将二极管芯片置于JJ1.2型电子静电加速器扫描盒下,在大气室温环境下用电子束照射。为试验辐照...  相似文献   

12.
CaAsP混合中Te施主深能级的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
  相似文献   

13.
报道了高碳CZ-Si经中子和电子辐照后产生氧-缺陷复合体的研究结果。电子辐照产生的830cm~(-1)峰在退火时转化成889、904、969、986、1000及1006cm~(-1)峰的退火曲线支持了Corbett和Stein提出的多重氧-缺陷复合体的模型。中子辐照产生的830cm~(-1)峰在退火时出现宽化现象是由于存在与830cm~(-1)峰组态相似的842、834和827cm~(-1)等卫星峰所致,并提出了对应于这些卫星峰的可能的缺陷模型。  相似文献   

14.
利用深能级瞬态谱(DLTS)研究了Hg_(1-x)Cd_xTe(x=0.4)p~+n光伏二极管中的缺陷能级.通过改变注入脉冲条件,获得2个电子陷阱和2个空穴陷阱,电子陷阱的能级位置分别为E(0.06)和E(0.15),空穴陷阱的能级位置分别为H(0.075)和H(0.29).这些深能级的浓度约为浅能级浓度的百分之几.通过改变注入脉冲的宽度,测量了这些能级的多子俘获截面,根据这些深能级的特征参数,估算了器件的少子寿命和零偏压的动态电阻与面积的乘积,并讨论了一些缺陷能级的本质.  相似文献   

15.
深能级瞬态谱(DLTS)技术是研究半导体中深能级杂质与缺陷的有效手段。但是它给出的信息是在一个比较大的范围内的平均值,不能给出微区域深能级的空间分布。而半导体材料的不均匀性往往是受深能级杂质或缺陷的不均匀分布所控制的。所以研究与测量深能级的空间分布以及它们之间的关系,对于提高半导体材料的质量与半导体器件的性能具有十分重要的意义。为此,我们在光注入深能级电流瞬态谱(OTCS)技术的基础上,建立了一种所谓扫描深能级瞬态谱(SDLTS)技术。进行了半绝缘砷化镓中深能级及其空间分布的测量工作。  相似文献   

16.
本文研究了半导体表面空间电荷区中的深能级中心的电场增强载流子产生效应;指出应全面考虑库仑发射和非库仑发射对载流于产生率的影响;给出了相应的产生率计算公式。对计算机计算结果的分析表明,以往的只考虑库仑发射的模型过于简单,本文理论可以较满意地解释有关的实验结果。  相似文献   

17.
用深能级瞬态谱(DLTS)方法研究了组分范围为x=0.11-0.95的掺Te的GaAs_(1-x)P_(?)混晶中的深能级.结果表明:样品中出现的深能级可分为A,B,C三类,其发射率激活能各约为:E_(?)~A=0.18ev,E_(?)~B=0.28eV,E_(?)~C=0.38eV.其中只有A能级在x=0.23-0.95间的所有样品中出现,B和C能级的出现不存在明显的规律性.进一步研究了A能级的性质后,认为它来源于Te替位杂质的DX中心,而B、C能级的性质可能比较复杂.  相似文献   

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本文介绍了三种测量深能级的基本方法-深能级瞬态能谱(DLTS)、光致发光(PL)、光电容(PC)及用它们研究不同发光材料和器件的结果,其中包括发光二极管的效率和退化过程、GaN材料中蓝色发光深中心、ZnS场致发光薄膜的初始载流子源以及用MOCVD法生长Ⅲ-Ⅴ族单晶薄膜的缺陷分析,它是将半导体深能级的基础知识运用于发光机理和光电特性研究,在不同的领域中所取得的进展。  相似文献   

20.
硅中与钼有关能级的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用深能级瞬态谱(DLTS)技术,并通过电子辐照、等时热退火等物理过程,鉴别了Si中与钼有关能级的本质.钼在Si中产生两个主要能级E(0.53)和H(0.36),前者为受主态,后者为施主态,这两个能级都与替位Mo原子有关.  相似文献   

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