数控机床手动补偿误差的方法研究

为了减少数控机床精度损失及维护成本,以SIEMENS、FANUCK和FAGRO数控系统为例,采用双频激光干涉仪系统完成数控机床的精度检测,以手动补偿的方式修正数控机床的误差。根据双频激光干涉仪的测量原理,结合数控机床精度检测的方法及影响因素,对手动方式补偿数控机床误差的方法进行了分析说明。实验表明,手动方式补偿数控机床误差的方法实用,较为安全、可靠和经济。     

利用激光干涉仪对重大型数控机床两线性轴间垂直度测量方法的探索

通过对激光干涉仪各项检测功能的深入研究和大量测试试验,利用激光干涉仪开发出重大型数控机床两线性轴间垂直度测量的两种新方法。本文重点描述直角尺法、激光干涉仪对角线法、激光干涉仪垂直度镜组法测量两线性轴间垂直度的原理、方法和注意事项,并对三种测量方法进行了比对分析。     

激光干涉仪在纳米测量中的典型应用

激光干涉仪具有测量分辨力高、测量结果可溯源等优点,在纳米测量中的应用日益广泛。介绍纳米测量机和低膨胀材料线膨胀系数测量装置中应用的迈克尔逊型激光干涉仪以及在高准确度位移测量装置中应用的法布里-珀罗型激光干涉仪,并结合这些实例对激光干涉仪光学系统设计、测量环境控制、迈克尔逊干涉仪非线性误差补偿以及法布里-珀罗干涉仪量程扩展等方面的关键问题进行分析和总结。所述原则和方法对实现纳米级测量准确度具有重要意义,可为高准确度激光干涉仪的研制及其在纳米测量中的更广泛应用提供技术参考。     

数控机床位置精度检测与三种评定方法的对比认识

本文详述应用了ＨＰ５５２８Ａ激光干涉仪检测数控机床位置精度应注意的基本问题，分析测量不确定度，提出了提高测量精度的措施，，并对ＧＢ１０９３１－８９，ＶＤＩ／ＤＧＱ３４４１和ＮＭＴＢ中关于数控机床位置精度的评定方法进行对比分析。     

提高激光干涉仪检测数控机床位置准确度的方法

在数控机床位置准确度检测中，激光干涉仪是最常用的仪器。我厂使用的是英国RENISHAW公司生产的ML10双频激光干涉仪，该仪器性能稳定、使用方便，但影响测量准确度的因素较多，在测量过程中必须加以考虑，并应采取措施减少或消除影响因素。     

激光干涉仪在数控机床定位精度测量中的误差控制

激光干涉仪广泛运用于数控机床定位精度的测量,是机床安装调试、维修检测、性能定级、品质验收、降废保质、周期螺补校准的优选测量设备,其测量结果的准确与否直接影响零件加工精度及对企业提质增效有着重要意义。作为一名计量技术人员应采取必要的措施来减小或消除其测量过程中产生的误差。文章首先分析了激光干涉仪测量数控机床定位精度的测量工作原理,进而分析了其测量误差来源,并采取相应的措施进行误差控制。     

激光干涉仪线性测量的光路准直调整方法

本文首先概述了XL-80双频激光干涉仪对中国一拖集团有限公司的数控机床的周期检测的必要性和意义,随后简单介绍了XL-80激光干涉仪线性测量硬件配置和工作原理,最后详细介绍了两种激光干涉仪线性测量的光路准直方法。     

混联复合机床主旋转轴精度的光电检测与补偿

为了达到对混联机床主旋转轴精度准确评价的目的，采用单频激光干涉仪进行精度检测，并为机床主旋转轴定位误差的补偿做准备。针对干涉仪的测量原理进行了深入研究，分析了激光干涉仪在机床主旋转轴测量中测量精度的主要影响因素和误差补偿，提出了一种简便、可靠的检测方法。最后通过实验验证了设计的检测方案，取得了综合测量结果。     

机床轴线定位精度测量结果的不确定度评定

文章探讨了采用激光干涉仪测量数控机床轴线定位精度时,其测量结果的不确定度的分析与评定方法。     

用激光干涉仪检测双丝杠驱动加工中心的方法与评定

介绍了使用激光干涉仪检测双丝杠驱动加工中心时,选择测量轴线的有效位置,能够真实地反映加工中心轴线的运动定位状态;提出检测双丝杠驱动加工中心定位精度和重复定位精度的方法,通过调整激光干涉仪和位移镜组件的安装位置,获得数控机床及加工中心的检测精度,并根据自动采集获得的测量数据进行有效地补偿,以提高和恢复数控机床及加工中心的最佳定位精度.     

基于HEIDENHAIN系统下的螺距误差补偿方法

随着数控水平的不断发展,各企业对数控机床精度要求越来越高,本文通过利用双频激光干涉仪对HEIDENHAIN系统数控机床线性轴的螺距误差进行测量,介绍数控机床螺距误差的测量、补偿方法与操作要点,以及补偿效果的验证与分析。     

激光干涉仪在水准标尺检测中的若干问题研究

激光干涉仪作为主标准器提供标准长度量值,在水准标尺的检测中是主流的常规方法。尤其检测高精度的因瓦条码水准标尺时,激光干涉仪的测长误差及与其他配套设备的组合所带入的综合误差对测量结果产生怎样的影响,文章就应用激光干涉仪检测水准标尺的过程中常见问题进行分析,从检测原理出发,探讨分析整套装置的综合误差。     

激光干涉仪在位置测量中的精度评定

激光干涉仪广泛应用于计量、精密机械测量、航空航天工业等领域,国内拥有量超过数千台.由于激光干涉仪使用者的水平、经验和理解各不相同,因错误的认识产生了错误的理解和操作,导致了错误的测量结果,使激光干涉仪不能发挥应有的作用.对激光干涉仪进行检测过程中的错误理解和操作方法进行了分析,发现有些使用者忽视了激光干涉仪的材料温度传感器和材料温度膨胀系数的不确定度对测量结果的影响,造成了测量结果的不正确.有的使用者在短距离内测量是否需要对空气折射率进行修正的问题也有不同的看法.对上述两个问题进行了理论分析.     

基于激光干涉仪同步测量的动态校准装置

为满足时变几何量的瞬时动态测试需求,研制了一种基于激光干涉仪同步测量的动态校准装置。该装置采用直线运动导轨和运动发生器、长度标准器激光干涉仪,以基于GNSS驯服时钟的同步触发器实现同步测量并确保时间准确稳定,并使用动态校准软件实现控制一体化。经综合分析激光干涉仪的最大允许误差、直线运动导轨的直线度、环境因素、触发信号间时延及激光干涉仪测量时延等因素,该装置的长度示值的测量不确定度为Q[1.8μm, 3×10^-7L](k=2)。与同型号激光干涉仪的比对实验和激光跟踪仪瞬时长度测试实验,证明了不确定度评定的合理性以及该装置在瞬时动态准确度测试中的可行性。     

三坐标数控机床精度检测与误差补偿

介绍了利用激光干涉仪检测和辨识数控机床几何精度的方法,建立了基于激光干涉仪的三坐标数控机床几何误差的数学模型．在准确掌握三坐标数控机床几何误差的基础上,利用所开发的误差补偿软件进行了误差补偿实验．结果表明,经过误差补偿,数控机床的加工精度可以明显提高．     

激光干涉仪在10米测长机导轨直线度检测中的应用

为检测10米光栅测长机导轨的直线度,采用双频激光干涉仪系统作为主要测量工具,以最佳平方逼近法计算10米光栅测长机导轨的直线度。根据双频激光干涉仪的测量直线度测量原理,结合直线度的评定方法,对10米光栅测长机导轨的直线度的测量方法进行了介绍。实验表明,采用双频激光干涉仪测量直线度的方法实用,较为准确、方便、直观。     

用激光干涉仪恢复数控机床的精度

1.前言 由于目前的加工技术的迅速发展和零件加工精度的不断提高,对数控机床的精度提出了更高的要求。基于上述思想,本文利用激光干涉仪对数控机床进行螺距误差的测量,数控机床进行单轴精度补偿,使机床的定位精度得到显著提高。数控机床精度的检验通常采用国际标准IS0230-2或国家标准GB10931-89等,     

基于80m测量装置的双频激光干涉仪系统精度及影响因素分析

双频激光干涉仪是一种以波长为标准对被测长度进行度量的仪器,经常作为长度测量标准使用,但影响其系统精度的误差因素很多。本文基于80m大长度测量装置对双频激光干涉仪系统精度以及影响因素进行分析。     

激光干涉仪非线性的测量

激光干涉仪和高精度位移传感器的非线性一般为1～5nm,为了对这样的非线性进行测量,必须使用高精度测量方法,并建立高精度测量装置。文中描述了高精度拍频法布里 珀罗激光干涉仪,和利用它对工业激光干涉仪的非线性进行的测量实验。测量范围大于1.3μm,测量不确定度约为2nm。     

双频激光干涉仪固定棱镜及活动棱镜的合理安装

本文分析了用双频激光干涉仪对仪器（机床）进行位置精度检测时，干涉仪固定棱镜（参考棱镜）及活动棱镜的安装合理与否对测量结果的影响。