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相移点衍射干涉仪(PS/PDI)的检测精度取决于衍射板中针孔衍射产生的参考球面波质量,而针孔的直径是影响参考球面波质量的一个重要因素。基于矢量衍射理论,以会聚光束作为入射光,分析了针孔厚度和直径、加工误差以及入射光源单项像差和综合像差对衍射波面质量的影响。仿真数据表明,为了获得数值孔径为0.2,波前误差均方根(RMS)值不大于1.4×10-3λ的理想球面波,在针孔的实际加工制作中,应选200nm厚度铬膜,直径为1.5μm的针孔,并且满足仿真误差要求;对衍射板上窗口尺寸进行了仿真,结果表明窗口边长取60μm时,仿真结果最优。用实验验证了设计结果的可行性。 相似文献
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利用曲面计算全息图进行凸面非球面检测 总被引:1,自引:0,他引:1
基于曲面计算全息方法,设计了检测大口径凸面非球面的干涉仪,其精度可优于λ/30(P-V值)。研究了利用激光直写设备在曲面基底上制作全息图的方法,由于全息图的线宽变化较大,采用刻线的两边精确写入、中间螺旋线写入快速填充的策略,有效提高了写入精度和效率。在口径110mm、曲率半径500mm的曲面基底上,制作出了全息元件。利用自制的干涉装置,对用金刚石车床车削成的、口径100mm的凸面非球面进行了检测,非球面的精度为0.8λ(PV值),检测结果与车床的精度吻合很好。 相似文献
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N/A 《激光与光电子学进展》1968,5(2):44
美帝珀肯·埃耳默公司首次为光学加工应用特别设计了一种新型激光准直装置。公司讲,用这种低功率激光准直进行测量的精度比用通常的光学加工高5倍。除提高精确度外,这种激光准直装置还可由少数的不熟练的人员操作。 相似文献
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本文用变换光学的相因子判断法,判断全息图的变换作用与透镜的位相变换函数相同;再用波前变换法和公式法讨论全息图两个再现像的成像规律。 相似文献
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从征 《激光与光电子学进展》1998,35(6):17-18
一种以掺镧钛酸锆酸铅(PLZT)为基础的可编程多通道相位调制器列阵以亚微秒开关速度执行光束的连续控制。这个由圣地亚哥加州大学J.Thomas等人研制的列阵感应波前相位延滞,情况类似于衍射光学元件的效应。这种技术在两维和三维显示器、激光通讯和光雷达方面有应用。加到PLZT上的电压通过电光效应而产生折射率变化。装在PLZT材料片上的电压形成独立可寻址调制器列阵,可以编程,使列阵起着衍射光学相位光栅的作用,使入射光束引起任意相位延迟。经澜改性的钛酸铅酸铅有很大二次电光系统,线性效应较小。它适合可见和红外波长使用,… 相似文献
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彩虹全息图是一种成象全息图。它可以牺牲垂直视差,用白光再现景深大的象。由于被光谱分光的彩虹重迭在再现象上面,故称彩虹全息图。 相似文献
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用加权串行迭代算法设计衍射光学元件 总被引:4,自引:1,他引:4
提出加权串行迭代(WSI)算法用于解决衍射光学元件(DOE)的设计问题。以高斯光束均匀化为例,模拟计算的结果表明,该算法在减少误差和顶部不均匀度以及提高衍射效率方面都优于GS算法。 相似文献
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衍射光学元件的扫描刻蚀深度在线检测 总被引:2,自引:0,他引:2
基于楔形光学平板的等厚干涉原理,提出了一种透射衍射光学元件扫描离子束刻蚀深度的在线检测方法,用一块与被刻蚀光学元件材料相同的楔形薄片作为陪片,在刻蚀过程中将其遮档一半,利用陪片等厚条纹的错位去测量其刻蚀深度,从而间接检测出被刻蚀光学元件的刻蚀深度.在KZ-400大型离子束刻蚀装置上建立了这种在线检测装置.多次实验表明,在线检测结果同台阶仪的测量结果基本吻合,二者相差不超过10 nm.本检测方法能够可靠、准确地用来确定刻蚀终点,已经成功应用于位相型Ronchi光栅等大口径位相衍射光学元件的刻蚀制作.本方法还可以用于对其他透明材料的微结构进行扫描刻蚀深度在线检测. 相似文献