L─100型三极溅射离子泵及JWZ─100型静电支承仪表无油超高真空排气台研究试验总结

我所为某单位研制的JWZ—100型静电支承仪表无油超高真空排气台,是以为完成一机部72181超高真空技术研究中10-12乇溅射离子泵为主泵的全无油真空机组,经过9月4日、11日、12日三次试验鉴定,于一九七六年九月二十一日经过所级鉴定委员会讨论结论认定;该机组全部达到或超过了72181溅射离子泵及排气台的技术指标。这些指标是: L—100型溅射离子泵 72181课题规定指标为10-12乇经过鉴定达到指标为2.2 × 10-12乇(用 SG-4型冷磁控极高真空计测)。 L—100型冷阴极溅射离子泵抽速达到160升/秒。 JWZ—100型静电支承仪表无油超高真空排气台系统真…     

真空—紫外辐照设备的研制

为研究真空—紫外辐照对空间材科的损伤,研制了真空—紫外辐照设备.介绍了设备的真空测试室,超高真空机组及紫外光源等部分的构成情况:以 L—600型溅射离子泵为主泵组成无油超高真空机组,工作压力为10~(-6)帕;卧式结构的真空测试室,设置了石英玻璃窗口,以满足样品辐照要求;特制的紫外光源可辐射200至300毫微米的远紫外谱线.最后介绍了用单向碳纤维材料板制备的试样所进行的紫外辐照、红外辐照和超高真空条件下的质量损失试验,并作了初步的试验结果分析.     

特大型超高真空排气台的研制

为满足中科院高能物理研究所环型正负电子对撞机项目650 MHz/800 kW连续波速调管的超高真空排气需要,北方华创真空研制了由无油干泵和磁悬浮分子泵作为预抽系统,溅射离子泵作为主抽系统的特大型超高真空排气台。设备以温度和真空度作为主要工艺参数,对尺寸达到Φ1600 mm×5000 mm的连续波速调管进行高温真空烘烤排气,极限真空度优于8.0×10~(-8) Pa;烘烤温度25～600℃连续可调,温区均匀性±5℃,具备充氮快速降温功能,整个工艺过程实现自动化控制。     

一台大型、清洁的超高真空空间环模试验设备

本文简要介绍一台七十米长的清洁超高真空空间环模试验设备的设计。设备的检测腔φ1.2米×L5.6米,光路管道φ0.4米×L64米。采用现代的组合抽气手段获得清洁真空。其中:主泵为溅射离子泵,冷阱式升华钛泵作为辅助泵,预抽系统采用机械泵+吸附阱+涡轮分子泵机组。整台设备不烘烤。获得极限真空度P=3.6×10~(-8)托,工作真空度,P=4.3×10~(-7)托,残气中碳氢化合物含量占万分之几,设备振动,(包括地基振动)<1微米。     

我国一台大型空间环模设备获得超高真空

我国目前一台大型空间环境模拟设备,直径7米,高12米,容积400米~3。本文简介了超高真空系统的设计和调试情况,容器极限真空度为3.8×10~(-3)托。一、抽气系统的设计通常,大型空间环模室真空获得系统的设计可采用三种方案:早期(六十年代),采用大量的油扩散泵机组,尽量布满容器周围,如美国斯托克公司所研制的一台直径10米的环模室,用17台5万升/秒抽速的油扩散泵机组,容器极限真空为10~(-6)托。我们将此称为第一代抽气系统。第二代真空获得系统,是采用油扩散泵与20K深冷泵的组合抽气系统。由于引进有巨大抽速的深冷泵,抽气时间缩短,处理气体能力增大,极限真空达到10~(-8)托至10~(-9)     

无油超高真空系统的建立和升华泵蒸发率自动控制器

本文小结了为满足电真空器件生产要求而研制的无油超高真空系统的设计思想；全无油机组设计、冷阴极溅射离子泵、钦升华泵结构选择和使用方面的主要考虑；论述了实现蒸发率随压强变化而改变的全自动控制的途径。     

小型四极质谱计用于某些材料气相成份的定性分析

一、实验装置和方法采用全金属的半无油真空系统(见图1)。前级用2XQ-1型机械泵,超高真空使用的是3TL-300型溅射离子钛泵。自行设计了不锈钢的六通样品分析室。分析室、前置真空、钛泵以及进样系统之间,均用CDS型超高真空阀门隔离。四极分析器以垂直方向密固在分析室的法兰上。     

红外探测器生产中的超高真空系统

讨论了红外探测器生产中应用的超高真空系统的组成,分析了喷射泵、液氮冷却吸附泵、钛离子泵及钛升华泵的工作机理,并给出了一些数据.系统具有无油污染、噪音低、工作稳定等特点。真空度可达1×10~(-6)Pa。     

全无油超高真空设备的设计与调试的几点体会

着重介绍“全无油超高真空超纯表面制备和分析设备”、“分子束外延设备”“空间材料二次电子发射测试设备”的设计和调试过程中的一些体会.其中包括全无油超高真空机组的设计和方案比较;整机的结构布局形式;真空机组的布局以及主、辅泵的匹配.较为重点的叙述了升华泵的设计.这几种全无油超高真空设备的极限压力范围为4×10~(-8)—6×10~(-8)帕;真空机组的极限压力为2×10~(-8)—3×10~(-8)帕.     

GaAs光阴极制备装置的超高真空系统研制

研制了一套由导入室、制备室和储藏室组成的三室Load-Lock超高真空GaAs光阴极制备装置,用于中国科学院高能物理研究所自主研制的500 kV光阴极直流高压电子枪系统。在本装置中,采用溅射离子泵和非蒸散型吸气剂泵的复合方式来获取超高真空,并通过磁力杆完成光阴极在各个真空室之间的传送和取放。真空测试结果显示,用钛金属材料制作的储藏室的极限真空达到3.1×10-10Pa,用不锈钢316L材料制作的制备室和导入室的极限真空分别达到4×10-9Pa和3.6×10-8Pa,三个真空室的真空指标优于设计要求。     

口径φ200毫米超高真空氟橡胶插板阀

大口径插板阀,使用氟橡胶密封。由于氟橡胶有可凝物挥发出来,且出气率较高,会影响系统的极限真空,也可能会污染系统;因此在无油超高真空系统的设计中采用氟橡胶阀时往往很谨慎。分子束外延系统由分子筛吸附泵、升华泵(抽速7000升/秒)和三极式溅射离子泵     

JCW-350全无油超高真空钛泵抽气机组试制小结

一 、前言 在无产阶级文化大革命取得辉煌成就,批林批孔运动普及、深入、持久发展的大好形势下,为了配合我国电子工业、国防科研等方面迅速发展的迫切需要,我厂党支部、革委会于1974年6月～12月组织了一次厂内外三结合的JCW～350全无油超高真空钛泵机组会战。在短短的半年内,克服了许多困难,在党支部的正确领导下,在工人老师付、技术人员和各级领导同志辛勤努力,并在全厂有关部门大力支持及兄弟单位的积极支援下,现已基本试制完成,机组的极限真空已达到10-12乇水平。(用DG-3型冷磁控规测量) JCW-350全无油超高真空钛泵机组,是以三极式冷…     

超高/极高真空校准装置的研制

超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统和供气系统四部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气,在XHV校准室获得了10-10Pa的极高真空;提出了分流法校准真空规的方法,使校准下限延伸到10-10Pa;利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性,使用惰性气体校准时,减小了校准下限的不确定度;提出了采用线性真空计测量激光小孔分子流流导的方法,减小了小孔流导的测量不确定度。校准装置复合了分流法、压力衰减法和直接测量法对真空规进行校准,压力校准范围为10-1Pa~10-10Pa,合成标准不确定度为0.41%~3.5%。     

程控无油超高真空排气台的研制

由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺的自动控制.介绍了无油超高真空系统、控制系统、烘箱与热功率以及软件的设计.排气台为多工位结构,具有气体质谱分析和充气功能;空载时极限真空度优于8×10-7Pa;烘箱烘烤温度为25～600℃,连续可调,恒温精度优于±1%;分析质量数为1～80.程控排气台设计合理,操作简便,计算机控制技术精细了工艺过程控制量,排除了人为因素,其性能稳定可靠,可满足使用要求     

无油超高真空系统的发展和应用

本文介绍无油超高真空系统的主抽气系之──冷阴极溅射离子泵的发展 和应用,包括泵的工作原理、结构、性能、使用和维护等,同时介绍了无油真 空系统的前级泵。     

溅散离子泵的研制

引言 粒子加速器、空间技术、电子工业等广阔的科技生产领域对无油超高真空的要求,推动了无油真空系统的研制和发展,它的使用已日趋普遍。作为无油真空系统的主泵溅射离子泵受到了更多的注意。我们在六七年试制40e/S普通二极泵的基础上,一年来又设计和投产了10e/S、25e/S、50e/S、100e/S、200e/S、等五种离子泵。我们就泵的结构、磁场强度、工作电压对性能的影响进行了实验,并着重制作了多种泵芯,对如何提高离子泵抽除惰性气体的性能作了一些探讨。 本文简要介绍离子泵的结构设计,性能测试,较详细地介绍了提高离子泵抽除惰性气体性能等工…     

快速的简易的实验用极高真空系统

本文介绍一种实验室用的、抽气时间短、简易的极高真空系统。它由一台特殊设计的玻璃冷冻钛升华泵与超高真空玻璃油扩散泵串联所组成,可在10小时内从低真空抽到10~(-13)托(使用新型的轴向式抑制规测)。文章介绍了该系统的结构特点,并分析了影响该系统极限真空的因素。     

原子能院自由电子激光器真空系统

介绍中国原子能科学研究院自由电子激光器的真空系统。激光器由Ｌ波段行波电子直线加速器、束流输运系统和包含１．５ｍ援摆器的光学谐振腔组成,１０台钛油射离子泵分布在各段以获得并保持超高真空。     

以聚苯醚为介质的油扩散泵超高真空机组试制总结

一、概述 随着真空技术在国民经济各部门的广泛应用。油扩散泵超高真空机组同无油超高真空机组一样被应用在许多大型表面分析仪器上。如国外电子能谱仪ES200、ES300、BSCA650B和VG公司SSMD2型分子束外延设备都配有油扩散泵超高真空机组。尽管返流油蒸汽污染真空室,但当采取适当措施。如挡油帽、水冷挡板、冷凝阱等,可使返流油蒸汽大大减少。尤其扩散泵与离子泵、升华泵比较,造价低。运行可靠、使用维护方便。特别是在某些仪器上,如电子能谱仪、高频溅射仪等,大大优越于无油机组。 一近年来聚苯醚的问世,给扩散泵的发展以强大的生命力…     

无全油超高真空排气台、加热炉、高频除气台及真空储存柜试制小结

一、概述 我厂以阶级斗争为纲,坚持厂所结合,经过二年多来的奋战,终于试制成功了适用电子工业的全无油超高真空工艺各种设备:CP型无油超高真空排气台、CL型无油超高真空加热炉、CC型无油超高真空高频除气台和ZG型无油真空储存柜。 无油超高真空工艺成套设备的试制成功,充分地体现了经过无产阶级文化大革命运动后所产生的新生事物的强大生命力,这是工业学大庆群众运动的深入发展,独立自主、自力更生精神进一步发扬,是开门办所,开门办科研、工人、科技人员、领导干部三结合的产物,参加这套设备设计加工的同志们,回顾试制的战斗历程,深有感…