超净高纯试剂的现状、应用、制备及配套技术

对国内外微电子技术配套专用超净高纯试剂进行了评述。     

超净高纯试剂与紫外光刻胶

超净高纯试剂和紫外光刻胶作为IC生产工艺中的关键材料,随着IC生产向亚微米和深亚微米方向发展,对他们提出了新的要求。     

微电子工业用湿化学品的生产和发展

叙述了集成电路芯片加工用的湿化学品的分类，主要是超净高纯试剂和溶剂，以及如何达到国际半导体设备和材料协会所要求的G7、C8或C12规格的纯化方法。     

石墨炉原子吸收法在电子工业用超净高纯试剂分析中的应用

研究了超净高纯试剂异丙醇中痕量镉的石墨炉原子吸收光谱测定法。制定了石墨炉原子吸收光谱法测定痕量镉的分析程序,试样经挥发浓缩,采用标准曲线法测定。石墨炉原子吸收光谱法测定超净高纯试剂异丙醇中痕量镉,较火焰原子吸收法灵敏度高,但由于超净高纯试剂异丙醇中基体比较复杂,因此在石墨炉原子吸收光谱法测定中,由基体引起的背景吸收干扰往往比较严重。为此利用氘灯进行背景校正。同时进行加标回收测定。分析测定结果令人满意。     

浅议国内外超净高纯氢氟酸工艺技术差异

集成电路是资本密集、技术密集型行业,同时又长期遵循着著名的"摩尔定律",对企业在技术实力和研发投入上有着严苛的要求,相应对原料蚀刻剂超净高纯氢氟酸产品质量也有苛刻要求。从市场需求方面引出国内企业与国外企业的超净高纯氢氟酸质量差异,又详细对比分析了国内企业和国外企业执行标准的差异和原因以及工艺技术制备的差异,末尾结合集成电路的市场状况说明了中国超净高纯氢氟酸制备的发展趋势,以此来促进国内半导体产业的发展。     

微电子工业对超净高纯化学品的质量要求

我国为微电子工业配套使用的高规格超净高纯化学品一直依赖进口,此类化学品研发中的核心技术为德国、日本、美国等国家所垄断,其关键技术的国内外文献报道甚少。为便于国内相关研发单位开展研究工作,围绕微电子工业对超净高纯化学品的质量要求,搜集、整理并分析了近二十年来的相关文献,研究了不同规模集成电路对这类化学品纯度、洁净度的质量规格要求,建议:制定有全球竞争力的超净高纯化学品国家标准;建立相关产品生产管理制度和实施细则;建立能与国际资深实验室进行测试技能交流的有世界公信力的分析检测平台。     

微滤膜在超净高纯电子化学试剂生产中的应用进展

大规模集成电路对超净高纯试剂的纯度和洁净度上具有特殊的要求 ,微滤膜分离由于对细菌和微细粒子具有良好的截留效应 ,与蒸馏、吸附等其它分离手段相结合 ,可使得纯水、双氧水和HF等电子清洗剂 ,金属离子等杂质含量降至几十个 1× 1 0 -9以下 ,甚至达到 1× 1 0 -12 水平。     

高纯试剂专利信息

一种高纯度一氯甲烷的生产工艺；制备超净高纯试剂酸的方法及其精馏装置；制备高纯度磷化氢和其他气体的方法和装置；制备高纯度甲基叔丁基醚的方法；连续型变压流化吸附制取高纯气体的装置     

我国电子化学品产业的发展现状及前景

针对微电子信息产业的发展对我国电子化学品行业带来的发展机遇，概述了行业发展的现状及超净高纯试剂与光刻胶两大类品种的生产现状、研究方向和市场潜力。     

五大类电子化学品开发成绩突出

我国电子化学品近年在5个领域取得了显著的经济和社会效益。 1.超净高纯试剂 这是大规模集成电路微细加工过程的关键化学材料,主要用于硅片清洗和腐蚀。该专题由北京     

超净高纯电子化学试剂——异丙醇制备方法

本文介绍了用含量98%的工业级异丙醇经过金属离子络合剂处理、脱水处理、微滤膜过滤、多级精馏、钠滤膜过滤制备超净高纯电子化学试剂-异丙醇的制备方法.该方法制备的超净高纯异丙醇符合半导体技术的芯片及硅园片的清洗和刻蚀的要求.     

西陇化工挂牌上市

2011年6月2日,中小板新股西陇化工(002584)在深交所上市。该股本次上市5 000万股,发行价格为12.5元/股。西陇化工IPO募集资金拟投资于5万吨/年PCB用化学试剂项目、1万吨/年超净高纯试剂技术产业化生产     

电子用高纯化学试剂发展分析

电子专用超净高纯化学试剂是微电子技术加工制作过程中不可缺少的关键性化学品之一，主要用于芯片清洗和腐蚀，它的纯度和清洁度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有十分重要的影响，它基于微电子技术发展而发展，同时又制约微电子技术发展，因此，电子专用超净高纯化学试剂的研究和开发同微电子技术的发展紧密相联。     

亚沸蒸馏制备超净高纯盐酸工艺条件的研究

介绍了一种制备超净高纯盐酸的工艺路线:以优质工业盐酸为原料,经过蒸馏、过滤、洗涤、吸收、亚沸蒸馏,得到的超净高纯盐酸中主要金属离子的质量分数均小于1.0×10-10。对亚沸蒸馏提纯技术中影响产品产出速率以及产品浓度的工艺条件(包括液面温度、冷却水流量、进料速率以及进料浓度)进行了讨论。     

上海化学试剂发展的建议与对策

化学试剂主要由临床诊断与生化试剂、电子化学品和实验室用化学品三大部分组成.目前我国化学试剂的现状:试剂品种明显不足,试剂品种远远不能满足科学研究和高新技术产业发展的需求;试剂质量参差不齐,某些试剂质量问题严重,达不到相应的国家标准,甚至低于产品标识的质量要求;不少试剂价格远远低于国外同类产品;试剂行业的技术水平偏低,生产技术相对落后;试剂的包装及分装技术和国外尚有差距.我国应重点发展的高新试剂方向主要有:生化及分子生物学试剂和临床诊断试剂;微电子等专用超净高纯化学试剂;特种试剂;仪器分析试剂及标准参考物质;化学试剂的包装及分装技术的开发研究.对于我国试剂发展的建议与对策:加大科技投入力度,努力扩大品种、数量;创造政策环境,提高创新水平;完善化学试剂质量监督监测体系,提高产品质量;建立产学研结合的研发平台和产业化基地;加强国际、国内合作交流.     

超大规模集成电路用超净高纯过氧化氢的制备研究

采用吸附-离子交换-膜分离集成纯化制备了超净高纯过氧化氢，讨论了过氧化氨中各种树脂的温度变化、不同膜对过氧化氢中颗粒脱除的影响和过氧化氢纯化效果。此外，分析了超净高纯化学品生产中存在的问题，为今后的高纯超净化学品提出了方向。     

我国电子化学品的现状和发展前景

1现状 电子化学品，一般是指为电子工业配套的专用化学品，主要包括集成电路和分立器件用化学品、印制电路板配套用化学品、表面组装用化学品和显示器件用化学品等。目前电子化学品的品种已达上万种，它具有质量要求高、用量少、对生产及使用环境洁净度要求高和产品更新换代快等特点。 我国历来十分重视电子化学品的研制、开发和生产，现在的产品已能部分满足我国信息产业的生产需求。现将 2类比较重要的电子化学品的现状简要介绍如下：1.1集成电路用的电子化学品 关键的有 4类， (1)是超净高纯试剂。 BV－Ⅲ级试剂已达到国外 Semi－ c7质…     

西陇化工挂牌上市

2011年6月2日,中小板新股西陇化工(002584)在深交所上市。该股本次上市5 000万股,发行价格为12.5元/股。西陇化工IPO募集资金拟投资于5万吨/年PCB用化学试剂项目、1万吨/年超净高纯试剂技术产业化生产项目、高端化学试剂工程技术研究开发中心建设项目及其他与主营业务相关的营运资金项目。募投项目的投产将大幅     

亚沸蒸馏制备超净高纯盐酸工艺条件的研究

介绍了一种制备超净高纯盐酸的工艺路线，从工业优质盐酸开始，采用蒸馏、过滤、洗涤、吸收、亚沸蒸馏方法，提纯出超净高纯盐酸，其主要金属离子浓度含量均小于0.1ppb。同时针对亚沸蒸馏提纯技术，影响产品速率以及产品浓度的工艺条件，包括液体温度、冷却水流量、进料速率以及进料浓度进行了讨论。     

北京化学试剂研究所企业概况

<正>北京化学试剂研究所创建于1958年,是一家集科研试制、应用开发、规模生产和销售服务为一体的高新技术企业。2007年,按照北京市城市规划的部署,搬迁落户于北京市大兴区华腾化工科技园内。北京化学试剂研究所现年生产规模6000吨,主要有7大系列产品:锂电池电解液、锂离子电池电解液、超净高纯试剂、高纯物质、新型扩散源、标准溶液及实验试剂