信号处理及移动通信用SAW滤波器综述

声表面波(SAW)器件是利用压电材料将电信号转换成表面波在固体表面传播,在输出端将表面波再转换成电信号从而进行信号处理的器件。由于SAW信号处理系统的速度比最快的数字处理系统还要快两个数量级,并且具有非常大的信息容量,所以在信号处理和通信系统中占有十分重要的地位。本文就SAW器件中常见的SAW滤波器的原理、结构和主要特点,以及SAW滤波器的选用和使用注意事项及其应用状况与发展趋势作出了概述。     

声表面波器件

作为声表面波(SAW)技术的应用实例,本文描述了滤波器和信号处理器件的现状.文章特别提到,可将波控制在表面的电极构成法和微细加工技术的进步与SAW器件的发展背景密切相关,今后的目标之一就是期待SAW器件能以其模拟信号处理功能与数字器件并存发展.     

CCD-SAW器件在雷达信号处理中的应用

表面声波器件(SAW)及电荷耦合器件(CCD)是七十年代初相继问世的两类先进模拟器件,由于它们具有许多独特的优点,目前国内外已开始应用于雷达信号处理技术中。本文就CCD器件、SAW器件及CCD—SAW器件的组合在雷达信号处理中的应用作了综述,重点叙述在匹配滤波、频谱分析、动目标显示及脉冲多卜勒信号处理等技术中的应用。比较了CCD与SAW器件的性能,报导了SAW脉压、CCD动目标显示及CCD—SAW脉冲多卜勒信号处理实验结果。CCD、SAW及其组合作为新一代的小型化模拟器件,在雷达信号处理中的应用具有十分广阔的前景。     

信号处理及移动通信用SAW滤波器综述

声表面波(SAW)器件是利用压电材料将电信号转换成表面波在固体表面传播,在输出端将表面波再转换成电信号从而进行信号处理的器件。由于 SAW 信号处理系统的速度比最快的数字处理系统还要快两个数量级,并且具有非常大的信息容量,所以在信号处理和通信系统中占有十分重要的地位。本文就 SAW 器件中常见的 SAW 滤波器的原理、结构和主要特点,以及 SAW 滤波器的选用和使用注意事项及其应用状况与发展趋势作出了概述。     

文摘选辑

一、声表面波技术 118 SAW器件的最新动向——Watanabe T.:NEC Res.Dev.,1988;(88)1—11 介绍了高性能SAW器件研制的最新技术动向,发现了温度系数极小的SAW器件用晶体切割面,制成了可导出最佳解(为获得所期望的频响特性)的计算机辅助设计工具,探明了器件微型化工艺极限。采用电子束注入法试制了光纤通讯系统用3.99GHz定时滤波器,文章还介绍了其他一些SAW器件的应用。     

声表面波部件(二)

六、SAW高速付里埃变换处理器SAW高速付氏变换处理器作为一种信号处理部件已充分显示出了它的生命力,它潜在的性能和广阔的应用前景引起了人们极大关注.SAW信号处理器充分发挥了SAW器件的特长,即充分利用了构成SAW器件基础部分的叉指换能器本身的传递函数与信号的互作用、或信号与信号之间的互作用来完成多种所需的功能.一个SAW部件可实现一种或两种以上的功能,这是该系统研究者多年来一直追寻的目标.我们知道,信号处理包括信号变换和信号发生等.在信号变换方面有简     

单片GaAs声电荷转移器

声电荷转移(ACT)器是80年代初出现的一种新型高性能高速单片信号处理器件,它集SAW和半导体技术的优点于一身,能与其它信号处理器件进行单片集成.完成各种信号处理功能.作为新一代信号处理器件,它具有许多独特的性能及广阔的应用前景,故而受到人们的普遍关注.     

制作在AlN外延膜上的零温度系数SAW器件

为将零温度系数SAW器件与有源半导体器件集成在一块芯片上,需采用新的薄膜技术,这种结构拟称为Si/蓝宝石或Si基片射频集成电路(RFIC)。AlN薄膜由于具有高的SAW速度,所以适用于工作频率达千兆赫以上的SAW器件。已制成了工作频率达1GHz以上的AlN/蓝宝石结构的零温度系数SAW延迟线。本文讨论下述研究工作的近况:(1)材料生长及AlN材料常数的估价;(2)SAW传播损耗及色散与频率和膜厚的关系;(3)AlN薄膜的质量对延时温度系数的影响;(4)AlN薄膜在RF电路集成化中的潜在应用;(5)温度对SAW相关器性能的影响。     

SAW存贮相关器 卷积器

SAW存贮相关器/卷积器是近十多年间迅速发展起来的一种具有独特功能的信号处理器件,是典型的SAW技术与半导体技术相结合的器件,它具有许多纯粹的SAW器件所望尘莫及的优点,故而近年来其发展十分引人注目.鉴于其潜在的生命力,可以预料,此项技术必定是今后SAW技术领域的一个主要发展方向.本文简要综述了国外此类器件的研制状况,说明了其工作原理及存贮机理;描述了各种结构及其特性.最后对几种应用SAW存贮相关器或卷积器的子系统作了简单介绍.     

SAW/CCD器件

SAW与CCD技术相结合可取长补短,因此,较之单纯的SAW器件,这种组合技术可完成多种独特的更加理想的模拟信号处理功能,如:缓冲存贮、相关及可程序匹配滤波等。本文将简要叙述此项技术的特点和工作原理,并介绍国外几种典型器件及其性能。     

利用声表面波器件实现跳频波形

声表面波(SAW)器件在战术通信设备中的应用颇广,这类器件已用来实现诸如带通滤波、延迟、匹配滤波、调制等信号处理功能及其他各种功能。 本文就利用SAW技术实现跳频(FH)合成器的几种途径作一简单介绍。其中包括SAW线性调频脉冲(Chirp)滤波器混频的FH合成器,SAW抽头延迟线实现的FH波形,SAW振荡器实现的FH波形,以及SAW滤波器直接合成FH波形。     

SAW传感器及其在无源标识器中的应用

声表面波（SAW）器件作为信号处理器在现代扩频技术中已获得广泛的应用，推动了信号保密、抗干扰技术在通信、雷达、电子对抗等军用电子系统中的应用。然而，随着信息技术的深入发展，作为模拟技术的SAW技术，在信号处理领域依然展示着其实时强大的信号处理能力，同时在信息敏感方面也展现出卓越的优势，如其灵敏度高、直接频率和相位输出、多参量综合信号转换能力、性能稳定、无源低功耗、工艺简单且与半导体工艺兼容易于实现片上集成等特点，在多种物理、化学、生物传感器系统获得应用，广受重视。近年来，随着SAW器件工作频率提高到GHz以上，使得集信息敏感与信号处理、信号传输于一体的单芯片SAW无源标识器（SAW IDT）技术在多种SAW传感器系统获得广泛的应用，成为当今SAW和传感器两个技术领域的一个新发展亮点。本文基于信息敏感的角度对SAW传感器的理论、设计、结构、系统研究方向，在无源标识器（IDT）应用军方面进行了探讨。     

文摘选辑

(一)声表面波技术 056 军事通讯、雷达和电子战系统用SAW器件——(Harhmanm C.S.)《Microwave J.》257(1982)73—86 讨论了军事系统特殊应用促进的SAW技术的进展。当前SAW器件有各种应用,从优良的阻带抑制和低插损的带通滤波器到能够完成有效的模拟信号处理功能。这些应用无疑将促进对基片材料、制作技术和器件的物理性能的研究改进。(声)     

GaAs单片声电荷转移器件的研究与发展

声电荷转移 (Acoustic charge transport,简写 ACT)器件是 2 0世纪 80年代初出现的一种新型信号处理器件 ,它集中体现了声表面波 (SAW)和半导体技术的优点 ,能与其它信号处理器件进行单片集成 ,完成各种信号处理功能 ,在军事防御和商业方面有广泛应用。文中主要介绍 ACT器件的基本结构、工作原理以及器件工艺流程 ;最后介绍了 ACT器件的应用前景。     

声表面波器件在CO_2相干激光雷达信号处理中的应用

本文通过对CO_2相干激光雷达信号和声表面波(SAW)器件特性的分析,提出了CO_2相干激光雷达信号处理的两个技术方案:一方面,可单独用窄带的多通道滤波器组实现频谱分析;另一方面,为减少通道数目,可以用较宽带的多通道滤波器组与SAW傅里叶变换器组合实现;还讨论了SAW色散延迟线和谐振器在CO_2相干激光雷达系统中的应用。最后对国内SAW器件的研究和生产的现状作了概括。     

推陈出新,创办高水平的《学报》品牌——庆贺《军医进修学院学报》创刊30周年

电子束光刻(EBL)具有高的分辨率,能制备具有亚微米尺寸的声表面波(SAW)器件.一种采用EBL技术制备用于气体传感器的具有亚微米尺寸的SAW延迟线的方法:首先利用EBL在压电衬底上获得叉指换能器(IDT)的电子抗蚀剂图形;然后用剥离工艺制作出IDT电极.通过邻近效应校正和提高场拼接精度,制作的叉指电极具有一致性,电极形貌好.相对于干法刻蚀工艺,剥离工艺避免了对压电衬底表面的物理损伤.该技术为实现特征尺寸达到百纳米级的更高工作频率SAW器件的制造提供了很好的途径.     

光衍射栅导出的通用SAW滤波器组

利用普通光衍射栅输出聚焦面上的探测器阵列,可构成滤光器组.从这个原理出发,设计了几种具有相同声学功能的SAW叉指换能器结构,并且表明,这些结构的效率和相对带宽与制作在给定压电基片上的普通SAW器件的相同.本质上,这类器件是:(1)传播方向与频率有关(k矢量)的输入换能器阵列的组合;(2)主要由其倾斜角选择的多个大孔径输出换能器的组合.这种结构已在～100MHz的中心频率下在LiNbO_3上进行了成功的试验,得到了单信道带宽～1MHz的小型高效的32信道滤波器组.试验还表明,利用SAW基片的二维性和叉指换能器极大的设计灵活性,可根据这些基本结构设计出具有许多潜在应用的其他各种结构,这些应用包括信道化接收机和频谱分析,多路传输-信号分离操作,并可用作匹配滤波器组.本文择要介绍了这类器件的一些结果.     

文摘选辑

一、声表面波技术155 雷达和通信系统中用的SAW技术——R.King:R.F.Des,1986:9(6)32,34—37SAW器件在现代雷达和通信系统中越来越起到重大的作用.由于这些器件具有小型、高稳定、高可靠和良好的耐环境特性,特别适合于现代高可靠的军事系统的需要.目前,SAW技术已用于要求精度很高的滤波器、延迟线、脉冲压缩技术、稳定的频率源、各种编码技术以及信号处理技术等方面.     

纪念声表面波器件的奠基人——英国物理学家瑞利发现瑞利波100周年——声表面波器件的最新进展(三)

六、色散延迟线 1. 脉冲压缩系统 SAW色散延迟线的延时是输入信号的瞬时频率的非守恒函数。在历史上,色散延迟线是最先利用SAW技术的器件之一。至今,SAW器件在雷达中应用得最成功的是用于脉冲压缩系统。     

由自动采集的器件参数直接构造的与工艺技术无关的大信号非准静态FET模型

从原理上讲,非线性模型方程及其有关参数值可以从器件加工工艺中的各种物理参数获得。另一方面,非线性特点也可以用经验公式来模拟。其中系数的确定(参数提取)可以利用优化技术,通过对测得的数据进行拟合完成。通常,在工程实践中,以上两种方法对于定量的非线性电路设计都是不够的。在此我们提出的方法是,测出器件特性参数,然后,从这些数据构造出分别用于直流、小信号以及大信号分析的非线性模型函数。所得的FET模型具有以下特点:(1)它具有极好的通用性;(2)与所采用的器件加工技术及工艺过程无关,因为这些计算过程对于任何器件都适用,只要该器件能用等效电路表示就行;(3)该模型十分具体、精确,这表现在计算中包括了各器件依赖于V_(GS)和V_(DS)特有的非线性;(4)该模型是非准静态的,因为它考虑了频率色散效应。根据比例换算原理,它可以模拟各种结构的器件。