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《电子科技文摘》2003,(3)
SPIE-Vol.4178 0305054SPIE 会议录,卷4178:微光学机电系统与微型系统=Proceedings of SPIE,Vol.4178:MOEMS and miniatur-ized systems[会,英]/SPIE-The International Society forOptical Engineering.—412P.(E)本会议录收集了在美国 Santa Clara 召开的微光学机电系统和微型系统会议上发表的43篇论文,内容涉及材料对微光学机电系统(MOEMS)的影响,MOEMS光学开关,束操纵与扫描,高频扫描用微扭矩镜,新型MOEMS 封装,用于显示的 MOEMS,光学处理与控制,波分复接,光学微腔设计与制造,集成傅里叶变换谱仪,大孔径 MOEMS 法布里-珀罗滤波器,光学MEMS 压力传感器阵列。 相似文献
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《激光与光电子学进展》2003,40(1):6-11
对微光机电系统(MOEMS)兴趣的惊人增长吸引了包括众多戌中心和工业企业的投入。大量的MOEMS应用领域为之发展提供巨大机遇,如光通信(光开关,交叉连接矩阵,DWDM系统等)、数字图像处理、自适应光学以及工业维护、环保、生物医疗等等。本文简述MEMS(微机电系统)和MOEMS的概念后,着重介绍MOEMS的应用领域和几种典型器件。采用MEMS工艺技术制备出诸如DWDM通信系统用的可调谐F-P干涉仪或用于障碍物探测的二维扫描器等器件。已开发出多种专用技术,制备成功应用于障碍物检测的二氧化硅一维扫描器件。另外,一些器件是微机械与集成光学相结合的MOEMS:例如通信系统中作为网络保护和重组应用的微光开关,用作电动机转动机械部件检测的微振动传感器等。 相似文献
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美国Ton光学公司与美国喷气推进实验室合作研制一种用以探测二氧化碳的微光学机电系统(MOEMS),并且打算把这种系统的成本降低到现有电化学气体探测方法的水平。据有关专家解释,电化学传感器虽然具 相似文献
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近年来,由于微系统和器件微型化领域的产业需求,导致微光学和微电子学相结合,实现微光学元件与微电子器件集成在同一基片上,形成所谓的微光电子机械系统(MOEMS)技术。MOEMS技术具有微型化、智能化、重量轻、成本低、高可靠、长寿命、批量生产、军民两用等突出优点,它将导致光电子系统的革命化。在未来几年内,MOEMS技术可望发展成为几十亿美元的产业。 相似文献
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首先介绍了较为常用的几种光开关的工作原理、特点和应用。描述了MEMS、MOEMS、微流控技术。以MOEMS及微流控技术相接合,提出一种新的微流控光开关阵列结构,通过电控方法改变微流控芯片波导结构,实现光路变化。该光开关具有体积小,结构简单,功率损耗低,有利于光开关阵列集成化、微型化及制作。以电控方式控制光开关,在开关速度上比温控更快、更稳定,且控制电路简单等特点易构成大容量交换矩阵。 相似文献
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微光机电系统(MOEMS)是当今技术领域的研究热点之一,无论在军事和商业领域都有广泛的应用。当前MOEMS的制作主要利用二维平面技术,由于二维平面制作技术已经接近物理极限,进一步在二维平面上提高器件密度的难度变得越来越大,充分利用三维空间提高器件的密度有很多优点。本文介绍一种利用晶格失配的外延层自组装制作三维微纳米结构的方法,利用这种办法可以很方便地制作三维微纳米元件,并且在同一个衬底上进行自组装。 相似文献
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Micro mechatronics and micro actuators 总被引:2,自引:0,他引:2
Micro mechatronics is the synergetic integration of both mechanical and electronic systems based on scaling effects in the micro world. A micro mechatronics system is expected to be the key component of the mechanical system, such as in electronic automotive technologies. Micro mechatronics requires the organic combination of micro devices such as micro processor, micro sensor, and micro actuator. Among the micro devices, the micro processor and micro sensor have been widely employed in advanced mechatronics products, but not the micro actuator. This paper surveys the state of the art of micro mechatronics and deals with micro actuators as new devices for micro mechatronics and advanced mechatronics, which play an important role in today's integrated mechanical products. Since micro actuators are still under development, the authors focus on micro actuators for further research and development in this paper. 相似文献
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光学系统和光学部件是投影电视核心技术的重要组成部分。光学系统包括光学图像的形成和光学图像的投射两部分。本文介绍投影电视的分类,光学系统设计目标和光学部件。提出并分析光学系统的分类表,得出若干重要结论。 相似文献
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耦合型微纳光纤偏振滤光器研究 总被引:2,自引:0,他引:2
微纳光纤偏振滤光器是光纤通信和传感系统的微型基本元件之一。利用超模耦合理论研究表明,当选择合适的耦合区长度和微纳光纤直径时,两平行紧贴微纳光纤构成的耦合器件可实现起偏效应,即将非偏振的输入光变为偏振光输出;理论设计分析给出了产生这种效应的几何参量值。实验研究了两根微纳光纤平行耦合时输出光偏振度(DOP)与耦合长度的关系,验证了起偏效应并制作了基于消逝场耦合的微纳光纤偏振滤光器。实验表明当微纳光纤偏振滤光器输入非偏振光时,在1545~1560nm波段耦合输出端光的偏振度达到了90%以上,实现了光束起偏;在此波段内某些波长的输出光消光比(LPER)可达到24dB以上,而其他波长处为椭圆偏振光或者圆偏振光,实现了分色起偏。此器件与检偏器组合可制成带通(阻)波长滤波器。 相似文献