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薄膜体声波谐振器(FBAR)技术,是一种基于声体波谐振的新技术。当一交变射频电压施加于两电极之间时,在压电薄膜内形成交变电场。通过压电薄膜的逆压电效应产生的机械形变激发体声波、在两电极间来回反射,当体声波的传播为半波长或半波长的奇数倍时发生谐振。和声表面波滤波器相比,FBAR滤波器具有体积小、带外抑制高、 相似文献
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《压电与声光》1986,(6)
数 SAW器件 6 47 表面波挂术 用 页_。。。。。。。。。。。。 、。。—。—。甩旋转三棱镜会聚表面波 6 58:表面波型电机(一)11三相单向聚能叉指换能器波束压 __。__。。。_。l__。I,,。声光技术 朝 页 缩声表面波弹性卷积器研制 112—。。—、·—一用于彩电微波接力机的掠面体波 利用锗酸秘电光效应的光纤电压 振荡器 120 电场传感器123采用浅声体波器件的微波频率源 142 声一电-光光调制 151表面波型电机(二)21 采用 LITaO;单晶的激光能检测提高声表面波振荡器单边带相位 器 154 噪声性能的初步探索29 光纤电场传… 相似文献
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100—1500兆赫声表面波(SAW)振荡器是实用的,并能以延迟线或谐振器形式构成.非压电基片上的高次谐波声体波谐振器工作频率为1—10千兆赫,Q值优于石英.两种SAW途径和高次谐波体波谐振器彼此作了比较,并一起与UHF和微波应用的、由5兆赫标准晶体谐振器倍频的振荡器作了比较.UHF声振荡器减小了尺寸、重量、成本和功耗. 相似文献
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《电子科技文摘》2006,(6)
0614203基于透明铁电陶瓷的高速可变光衰减器〔刊,中〕/陈捷//压电与声光.—2006,28(1).—2122,26(L)0614204低损耗梳状声表面波延迟线的耦合模分析〔刊,中〕/王文//压电与声光.—2006,28(1).—1013(L)梳状换能器可看成若干叉指单元电端并联,声端首尾串联而成的网络,采用单向结构可降低采用这种结构的声表面波延迟线的损耗。根据耦合模(COM)理论推导出整个换能器的混合矩阵(P矩阵)并结合等效电路模型得到了整个延迟线二端网络的导纳矩阵以及延迟线的幅频及相频响应。本方法能模拟指间反射、三次行程、指条寄生阻抗以及外围电路对器件的影… 相似文献
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声表面波(Surface Acoustic Wave缩写为SAW)器件目前已发展到包括SAW滤波器、谐振器、延迟线、相关器、卷积器、移相器和存储器等在内的100余个品种。 SAW器件是近代声学中的表面波理论、压电学研究成果和微电子技术有机结合的产物。所谓SAW,是在压电固体材料表面产生和传播、且振幅 相似文献
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引言声表面波(SAW)是一种能量集中在固体浅表面传播的弹性波。由于声表面波在介质表面进行换能和传播,所以信息的注入、提取、处理都可以方便地实现。目前声表面波器件主要应用在滤波器、延迟线、振荡器、触摸屏等方面,其中移动通信中的滤波器应用最广泛。基于声表面波技术的传感器也被较广泛的新究。随着信息技术特别是射频识别技术的发展,SAW标签成为声表面波领域的另一个研究热点。SAW标签的独特性使其成 相似文献
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《压电与声光》1989,(6)
____._..__、用 页 声表面波校术 期 页 光纤传感器的j、蚣声 6 55汽车电话用低损耗高性能SAW滤波器 11二,二^_二二_二二____._上____。_。压电及某它功能器件SAW存储相关器/卷积器亚系统的研制 ZI———””一‘”“一’‘LITaO。单晶彩电声表面波滤波器的频响特 Cd6Sb。O。。半导瓷的结构分析 122 性分析 2 8 声加速度计 155**w小型延迟线24o 制备均质超细粉料和陶瓷的新技术2 21声表面波卷积器的基本理论31 %’“掺杂对*h厂。*7-yHTy超导陶瓷工基干SAil/卷积器的匹配滤波技术 3 12… 相似文献
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电子束光刻(EBL)具有高的分辨率,能制备具有亚微米尺寸的声表面波(SAW)器件.一种采用EBL技术制备用于气体传感器的具有亚微米尺寸的SAW延迟线的方法:首先利用EBL在压电衬底上获得叉指换能器(IDT)的电子抗蚀剂图形;然后用剥离工艺制作出IDT电极.通过邻近效应校正和提高场拼接精度,制作的叉指电极具有一致性,电极形貌好.相对于干法刻蚀工艺,剥离工艺避免了对压电衬底表面的物理损伤.该技术为实现特征尺寸达到百纳米级的更高工作频率SAW器件的制造提供了很好的途径. 相似文献
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5.声表面波加速度传感器处于加速度场中的物体都要受到惯性力的作用,这是物理力学的基本概念,所以制作的SAW振荡器的基片受到这种惯性力的作用而发生形变,使声表面波传播速度产生变化,从而导致振荡器的频率变化.基片自身的质量小,所以要外加惯性质量块,才能大大提高灵敏度.过去几年中,已经设计并试制了四种不同结构的SAW加速度计,并研究了它们各自的特性.四种结构虽不同,但所受到的惯性力有二类情况:一类是感受器件受 相似文献
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本文讨论了铁电铁弹晶体的耦合效应.描述了相酸钆(Gd_2(MoO_4)_3)晶体的基本特性,它是完全铁电兼完全铁弹性晶体,其铁电性和铁弹性相互完全地耦合.由于这种晶体具有许多优良的特性,可望有效地应用于许多方面.如高精密微位移器件、可调声表面波延迟线及多种光学器件.并讨论了它的一些有效应用前景及发展. 相似文献
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《电子科技文摘》2000,(5)
Y2000-62004-351 0008305无线可请求的通用传感器用声表面波延迟线=SAWdelay lines for wirelessly requestable conventional sensors[会,英]/Steindl,R.& Pohl,A.//Proceedings of 1998IEEE Ultrasonics Symposium,Vol.1.—351~354(Z)Y2000-62004-355 0008306采用线性调频脉冲声表面波延迟线结构的无线全石英封装压力传感器=A wireless AQP pressure sensor usingchirped SAW delay lines structures[会,英]/Reindl,L.& Ruppel.C C.W.//Proceedings of 1998 IEEE Ultra-sonics Symposium.Vol 1.—355~358(Z) 相似文献
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设计并研制了以声电荷转移(ACT)方基础的带有单片抽头加权控制电路的可程序抽头延迟线(PTDL)。ACT器件是一种新型高频单片电荷转移器件(CTD),在此器件中,载流子由传播于GaAs之类压电半导体中的大功率声表面波(SAW)的行波电场来聚集,并在此电场范围内转移。这种ACT/PTDL器件由ACT延迟线、32抽头电极阵列、和以GaAs肖特基势垒二极管为基础的抽头加权控制电路所构成。此器件是一种单片GaAs横向滤波器,其工作带宽为180MHz,抽头间隔为22.4ns,抽头加权控制为8bit。ACT/PTDL是完全可程序的,抽头加权由借助于数字/模拟(D/A)接口板的微机来控制。 · 相似文献
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声表面波器件(SAWD)是一种结合电和声学的器件,具有实时、高可靠、低功耗和低成本等方面的优点。扩频系统中.利用声表面波抽头延迟线作为匹配滤波器可实现多种功能,简化系统解扩解调和同步的实现,设计灵活。 相似文献