DL-10型石英真空计的性能

本文叙述了DL-10型石英真空计的研制结果,它用Φ2×6型音叉状石英晶振作为压强传感器。该真空计测量范围是10～105 Pa,误差约10%。石英真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与气体压强有关的性能做的真空计。DL-10型石英真空计的振荡电路中的晶振同时也是压强传感器。     

新型复合真空计校准技术研究

随着真空应用产业的发展,新型复合真空计由于其具有优越的技术性能,在真空测量领域发挥着越来越重要的作用,被各大厂矿、企事业单位广泛使用。该真空计采用模块化集成设计,实验室常规的校准方法无法进行校准,通过对反磁控皮拉尼复合真空计测量原理的分析,将可变量输出的对数模拟标准电压信号转化为真空度信号,进行示值误差分析,对照国家颁布的相关校准规范,给出校准结果。此技术为复合真空计的校准提供了实验基础和理论依据,解决了该类型真空计的校准难题。     

一种ICP-MS真空测量系统的研制

本文介绍了一种基于C8051F微控制器并应用于电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)的真空测量系统。系统由真空计组、预处理电路、C8051F微控制器、串行接口和上位机组成,能同时测量接口、透镜和四级杆三个部分的真空状态,且具有较高的集成度,紧凑的体积和较低的功耗,经最后实验证实,系统能准确且稳定的测量各个部分的真空度,可为ICP-MS的正常工作提供相应的条件保障。     

氮化钽薄膜皮拉尼真空计的灵敏度特性

1.前言加热物体被周围气体所传导的热量随气压而变化,利用此原理制造的皮拉尼(热传导型)真空计有比较简单的测量电路,即使在大气压下工作也不会损坏,适用于一般工业上的真空度测量。由于压强高于10托和低于10~(-3)托时,气体热传导和压强的关系较小,在此压强范围内,用通常的白金丝皮拉尼真空计测量压强是困难的。为了在上述压强范围内使真空     

适应复杂环境的真空计

采用全陶瓷规管进行电荷屏蔽,实现了对薄膜真空计的改进,以满足在含有大量带电离子及饱和水蒸汽等特殊真空环境中低真空度的快速准确测量。介绍了提高传感精度且降低温度及水蒸气对电容薄膜真空计影响的方法、器件选择以及单片机控制系统等,并给出了部分测试结果。本文设计的低真空度测量系统具有模块化、精度高、响应速度快等优点,为国内特殊真空环境下低真空度测量系统提供了设计参考。     

热传导真空计测量非稳定气流压强的热惯性的修正方法

在空间科学技术、高能粒子、受控热核反应和高速风洞等尖端科学技术研究中,出现了特殊环境下的真空度测量,尤其对非稳定气流和非均匀气流的压强测量,提出了一些新的要求和探测中的特殊问题。较为关心的问题之一,是真空计的响应速度,一般要求具有快速响应特性。但是,要求真空计具有快速反应只是问题的一个方面,而实际上有些真空计如热丝、热电偶和热电堆等热传导真空计,其本身固有一定的热惯性。由于它们具有结构简单、体积和功耗小等特点,常被用来测量非稳定气流的压强。这就要求不但测     

TRIZ理论在真空热处理测量装置研究中的应用

在真空热处理测量装置中,传统的四极质谱计由于结构缺陷存在残余气体检测不充分的问题,而标准真空计和被校真空计之间使用的T型三通同样由于结构问题存在真空度检测效率低的问题,导致大容量真空炉的真空度和残余气体测不准。文章从TRIZ理论方法的角度出发,对传统的四极质谱计结构进行不对称式优化,将T型三通变为球面结构并作加热和气压控制改进,优化和改进提高了真空热处理测量装置的工作效率。     

真空计的发展新趋势

结合真空计的发展历史和使用需求,通过对国际上近几年的真空计新产品的分析可知,目前常用真空计具有向小型化、一体化、集成化、系统化和智能化方向发展的趋势。小型化是指真空计的体积越来越小,一体化是指真空计电路部分与规管集成为一体,集成化是指将多只真空计组合为一体,系统化是指将真空度的测量与控制相结合,智能化是指真空计具有自我诊断、自我保护、自动操作和数据处理等综合处理功能。这些趋势是在电子技术和计算机技     

超高真空计微弱离子流检测技术研究

在超高真空环境下，Bayard-Alpert型电离真空计通过电离气体分子得到的离子流信号十分微弱，且极易受到干扰。介绍了一种用于超高真空测量的微弱信号检测系统，包括测量电路、调零电路与处理模块。该系统采用高精度放大器与高绝缘继电器，可以实现微弱信号的精密放大，满足mA级至亚pA级范围的宽量程电流信号检测；能够自动完成测量档位的切换、系统调零、数据处理与真空全压力值计算，测量下限可达10^-13A量级，可用于超高真空计离子流的精确测量，具有良好的线性及稳定性。     

低温绝热容器中皮拉尼真空计取代热偶真空计的可行性分析

在低温绝热容器夹层真空度的测量中,皮拉尼真空计和热偶真空计较适用,目前热偶真空计应用较多。从测量范围、测量精度、测量温度、互换性、远程监控、检漏能力和性价比等方面,对皮拉尼真空计和热偶真空计的性能进行了比较,得出皮拉尼真空计更适用于低温绝热容器夹层真空度测量的结论。最后列举了目前国外几种典型的商用皮拉尼真空计和热偶真空计的技术参数。     

真空计的发展新趋势

结合真空计的发展历史和使用需求 ,通过对国际上近几年的真空计新产品的分析可知 ,目前常用真空计具有向小型化、一体化、集成化、系统化和智能化方向发展的趋势。小型化是指真空计的体积越来越小 ,一体化是指真空计电路部分与规管集成为一体 ,集成化是指将多只真空计组合为一体 ,系统化是指将真空度的测量与控制相结合 ,智能化是指真空计具有自我诊断、自我保护、自动操作和数据处理等综合处理功能。这些趋势是在电子技术和计算机技术迅速发展的技术推动下 ,为满足应用的需求而产生的结果。     

磁悬浮转子真空计转子轴向悬浮建模与优化设计北大核心CSCD

为满足磁悬浮转子真空计球形转子在真空中的轴向位移测量与悬浮控制需求,针对其同时加载悬浮直流电流和电涡流传感器交流激励的悬浮系统,建立了基于交流电桥结构的交直流耦合的频域模型。采用四阶龙格库塔法解算其悬浮过程的位移响应,结果显示交流激励的加载为磁悬浮系统引入了非线性因素。制作空气磁芯的电涡流传感器线圈,设计测量电路并制作PCB板,实验分析交流激励产生的电涡流对磁悬浮转子真空计转子悬浮控制的影响。通过对线圈半径参数进行优化实现了对交流作用所产生影响的控制,为磁悬浮转子真空计的优化设计提供了理论指导。     

DL-10A型石英真空计

DL-10A型石英真空计,测量范围为5×10-1～105 Pa。石英真空计的特点是传感器的体积小,这样该真空计除与其它真空计一样测量气体压强外,它能测量小体积,例如1 cm3大小的密封器件的气体压强,并能检测真空的保持状态。     

真空标准的现状

序言 低于大气压的压力状态称之为真空,真空度可定义为该状态下的压力,这个定义能够连续地表现从低真空到超高真空整个真空范围的压力状态。 为使物理量的标准能够被广泛地应用,.必须建立2个标准:即具备绝对标准和为了能够将绝对标准与实际许多测量值联系起来进行比较的副标准。在日本工业标准中,规定了标准的各种真空度的测量法。在日本电子技术综合研究所,用麦克劳真空计等真空度标准的计量装置,保持着10-3托以下压强的真空度标准。用这套装置校准,作付标准用的电离真空计,可以通过日本真空协会得到,该标准系统的详细情况本刊已有介绍。本…     

提高电感传感器测量精度的方法

分析了传统电感传感器信号的精密测量方法的优缺点,对传感器信号的特点进行了研究,在分析影响电感式传感器测量电路的精度因素的基础上,提出利用频率稳定的晶振来作为激励信号的信号源,采用单运放绝对值进行检波,用三极管功率放大电路来驱动负载等措施来改善电感传感器的检测精度,并通过实验论证了该方法的正确性和可行性.     

高真空电离真空计的改进

在电真空器件及半导体器件的生产过程中,需要对真空系统进行真空度的测量。特别是在1×10～-3乇到1×10～-8乇这个范围内。普遍使用高真空电离真空计。目前使用的电离真空计都采用图1这样的基本电路。它存在着下列几个问题。 一、在仪器的调整和测量过程中。需要交替的扳动各有关开关。在操作上感到不够方便。 二、当开关S使用日久后,簧片的接触电阻增大,在调整真空规的发射电流时,使仪表的指示与实际值存在误差,同时影响直流放大器的满度校准引起真空度测量误差。 三、图1中V6V7,屏极电压是随机变化的。当T1的次级电压UW2升高时,如欲保…     

《真空测量与控制》一书出版发行

合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其它检漏仪、标准漏孔、真空测量仪器电路、真空设备与系统的自动控制等。     

《真空测量与控制》一书出版发行

合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其它检漏仪、标准漏孔、真空测量仪器电路、真空设备与系统的自动控制等。     

《真空测量与控制》一书出版发行

正合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其它检漏仪、标准漏孔、真空测量仪器电路、真空设备与系统的自动控制等。     

论复合真空计对0．1Pa真空度的测量

在工业生产、科研院所等部门,电子复合真空计被广泛用于真空镀膜机、热处理真空炉等真空设备中。电子复合真空计是真空计量仪器。我们以较为常用的北京兴华真空仪表厂生产的ＪＦ型、ＦＺｈ型复合真空计和四川成都仪器厂生产的ＷＺＫ型复合真空计为例,讨论一下复合真空计在０１Ｐａ及其附近位置,真空度测量状况及其特点。根据复合真空计产品说明书中技术条件,多数复合真空计热偶计部分的真空度测量范围一般为２０Ｐａ～０．１Ｐａ,电离计部分的真空度测量范围为１０×１０-１Ｐａ～１０×１０-５Ｐａ。这里,我们注意到,１０×１０-１Ｐａ这一…