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制冷机性能对低温泵性能起着决定性的作用。对目前国内四家低温泵研制单位所使用的 GM205型制冷机性能进行了详细的测试,介绍并讨论了它在低温泵上的使用状况。结果表明,这种制冷机适合作300mm 口径以下的低温泵使用。 相似文献
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为了研制 DZB-200型封闭循环式低温泵的需要,我们研制了双级 G-M循环制冷机。 本文主要介绍了G-M循环制冷机的一般概况,制冷机的流程图、工作原理、热力学分析的结果。从而提供了G-M循环制冷机最佳运转参数的选择,制冷机基本结构型式及其主要尺寸的确定。最后介绍了双级G-M循环制冷机测试手段、方法和结果等等。 相似文献
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中性束注入实验单元系统调试和小尺寸样机验证测试需要真空环境支持,针对实验气体负载性质与真空要求,探索研制外置式制冷机低温泵。设计了一种基于单台4 K制冷机的低温泵并开展抽气单元性能分析,采用ANSYS热分析方法研究抽气单元热学性能,得到了不同气体热负载下的温度分布,结果表明,抽气面温度处于5 K左右,能够有效抽除H2、He等难凝性气体。采用MOLFLOW对连接抽速测试系统的低温泵进行了气体粒子运动模拟,验证了抽气单元设计的合理性,并模拟得到气体捕获系数为0.409;探究了气体负载对抽气性能的影响,结果表明,受温升影响,泵的抽速波动较小,抽气性能良好。研究方法与结果为实验用制冷机低温泵的研制提供了有益参考。 相似文献
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带小型制冷机的低温泵 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了用小型制冷机冷却的低温泵的抽气原理及基本结构,同时还介绍了低温泵的一些应用。低温泵一般都采用二极G-M循环或改进的索尔维循环制冷机。第一级冷头冷却防护板和冷凝水蒸汽的辐射屏蔽,防止对低温板的热辐射;低温板用第二级冷头冷却,除Ne、H2、He被活性炭吸附外,它可冷凝其余的大部分气体。低温板的抽气速度可用统计方法求出。本文还介绍了典型的低温泵的使用方法。 相似文献
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前言 采用闭循环小型制冷机的低温冷凝泵,由于其绝对清洁无油的工作环境以及比较大的抽速和较高的极限真空诸多优点,已作为一种新型超高真空设备在微电子技术、空间模拟、表面分析等领域中获得广泛应用。多年来,我国的许多真空获得设备厂家及研究机构,也开展了小型制冷机型低温系的研制工作并已取得了一定的成果。但据我们所知,国内研制的大部分低温系采用G-M循环制冷机,结构比较复杂,而且由于压机改装仍然存在一定的问题,致使制冷机的工作寿命受到影响,因而目前低温泵的应用尚存在一些困难。 中科院北京科仪厂真空事业部自1988年起,同中科… 相似文献
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本文介绍了兰州重离子加速器新型大口径无液氮低温泵——HIRFL800。它是由一台改良的小型单级机械制冷机和一台标准的二级制冷机组成的。泵对氮和氢的抽速分别为24000和26000 L/s。自1989年以来,用八台HIRFL低温泵,在100 m~3大真空室上,获得了5×10~(-6)Pa的真空度。 相似文献
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制冷机低温泵的入口障板,是低温泵设计中的重要部件。障板对来自抽气方向的热辐射的屏蔽效果。将直接影响泵的各项抽气性能。为了提高屏蔽效果,文中重点分析了障板的表面处理问题,以期得到障板对气体分子的流导系数和热辐射透过系数这一对互相矛盾的因素之间的最佳平衡及最好的应用效果。 文中例举了低温泵在大小不同的两台超高真空(UHV)设备中的工程应用结果,并对障板表面在不同的处理情况下的应用效果进行了比较。实验结果证明了理论分析的正确性,即对于自屏蔽式障板,其内外两面均抛光镀银的效果明显优于表面涂黑的效果。 相似文献
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近年来,随着真空、低温技术的迅速发展,人们对低温低压下多孔吸附剂的深冷抽气技术极为重视。目前多孔吸附剂被广泛应用在低温吸附泵、低温吸附阱、带小型制冷机的低温泵以及采用真空绝热和高真空多层绝热的各种低温装置中,已经成为真空获得,尤其是清洁真空获得的有效手段。 相似文献
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本文指出用常规的抽速测试方法来测量制冷机低温泵的抽速是不合理的。根据低温泵的特点以及对低温抽气研究的回顾,对低温泵的抽速测试罩进行了理论分析,并给出了压强的理论计算误差,据此推荐了几种制冷机低温泵的抽速测试方法。本文最后介绍了最新研制成功的ZDB-1300制冷机低温泵的抽速测试。 相似文献
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介绍我们自己研制的Solvay制冷机低温泵的压缩净化机且,改进型Solvay两级膨胀机以及低温泵体的设计及特点,目前已完成低温泵的中试生产,开始批量投产。 相似文献
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用于中性束注入器的4.2 K液氦低温冷凝泵的设计 总被引:4,自引:1,他引:3
在中性束注入器的研制中 ,大抽速低温泵的设计是其中非常重要的一部分。本文结合中性束注入器对真空系统的要求 ,介绍了中性束注入器真空系统的构成 ,并以布置于中性化室部位的低温泵为例 ,详细阐述了用于中性束注入系统的低温泵的结构设计以及抽速确定、冷凝面积确定等关键问题 ,成功设计了一套完全满足中性束注入系统对动态真空度要求的低温泵。 相似文献
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用于中性束注入器的4.2K液氦低温冷凝泵的设计 总被引:3,自引:0,他引:3
在中性束注入器的研制中,大抽速低温泵的设计是其中非常重要的一部分。本文结合中性束注入器对真空系统的要求,介绍了中性束注入器真空系统的构成,并以布置于中性化室部位的低温泵为例,详细阐述了用于中性束注入系统的低温泵的结构设计以及抽速确定、冷凝面积确定等关键问题,成功设计了一套完全满足中性束注入系统对动态真空度要求的低温泵。 相似文献