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光纤通信技术开辟了大容量、高速和低损耗的通信方式。集成波导光器件是构成光通信网和系统的重要组成部分,研制这些器件具有十分重要的现实意义。当前光通信中有代表性的器件是激光器、接收器、调制器、滤波器和控制器等。本文以光通信中三种重要的波导器件──光调制器、滤光器和定向耦合器为例,来介绍当前以光通信为主要应用领域的光波导器件的特点和应用。一、光波导技术1.基于LiNbO3的光波导技术光波导器件可采用无定形体材料、铁电材料和半导体材料。采用的无定形体材料包括有机聚合物波导和玻璃波导。热光调制器就可以制作… 相似文献
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分析了平面光波导器件的关键技术及其应用情况.介绍了平面光波导器件的几种不同种类,包括硅基体沉积二氧化硅光波导,铌酸锂镀金属膜光波导,聚合物(Polymer)光波导等组成.利用平面光波导技术,可制造出波分复用器、解复用器、光开关、耦合器、阵列波导光栅等各种不同的集成光学器件. 相似文献
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SOI材料是应用于硅基光电子学中的一种重要的光波导材料。近年来随着SOI材料制备和加工技术的成熟,SOI基光波导器件的研究日益受到人们的重视。文章介绍了SOI材料在光电子学领域的一些具体应用,包括了在热光器件、电光器件、亚微米波导器件与光纤的耦合器以及光电子集成芯片等方面的最新研究进展。更小的波导截面尺寸是未来SOI光波导器件发展的必然趋势。 相似文献
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微流体光波导器件是一种基于微流体调控的新型光学功能器件,在生物医学和环境监测等领域中具有广阔的应用前景。介绍了微流体光波导器件的基本结构,分析了微流体光波导器件的工作原理,阐述了微流体光波导器件的研究现状,并指出了其发展趋势。 相似文献
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简要评述硅基光波导的结构,工艺及其器件,包括低损耗的硅基光波导,电光波导器件,红外波导探测器,氧化硅光回路等。 相似文献
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SOI光波导是硅基光波导器件的基础,也是实现其它集成光学器件的基础。文章论述了SOI材料、SOI光波导以及SOI光波导开关的一些特性和研究进展。 相似文献
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利用有效折射率法分析了Ge0.05Si0.95/Si脊形光波导的光场分布,得到了这种光波导在传输单模时内脊高b、外脊高h和脊宽W的合理取值,还为其它光波导器件的设计奠定了基础。 相似文献
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半导体光子学 总被引:1,自引:0,他引:1
王启明 《固体电子学研究与进展》1995,15(3):205-213
半导体光子学是基于在半导体内操纵和控制光子运动的一门新的科学与技术。它应用于信息的传输、开关、记忆、再生和处理等。吸引着众多科学家、工程师们的巨大兴趣。现代信息高科技要求光子学技术能够传输TGb/s超大信息流,并能实现实时与高速处理,因此光子学未来的发展要求集成化,按照系统功能设计的要求,将众多具有不同功能的光子器件通过光波导的互连集成在一个基片上,并具有分立器件所不及的更优化的功能,这便是当今正迅速发展着的半导体光子集成回路(PIC)。虽然光子技术能够实现某些重要特殊功能,但是一个有实用意义的集成系统没有电子器件的参与是不现实的。因此,未来的集成必将是光子集成(PIC)与微电子集成的融合,这便是光子、电子集成回路。 相似文献
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硅基光波导材料的研究 总被引:2,自引:2,他引:0
光波导是集成光路及其元器件中最基本的构成单元。本文介绍了各种不同类型的光波导材料的特性。硅材料作为目前研究得最透彻的半导体材料,它在光电子领域的应用也是令人关注的。硅基光波导材料种类繁多,主要包括聚合物、外延硅/重掺杂硅、SiO2,SOI和SiGe/Si等。硅基光波导材料是实现硅基光波导器件的基础,本文阐明了它们各自的特点和应用前景。其中聚合物、SiO2和SOI波导是目前研究的热点。 相似文献
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从OFC 2003看平面光波导器件的发展动向 总被引:3,自引:0,他引:3
概述了2003年OFC会议上报道的平面光波导器件,着重介绍了平面光波导器件在新材料、新工艺、新结构方面的新进展和发展方向。 相似文献
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飞秒激光脉冲通过非线性相互作用可以在透明介质内部诱导载流子的激发、弛豫和折射率改变,从而用于制备光波导器件。飞秒激光无法比拟的高度局域三维加工能力使其在有源和无源波导器件制备中被广泛研究。综述了飞秒激光在多种透明介质中诱导折射率改变的机理、波导器件制备的实验进展和波导性能优化技术,分析了其研究趋势和应用前景。 相似文献
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随着半导体工业的发展,集成光电器件的特征尺寸越来越小,纳米光波导表面光滑技术将面临新的挑战。降低纳米光波导表面粗糙度,制造超低损耗纳米光波导,实现其高效片间光互连与片内光耦合,是集成光电子器件,特别是高灵敏微陀螺、生化传感器、光通讯等器件发展的关键。主要分析了光波导表面粗糙度与传播损耗的关系,着重阐述纳米光波导表面光滑工艺方法,包括热氧化法、氢退火法及激光束法的研究现状及最新进展,总结了各类工艺的技术难点与发展前景,并展望其在微机电、光集成方面应用前景。 相似文献