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透射电子显微镜高压系统的维修与维护张铁军(中国科学院北京电子显微镜开放实验室,北京100080)通常电子显微镜由下述几部分构成:高压系统、透镜系统、真空系统、记录系统和控制系统。其中高压系统因加速电压达十万到几十万伏特,极易放电,所以故障率高,特别是... 相似文献
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暗场电子全息是近年来出现的实验技术,是测量半导体器件中应变分布的有力手段。它将莫尔技术与离轴电子全息结合起来,具有空间分辨率高、视场范围大、精确度高、结果直观等优点。本文简要介绍了该技术的原理、实验方法和应用。 相似文献
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自1932年透射电子显微镜发明以来,透射电子显微学在基础理论、仪器研制及其在材料科学、生命科学等领域的应用得到了迅速发展,200kV场发射枪透射电子显微镜的点分辨率已达0.19~0.25nm,能量分辨率为0.7~1.0eV。进一步提高透射电子显微镜性能的关键在于降低物镜球差和电子束能量扩散等。球差校正器的发明使透射电镜的点分辨率已突破0.1nm,电子源色差已成为进一步提高电子显微镜信息分辨极限和电子能量损失谱能量分辨率的瓶颈。在场发射枪透射电子显微镜上增加单色器(能量过滤器)可有效降低电子束的能量色散,减小色差对电子显微镜性能的影响。本文介绍了Wien型、Ω型及Mandoline型等几种常见的能量过滤器的工作原理、结构、性能及其应用。 相似文献
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球栅阵列封装中SnPb焊点的应力应变分析 总被引:1,自引:0,他引:1
基于SnPb焊料的统一粘塑性Anand本构模型,运用ANSYS有限元软件分析了球栅阵列封装中复合SnPb焊点在热循环过程中的应力、应变的分布,观察到SnPb焊料的蠕变行为和应力松弛现象,结果证明:外侧焊点经受的应力、应变范围比内侧焊点大;焊点的最高应力区域出现在Sn60Pb40焊料的最外缘处,最高应变区域出现在Pb90Sn10焊料与UBM层接触面的最上缘处. 相似文献
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The microstructure of as-deposited Co thin films on silicon (001) substrate was characterized by TEM using wedge-shaped planar-view
samples. Selected area electron diffraction showed that the as deposited Co thin films were composed of Co (α) and that no
interfacial reaction took place between Co thin films and the Si substrate. The microstructure of Co thin films annealed at
250°C for 30 min was also investigated by using conventional planar-view samples. The analysis of selected area electron diffraction
indicates that Co thin films react entirely with the Si substrate, and a silicide layer forms at the Co/Si interface. Dark
field images clearly indicate that the interfacial layer consists of Co2Si in irregular stripes and CoSi as fine particles but no CoSi2 forms. 相似文献
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相变材料GeSbTe亚稳相中的局域结构长期以来一直是研究的热点,特别是亚稳相中Ge原子的分布对相变过程的进行具有重要作用.本文主要利用透射电子显微学,电子衍射技术和基于电子衍射技术的径向分布函数对不同时效温度时效过程中GeSb2Te4亚稳相的原子结构进行了深入研究.通过对径向分布函数的研究表明:250℃时效60min时GeSb2Te4亚稳相中几乎所有的Ge原子都位于四面体位置,局域形成类尖晶石结构;而时效温度为150℃、200℃下分别时效60min时发现没有或者几乎没有Ge原子位于四面体位置,时效后的结构以岩盐矿结构为主,部分晶化为六方结构. 相似文献
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重度污染天气下大气颗粒物PM_(1.0)物理化学特征的透射电子显微镜研究 总被引:1,自引:0,他引:1
大气颗粒物样品采自徐州市区2013年12月~2014年1月间重度污染天气。采样期间PM1.0主要由烟尘颗粒、复合酸冷凝颗粒、硫酸盐颗粒、矿物颗粒、金属及金属氧化物颗粒等组成。本文通过透射电子显微镜(TEM)及能谱仪(EDS)给出的大气颗粒物PM1.0高分辨结构信息、颗粒相尺寸及化学相尺寸信息、颗粒相中不同化学相嵌布特征信息等,对组成颗粒相的化学相连生关系进行了比较系统的分析研究。分析数据表明,大气颗粒物PM1.0的颗粒模态转变过程与颗粒物形成过程的相关性较强。异相凝结颗粒中化学相物质结构类型的判别是识别颗粒成因及形成过程的重要因素。 相似文献
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