大口径莫阿全息泰曼干涉仪

本文提出了用全息光栅作光束分束器的大口径莫阿全息泰曼干涉仪。文中采用莫阿技术消除仪器的综合误差,以莫阿条纹代替通常的双光束干涉条纹,降低了对仪器中各光学元件的精度要求,是一种高精度低成本的新颖干涉仪。     

基于相位压缩原理的一种新型微分干涉仪

本文提出一种先进的微分式光纤干涉仪,充分利用了马赫-曾特尔光纤干涉仪和萨格纳克光纤干涉仪的共同优点,采用相位压缩原理,解决了普通双光束干涉仪线性范围窄的问题,对光纤双折射以及温度、振动等外界环境的干扰,有较好的抑制作用。     

一种简单的大口径全息平面干涉仪

一、引言全息平面(或球面)干涉仪采用了全息干涉的一次曝光法或二次曝光法,相对于传统的平面(或球面)干涉仪,除少用光学元件外,更主要的是由于全息图具有位相误差补偿作用,大大降低了对仪器中主要光学元件的质量要求,从而使得研制大口径的平面(或球面)干涉仪成为现实。在国内也已有多人报道了这方面的研究成果。本文提出了一种结构十分简单的大口径平面干涉仪,除了激光光源部分外,仅用了一个用于大光束扩束的倒置望远系统和一个作为平面标准的平面反射镜。由于结构简单,所以调整方便,在一般的实验室或光学车间均能实现。     

一种新的简单的大口径全息平面干涉仪

本文提出一种结构相当简单的大口径全息平面干涉仪,文中详细介绍了干涉仪的工作原理,并给出了实验结果。这种干涉仪特别适合光学车间使用。     

可变载频径向剪切雅敏干涉仪

基于雅敏干涉装置,提出一种新的可变载频(条纹频率可调)的径向剪切干涉仪。该干涉仪主体由两块雅敏干涉平板、两对可旋转双光楔、两个可变比例的扩束镜组成;双光楔用于调节条纹周期,以获取最佳干涉图;两扩束镜的扩束比例可变,以调节最佳剪切量。两块平板加工误差一致,同时所有光楔来源于同一楔板,参数一致,两扩束镜的性能参数也完全相同,光路对称,严格等光程。提出的干涉仪可一次性完成非球面模具的测量;并根据被测面形情况进行条纹周期和剪切量的调节,获得了最佳条纹图。最后,对球面/非球面模具表面进行了测试。结果显示:通过调节双光楔和扩束比,此干涉仪可获得较好的条纹图,为多种非球面模具的进一步高效检测提供了新的思路。     

双频激光干涉仪的原理与应用（一）

双频激光干涉仪的原理与应用（一）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民编者按双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。被测信号载波在一个固定频差上、整个系统成为交流系统．大大提高了抗干扰能力，特别适合现场条件下使用。仪器与不...     

用于绝对距离干涉计量的3.39μm双波长红外拍波干涉仪的研究

本文在简要介绍绝对距离干涉计量逐级精化原理的基础上,详细阐述了3.39μm 波段双线He-Ne 激光两级合成波长组成方案,分析了3.39μm 双波长红外拍波干涉仪的工作原理,给出了系统布局和有关的实验结果。精度分析表明,3.39μm 双波长拍波干涉仪的拍波干涉条纹尾数测量精度优于1.6×10~(-3)。     

双频激光干涉仪的原理与应用（四）

双频激光干涉仪的原理与应用（四）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民三、双频激光干涉仪的派生应用双频激光干涉仪在机床检定中的应用是双频激光干涉仪的基本功能，无需对仪器作任何改动即可实现。双频激光干涉仪同时又是一种高精度的长度传感器，可以直接安装...     

数字式球面干涉仪的设计与功能

本文介绍在SPG-Ⅰ和SPG-Ⅱ型数字干涉仪的基础上最近又研制成功CQG-Ⅰ数字式车间球面干涉仪的情况。菲索型的球面共心干涉系统,用立式承座支撑样板与工件,可以快速在监视器上显示光圈数;也可以在微机上显示局部误差的PV值与Rms值,测量精度为λ/20。仪器口径为φ60mm,F数为10～0.74,仪器的标准镜头引用了非球面及仪器采用双工作台,从而,使仪器的质量及功能均有提高与扩大。     

激光测角干涉仪角位移信息传输特性及测量动态范围研究

本文讨论了激光角度测量干涉仪的角位移信息传输特性、导出其解析表达式并进行了计算机模拟计算。最后、文章研究了干涉仪的测量动态范围。     

‘Open-loop’ tracking interferometer for machine tool volumetric error measurement—Two-dimensional case

The tracking interferometer, or the laser tracker, is a laser interferometer with a steering mechanism to regulate the laser beam direction to follow a retroreflector (“target”). Applying the multilateration principle, it measures the target's three-dimensional position at an arbitrary location in the workspace. Its application to the volumetric accuracy measurement for coordinate measurement machines or machine tools has been long studied. In this paper, we propose the ‘open-loop’ tracking interferometer, where the laser beam is regulated toward the command target position. This eliminates the automated tracking mechanism and thus may significantly reduce the manufacturing cost of conventional tracking interferometers. The objective of this paper is to validate this ‘open-loop’ tracking interferometer concept by investigating its measurement uncertainty both experimentally and analytically. To simplify the problem, this paper focuses on the measurement of the target's two-dimensional position by using a single-axis ‘open-loop’ tracking interferometer prototype.     

光栅干涉仪的运动误差原理

本文应用衍射光栅干涉仪的半波相位差面原理模型,说明光栅摆动误差引起的干涉条纹变化情况,进而分析得出光栅干涉仪运动误差公式。可作为设计和应用此种干涉仪的依据之一。     

红外干涉仪调试和测量技术的研究

从干涉计量术方面对自行研制的移相式CO₂红外激光干涉仪进行了研究并提供了精确定位红外光路的调试技术,应用该干涉仪对红外光学元件及系统进行了测量;最后,对本干涉仪的系统误差作了测试和分析.结果表明,本仪器系统误差优于λ/20(λ=10.6μm).     

用全息透镜作分束器的莫尔全息球面干涉仪

本文提出一种用全息透镜作光束分束器,以莫尔条纹技术消除仪器综合误差的泰曼型全息球面干涉仪。     

基于微分干涉原理的全光纤水下侦听技术

针对水下安防这个特殊领域,介绍了一种基于微分干涉原理的全光纤水下声音传感系统。系统光路采用改进的Sagnac结构,利用宽光谱光源,实现了以相位压缩原理为基础的微分干涉,相较传统干涉结构,本系统基于干涉光束共光路的特性,只响应振动等动态变化的物理量,自动屏蔽温度起伏等静态、准静态干扰因素,使其在保持传统光学干涉类传感器高灵敏性的同时,又克服了传统干涉类传感器不稳定的缺点。该系统的水下部分仅由光纤及其无源器件组成,适应水下长期工作环境。实验验证了该方法可行、有效。     

基于MATLAB的球面干涉仪图像处理系统设计

采用泰曼-格林干涉原理设计研制了一种非接触在线球面干涉仪,该干涉仪中的CCD摄像头可产生分辨率比较高的干涉条纹图像。重点介绍了用MATLAB图像处理软件对该干涉条纹图像进行数字化处理的基本方法,通过对干涉条纹图像进行预处理、提取骨架,最后用Zernike多项式拟合出被检球面的波面函数,计算出PV和RMS。通过MATLAB编程实现了对该球面干涉仪检测信号的自动化处理。     

激光干涉仪测量失真正弦波形位移误差估计式

本文在分析介绍了激光干涉仪测量位移原理的基础上,指出了标准振动台稳态正弦绝对校准法中,激光干涉仪测量的只是工作台面运动的路程而非矢量位移,因此对于测量含有谐波失真的正弦波形将引入测量原理性误差。文中利用波形加速度失真度系数详细推导并给出了谐波失真所引入的测量误差的估计式,对准确评价传感器校准精度具有重要意义,同样也有助于我们对激光干涉仪测量精度的认识。     

线性调频半导体激光定位的研究

本文提出了一种新的半导体激光定位技术,它利用半导体激光器的线性调频特性来实现干涉零点的动态定位。突破了传统白光定位的局限,简化了干涉仪设计,并实现了大范围内的零点捕捉,是一种实用的干涉定位技术。     

光栅大错位数字散斑干涉仪

本文介绍了一种新的散斑干涉仪,该仪器利用光栅作为错位元件,具有光路简单,结构紧凑,波像差小,防震要求低等特点,文中对仪器进行了详细的原理分析与介绍,并利用其测量典型试件受均布载荷下的离面位移场,进行理论值与实验结果比较,证明该仪器测量位移时具有高的精度,同时该仪器还可应用于构件的无损探伤。     

采用列阵探测器的傅氏光谱仪干涉系统评述

分析了列阵器件探测的傅氏光谱仪干涉系统的基本要求，分析了几种已被采用的干涉系统的特点，介绍了两种提高分辨力的方法，指出了几个应注意的问题，为合理地选用各种干涉系统提供了依据。