管式PECVD设备的温控系统调节对镀膜均匀性的影响分析

以管式PECVD设备的温控系统调节对镀膜均匀性的影响为研究对象,通过实验研究的方法,分别研究了温控系统调节中温区的温度设置、加热时间设置、整体温度设置,以及舟片间距设置对管式PECVD设备镀膜均匀性的影响.研究结果表明:将炉口到炉尾的温度设置为依次降低的趋势,或增加加热时间,或整体温度降低都可以缩小内、外舟片的温度差异...     

管式PECVD设备腔内大容量石墨舟力学性能的数值分析

提高等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法制备的氮化硅薄膜品质在太阳电池光电转换效率领域有举足轻重的作用。承载大量硅片的石墨舟是管式PECVD设备中的关键核心部件,随着生产效率的不断提升,热力耦合环境下腔内大容量石墨舟力学性能的稳定性引人关注。通过CAD软件建立石墨舟有限元模型并使用ANSYS仿真软件进行热力学仿真研究,综合分析其在高温条件下受力、受热后的变形情况。研究结果显示：结构自重是石墨舟形变及应力集中产生的主要因素,温度产生的影响并不明显;采用结构增强设计可有效提升石墨舟整体的力学性能。     

基于大产能的管式PECVD设备推舟机构的结构优化与仿真研究

对管式PECVD设备推舟机构的现有结构进行优化设计,利用ANSYS软件对优化后的结构进行仿真分析,从而获取大产能条件下各组成部件形变最小时的推舟机构结构.首先,对固定座组件结构进行优化;然后,在固定座组件优化后的基础上,对碳化硅杆结构进行优化;最后,在采用优化后的固定座组件及碳化硅杆结构基础上,通过对光轴直径、碳化硅杆...     

有机热载体加热系统中膨胀管管径确定方法的探讨

针对目前有机热载体加热系统中膨胀管管径无成熟计算公式的情况,根据膨胀管实际工作状况,对膨胀管管径的确定方法进行了探讨,提出了膨胀管管径计算方法。以该方法计算结果确定的膨胀管管径可较好满足系统运行对安全性和经济性的要求。     

板式PECVD设备维护后初期的生产品质提升方案

以板式PECVD设备维护后的初期在多晶硅片表面镀的氮化硅薄膜为研究对象,分析了其膜厚、折射率、腐蚀速率等数据,以及此种镀膜情况下制备的多晶硅太阳电池的电性能.结果表明:在设备维护后初期(约1 h)镀制的氮化硅薄膜,随着时间的推移,氮化硅薄膜的膜厚不断下降,折射率随之上升,二者分别从第48 min和第56 min开始趋于...     

预热型管式PECVD设备结构及其对镀膜性能影响的研究

研究了预热型管式PECVD设备的结构及其对镀膜性能的影响.通过合理利用管式PECVD设备的净化台空间,对常规型管式PECVD设备的整体结构进行了优化设计,增加了具有预热功能的结构部件;然后通过实验研究了该预热型管式PECVD设备对沉积氮化硅薄膜工艺的影响.实验结果表明:预热型管式PECVD设备不仅能减少镀膜工艺的时长,...     

管式PECVD设备反应室结构的优化设计与数值仿真研究

根据管式PECVD设备反应室的环形进气方式和平面进气方式建立了几何模型,并进行了三维流场数值仿真分析,然后根据仿真结果对反应室结构进行了优化设计。数值仿真对PECVD设备反应室结构的优化设计及工艺调试具有重要的指导意义。     

载体加热设备的防火防爆

在石油化工、纺织印染、轻工、建材等工业领域普遍使用载体加热方式,但载体加热的操作过程中潜在较大的火灾爆炸危险性。根据工艺及设备特点,分析了其生产过程中存在的危险因素和条件,总结了火灾爆炸事故的预防措施与技术,为载体加热设备的安全操作和管理提供参考。     

提升管管径对有机工质气泡泵性能的影响分析

基于气液两相漂移流理论,对以TFE（三氟乙醇）/E181（四甘醇二甲醚）溶液为工质的扩散吸收式制冷系统气泡泵建立数学模型,通过MATLAB编程,在不同的浸没比和加热功率下,分析了提升管管径对TFE/E181气泡泵性能的影响规律。结果表明,TFE/E181气泡泵的性能随提升管管径的变化与浸没比和加热功率密切相关;在浸没比介于0.2 ~ 0.7,加热功率介于200 ~ 1 200 W的范围内,存在一个最佳的提升管管径使得气泡泵的溶液提升量与效率最大,且提升管最佳管径随着浸没比和加热功率的增大而增大,直至趋于弹状流最大许用直径;此外,当提升管管径一定的情况下,TFE/E181气泡泵的溶液提升量与效率随浸没比的增大而增大,而随加热功率的变化则与提升管管径的大小有关。     

微波板式PECVD设备多晶硅片表面镀膜均匀性影响因素的研究

由于多晶硅片表面在不同晶粒之间的晶格取向、绒面特性,反射率等方面都存在较大差别,因此在多晶硅片表面制备的SiNx膜的均匀性较差。研究微波板式PECVD设备相关配件对其在多晶硅片表面镀膜时膜层均匀性的影响。结果显示,石英管、耐高温胶带厂家的差异,气路的气孔个数差异,加热板、导波器的完好程度差异均会对微波板式PECVD设备在多晶硅片表面镀膜时的均匀性产生较大影响。     

管式PECVD法沉积的SiyNx/SiOxNy叠层膜的研究

本文对采用管式等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法沉积的氮化硅与氮氧化硅(Si_yN_x/SiO_xN_y)叠层膜进行了实验研究,结果表明:在硅片正面镀膜时增加SiO_xN_y膜层,既可以增强正面的钝化效果,还可以降低对光的反射率,增加光吸收率,从而提升太阳电池的短波响应能力,通过对膜层组分和反应气体流量等工艺参数进行匹配优化,使太阳电池的光电转换效率提升了0.07%;利用Si_yN_x/SiO_xN_y叠层膜抗氧化、抗钠离子的特性,使太阳电池的抗电势诱导衰减(PID)性能提升了22%。     

大管径管带机在华能威海电厂三期煤场的应用

归纳了管状带式输送机的结构特点，分析了大管径管带机在华能威海电厂的应用情况，通过路径优化解决了电厂工程码头来煤到三期煤场在走向路径上没有场地设置转运站的问题。     

生物质制燃油用热载体加热设备的研究

通过整合直接加热技术与间接加热技术,研制一种高速高效的加热设备,为使用固体热载体低成本、大规模生产生物燃油提供设备及技术支持.     

一种有温度梯度的感应加热设备

在铝型材挤压生产线上,使用感应加热的方式进行铝合金管棒坯料挤压前的加热具有加热快、生产环境好及控制方便等优势,若想实现等温挤压,则需要坯料有温度梯度,使用新式的感应加热设备就可以实现。通过研发设计,将感应器线圈分成两段分别供电,分别调整功率,可准确控制产生的温度梯度,提高挤压型材的品质。本产品已获国家知识产权局专利授权（专利号ZL200920033649．8）。     

回热式等温加热修正Brayton循环的功率与效率特性!

根据有限时间热力学理论,分析了变温热源条件下不可逆回热式等温加热修正Brayton循环的功率、效率的全局特性和最优特性。研究发现,计入外部传热不可逆性后,分别存在最佳的循环压比使得循环无因次输出功率和效率取得最大值,而且,一般来说,前一最佳压比更大;回热对循环的输出功率影响极小,对循环效率的提高也只在较低压比时起作用;为提高循环的输出功率和效率,常规燃烧室(RCC)有效度、RCC中热源的入口温度和热容率应取较小的值,而收敛型燃烧室(CCC)有效度、CCC中热源的入口温度和热容率应取较大的值。详细讨论了循环热力参数对最大无因次输出功率及其对应的最佳压比和效率、最大效率及其对应的最佳压比和无因次输出功率的影响,指出了已有文献的错误。研究结果对燃气轮机装置的评估和最优设计具有一定的指导意义。     

不同加热功率下充液率对无芯环路热管性能的影响

设计了以铝为管材、丙酮为传热工质的无芯环路热管。其蒸发段采用加热带加热,冷凝段用风冷降温。热管依靠蒸发压头使工质循环,并依靠重力作用,使冷凝液回流到蒸发段。搭建试验台并研究了不同加热功率下充液率对无芯环路热管的传热温差、传热量、热效率、热阻和当量导热系数的影响。结果表明:加热功率为150.00 W、充液率为30%时,无芯环路热管的均温性最好;传热温差和热阻均最小,分别为6.75℃、0.045 K/W。传热量132.00 W、热效率0.88、当量导热系数168 125 W/(m·K),均达到最大值。所以,该无芯环路热管在本实验研究范围内的最佳工作条件为加热功率150.00 W、充液率30%。     

基于云计算的变电站二次设备状态评估方法

随着经济的发展与社会的进步,智能电网发展迅速,进而需要对智能变电站进行大量投资。变电站二次设备监控中收集的数据增长非常快,对于大数据需求变得越来越明显。尽管现有的平台或框架是为电力设备监控中的大数据处理而设计的,但它们都是基于Hadoop的,仅适用于离线数据分析。为了满足变电站二次设备监控中大数据分析的多样化实时需求,本文设计了一种基于主流开源技术的混合云计算平台。根据监测数据的特点和消费者的实时需求水平,数据可以在适当的资源限制内由适当的计算框架处理。为了对云计算平台的有效性提供更多见解,对不同场景进行初步案例研究,具有一定的参考性。     

DF8B型机车微机励磁时功率异常的处理方法

对DF8B型机车微机励磁时功率异常的原因进行了分析,从微机系统方面介绍了自负荷状态下机车功率异常的处理方法。     

基于大数据的告警信息处理和故障设备定位技术研究

电网故障发生后,巡维中心主站可以从电网运行控制中心的各主站系统收集到关于故障事件的大量告警和状态信息,这往往给运行人员造成很大的工作压力,也难以保证对事故告警判断和处理的正确性。提出的巡维中心驾驶舱(运行管理系统)的告警信息处理和故障设备定位功能将各主站信息收集至巡维中心一体化信息平台实时库后,采用大数据存储和数据挖掘技术,对故障的特征以及与设备的关联关系实现提取,结合周边变电站信息,对告警变电站的运行状态进行在线实时分析和推理,采用决策树技术定位发生故障或出现危险情况的具体设备和故障原因,协助运行人员及时地分析和处理事故。     

考虑断面耦合控制的特高压复杂大电网最大供电能力优化方法

最大供电能力计算是特高压复杂大电网优化运行的重要问题,随着高比例可再生能源大量接入电网,电力电量平衡问题愈发突出。计及考虑稳定旋备约束、耦合断面约束、机组调节能力约束后,最大供电能力计算问题呈现高维特征,难以对其建模及求解。对此,首先根据传输断面限制和特高压复杂大电网分区运行的特点,搭建了考虑断面耦合控制的特高压复杂大电网最大供电能力优化调度模型,然后分别应用单纯形法(SM)、内点法(IP)、模拟退化算法(SA)、白鲸优化算法(BWO)和蜂群算法(ABC)求解模型,计算大电网在日内未来15 min最大供电能力,并提出各类型电源和备用的协调优化方案。最后以某省网为例进行模型及求解方法验证。仿真结果显示,因为电力系统规模庞大和断面间耦合关系复杂,启发式智能优化算法存在运行时间较长、收敛速度较慢、搜索精度不高的问题,而内点法收敛迅速、鲁棒性强、对初值的选择不敏感,具有更好的稳定性和计算效率,可为复杂特高压电网电力保供和电力平衡提供有效实用支撑。