石英晶片镀膜频率监控技术研究

石英晶片镀膜是石英晶体谐振器生产中的重要工序之一,通过控制镀膜厚度使石英晶片谐振频率达到目标值.传统的镀膜采用时间控制方法,膜层厚度取决于镀源材料蒸发速率和镀膜时间,用该方法石英晶片谐振频率的控制精度较低.为提高石英晶片的镀膜精度,提出了基于晶体微量天平原理的晶片镀膜过程频率监控方案.重点探讨了镀膜过程中石英晶片和标晶谐振频率变化与镀膜厚度之问的关系,并通过实验给出石英晶片和标晶表面膜层沉积质量的比率关系.设计了监控晶片谐振频率的振荡器电路.实验证明,将研究的石英晶片镀膜监控技术应用于生产实际,可以显著提高镀膜后的石英晶片谐振频率的控制精度,具有较高的实际应用价值.     

光学镀膜仪的监控稳定性研究

光学镀膜仪的膜厚监控稳定性影响着镀膜的合格率，并且对镀膜经验控制，膜系修正和自动化系统开发有重要的意义。对真空镀膜仪进行4种薄膜系列的膜厚监控实验，建立一套稳定性评价体系，获取镀膜仪的稳定性指标。将修正的方差分析方法、不确定度分析方法、标准偏差与相对偏差方法和线性回归方法等综合起来，用6项指标从各个方面对光学薄膜厚度监控的稳定性做出评判，甚至对膜厚控制精度和特征波长做出分析。实验结果表明：上述的综合评价体系是合理的；多层膜比单层膜的监控稳定性稍差一些，膜层材料对稳定性的影响比较大，膜厚控制精度的标准偏差≤0．45％；薄膜层数对膜厚控制精度没有明显的影响，甚至多层膜比少层膜的控制精度要高，出现了“中心层”效应；用线性回归方法可以估计实际镀膜的特征波长长移量。     

HT-7中性束注入装置真空监控系统的设计

超导托卡马克装置HT-7中性束注入系统运行期间,实验环境中存在强磁场而要求封闭,因而对系统运行状况只能进行远距离监控,真空实时远程监控系统是整个监控系统的重要组成部分.本文介绍了真空实时远程监控系统的设计要求,讨论了该系统的硬件设计、软件设计及其工作原理,给出了部分实验结果.     

吸收膜层的光电极值法监控研究

膜层厚度的精确控制是提高光学薄膜性能的关键技术.利用膜系的特征矩阵分析了吸收膜层消光系数对监控的影响,并给出了实例分析.给出了确定吸收膜层监控波长和监控次数的方法.最后通过镀制实验,表明考虑膜层消光系数的影响后,即使采用有较大吸收的监控光进行监控,所镀膜层也有较高的监控精度.实测膜系光谱性能良好.     

高温超导电缆低温系统数据实时监控

介绍自行研制的高温超导电缆低温系统的实时监控系统.该系统包括温度测量、压力测量、流量测量、液位测量4部分.该系统基于计算机和MCGS组态软件,具有操作简便、运行可靠、采集高效精确等优点,并通过与高温超导电缆的通电实验.结果表明,这套数据实时监控系统能满足高温超导电缆低温系统的各项参数的测量要求.该监控系统的成功研制,为类似的超导低温工程项目中数据的采集和控制提供了参考.     

基于LoRa技术的无线温度监控系统设计

文章以高温气体绝压压力溯源装置为测试背景,设计了一套高精度、低功耗的无线温度监控系统.该系统采用PT100温度传感器采集温度数据,利用LoRa技术进行数据的无线传输,并利用图形化编程语言Labview设计编写了监控软件,实现了温度的实时监控和记录功能.经过多次的实验,验证了该系统的准确性、低功耗性和便捷性.     

宽光谱监控法镀制高精度增透膜的研究

本文介绍了使用宽光谱监控系统镀制增透膜的基本原理和技术特点.给出了针对不同的膜层特性计算评价函数的方法,分别为能量法和特征点法,能量法适合膜层的光学特性对每一个波长点的权重要求都是一样的,特征点法适合于只对膜层光学特性的某几个特定波长的要求较高,并根据膜料光学参数的特性,分别设置权重因子,其它波长忽略不计.用工艺曲线代替理论设计曲线作为目标曲线,解决实际镀制的光谱特性与理论值存在偏差的问题,使评价函数的极小值趋近于零,达到最佳膜厚.这种简单而准确的方法对于提高宽带增透膜镀制精度和成品率有显著的效果,具有实际的应用价值.     

石英晶体监控法镀制高精度光学薄膜

讨论了石英晶体监控法在光学薄膜镀制过程中的应用原理。通过与常规的光学监控法镀制的膜层相比较．证实了石英晶体监控法有助于提高光学薄膜的光学品质。试验表明所镀膜层的光学性能优异，在光通信和激光器等领域具有广阔的应用前景。     

低辐射卷绕镀膜工艺在线透过率监控技术

介绍了卷绕镀膜生产线中镀膜工艺的透过率在线监控仪原理与实现方法,同时描述了透过率监控仪在低辐射卷绕镀膜中的应用.     

隧道机器人监控装置新技术的开发

本文对隧道机器人监控装置无线传输系统进行了研究.重点阐述了系统的结构原理和关键技术.采用本系统可以实时监控隧道机器人工作状况,该系统具有良好的稳定性和可靠性,可满足远距离监控的需要.