电荷耦合器件

一、引言 电荷耦合器件简称 CCD。首次发表于1970年3月,发明人是美国贝尔电话实验室的 W.S.Boyle 和 G.E.Smith。CCD 的出现是70年代电子学的一项重大进展,其工作原理和概念完全不同于过去建立在电压和电流调制理论上的所有有源器件。因此,有人认为它是电子学的第五代,即属于“分子电子学”领域的功能器件。正因为如此,它一出现就引起世界各主要国家电子科学界的普遍重视,短短几年内 CCD 便从实验室阶段进入了定型生产,并在具体应用中得到了突飞猛进的发展。用途主要有三个方面:成象、存储、模拟信号处理。由于     

科学电荷耦合器件

1历史、操作、性能、设计、制造和理论 1.1科学电荷耦合器件的历史 1.2操作与性能 1.2.1操作 1.2.2性能函数 1.2.3性能规范 1.3结构、设计、光刻与制造 1.3.1结构 1.3.2设计与光刻 1.3.3加工与制造     

电荷耦合摄像器件

本文列举了当前国内外常见的几种CCD摄像器件,并对其结构,性能的优缺点进行了比较。叙述了改进CCD摄像器件性能的工艺和器件像素数的突出水平。介绍了CCD彩色摄像管的几种结构。     

硅电荷耦合器件

一、引言在红外成像系统中,利用CCD的时间延迟积分(TDI)工作模式处理探测信号,可获得较高的信噪比和降低系统对探测器阵列均匀性的要求。TDI模式的简单原理如图1所示。相应视场中一点对探测器阵列作串联扫描,经延迟积分,对于几个探测器可得到     

红外电荷耦合器件

电荷耦合的概念简单而又极其实用,是以电荷包在金属-氧化物-半导体(MOS)结构中的转移为基础的。将简单的电荷耦合器件(CCD)与各种模拟形式结合起来,可以发展成多样化的器件,在红外探测和成象方面,采用电荷耦合器件及其有关的器件,最初引入大面积的探测器阵列是显著改进灵敏度和分辨率的关键。此外,通过这种改进,可以降低电、热损耗,减小体积和重量等。本文评述红外敏感的电荷耦合器件(即IRCCD)的物理特性及工作原理。IRCCD可分为单片器件和混合器件两大类。单片器件的红外敏感衬底可以是窄带半导体,也可以是有适宜杂质电离能级的非本征半导体;混合器件则由选取的各种红外探测器耦合硅标准CCD而     

体陷阱对于体沟电荷耦合器件性能的影响

为了避免表面沟道电荷耦合器件中信号电荷与界面态的互作用造成的转移损失的限制,列入了一种体沟电荷耦合器件(BCCD’s)。它最初的名字叫做埋沟电荷耦合器件。运用一种循环本底电荷可以尽量减少这些限制,实际上通过测试已经获得了非常低的界面态密度(1×10~6cm~2·eV)。界面态也会引起与本底电荷无关的转移噪声。在本文里我们将会看到BCCD’s也会受到类似的影响,只是这些影响一般地讲要小些罢了。这些影响起因于信号电荷与体态的互作用。BCCD也曾被称之为蠕动电荷耦合器件,用它来扩大电极下面的边缘场而获得很高的工作频率。     

载流子扩散对电荷耦合器件调制传递函数的影响

以表面沟道前射电荷耦合器件(CCD)为例,从理论上讨论了CCD内载流子扩散的机制,提出了利用光积分周期内收集的总信号电荷密度求CCD调制传递函数的方法,并获得了耗尽宽度随信号电荷密度改变时的CCD调制传递函数曲线,讨论了载流子扩散对传递函数的影响.利用已有的传递函数测量仪进行实验,数值模拟结果与实验结果基本吻合.     

载流子扩散对电荷耦合器件调制传递函数的影响

以表面沟道前射电荷耦合器件(CCD)为例,从理论上讨论了CCD内载流子扩散的机制,提出了利用光积分周期内收集的总信号电荷密度求CCD调制传递函数的方法,并获得了耗尽宽度随信号电荷密度改变时的CCD调制传递函数曲线,讨论了载流子扩散对传递函数的影响.利用已有的传递函数测量仪进行实验,数值模拟结果与实验结果基本吻合.     

电荷耦合器件发展动向

电荷耦合器件(CCD)由于具有制作简便、结构尺寸小、运用领域广等特点,自1970年4月贝尔实验室提出以来受到普遍重视。美国和日本的主要厂家都进行了研制。美国五角大楼为了把这一技术用于军事上,指定美国海军电子系统指挥部以低亮度电视用的全固体化图象传感器为目标,作为三军电荷转移技术的管理者和研究中心。美国国家航空和宇宙航行局的兰利研究中心也正在资助电荷转移技术的基础研究。目前国外在深入进行理论分析,搞清电荷耦合器件机理的同时,对提高工艺水平,     

红外电荷耦合器件系统

一、引言热成象系统采用电荷耦合器件(CCD)后,预计可部分或全部地在以下方面得到改进: 1.采用集成电路工艺而降低了成本。 2.由于简化或完全不使用机械扫描、所用分立电子元件较少和探测器的封装得到简化,因而减小了体积和重量。     

HgCdTe电荷耦合器件工艺

首次论证了禁带可变合金Hg_1-∞Cd_∞Te电荷耦合器件的作用。用0.25eV的n型材料制作了16位移位寄存器,其电荷转移效率为0.9995。描述了这些器件的工作方式,把它们的性能与简单的CCD理论用于这种窄禁带红外敏感材料所得到的结果进行了比较。文中所列有关单台面MIS器件的资料,证明我们对器件的分析是正确的,显示了这种工艺在未来的焦平面应用方面的潜力。     

电荷耦合器件与系统

据报导,该书发展了器件物理与电路集成的概念。全书分为五章,内容包括电荷耦合器件的物理原理、工艺问题以及在电子工程方面的应用。第一章涉及这些器件的电荷     

电荷耦合器件及其应用

电荷耦合器件(CCD’S)代表着硅集成电路的一个新概念。本文评述CCD’S的基本运用,其中包括工作极限,制造方法以及实验结果。还讨论了CCD’S的各种可能的应用。     

电荷耦合器件的单板机驱动

电荷耦合器件(COD)是70年代初出现的一种新型的高集成度(每平方英寸20万个元件)的MOS器件。它具有工作电压低、功耗小、光敏元几何尺寸严格、间距小、抗电磁干扰能力强、噪声低、灵敏度高、工作可靠、寿命长等优点。经过十几年的研究,特别是随着制造工艺水平的提高,CCD已经进入了实际应用阶段。现在已用于包括传真在内的光学文字识别及要求高分辨率、高灵敏度的摄像领域中,如非接触测量、遥感、遥测等。在高温炽热钢件宽度、厚度测量,人工不能测量的微小尺寸的测量等方面都表现出了高分辨率、高准确度和可靠性好等突出特点。     

电荷耦合器件的调制传递函数

提出了一种计算电荷耦合器件(CCD)的调制传递函数的方法。分析中既考虑了 CCD 器件的时间和空间变化特性,也考虑了在扫描期间输入图象以恒定速度运动的情况。用导出的模型说明了 CCD 成象系统的静态 MTF 和动态 MTF。     

背照式电荷耦合器件的研制

简要介绍了背照电荷耦合器件的工作原理、潜在优势和应用领域.设计了对常规电荷耦合器件芯片进行衬底减薄进而实现背照电荷耦合器件的技术方案.给出了相关的设计方法和工艺流程并对关键工艺技术进行了探讨.对所制成的背照电荷耦合器件组件的性能进行了分析和讨论.结果表明所提出并采用的技术方案是可行的.     

电荷耦合器件及人工眼

CCD(电荷耦合器件),是一种集成半导体器件。排列成线形的叫线阵——多的一排可有5096个元件,也可排列成方阵——多的有640×475个元件。前者可以作光谱记录及分析仪器,测量宽度、长度及位移的传感器,线存储移位寄存器,扫描延迟器,高速 A/D 转换器等。后者可制成尺寸极为微小的摄像机,面存贮及扫描器等,它的用途已愈来愈广。一、人工眼的由来本文重点介绍 CCD 作为摄像器件及模拟人工眼的前景。人工眼是人类多年来设想的一种最重要的仿生感觉器官,但由于下面的原因而一直未能成为现实:1.人工的摄像系统体积重量太庞大,不能同人眼相比拟;2.人工眼需要容量非常大的计算机系统,不能制     

TDI模式硅电荷耦合器件

本文介绍一种时间延迟和积分(TDI)模式硅电荷耦合器件(SiCOD)。该器件与10元InSb线列互连获得成功。它的功能得到了证实。输出的视频信号表明,器件具有良好的均匀性。红外电荷耦合器件因其本身具有的种种特性,越来越广泛地在成像领域中得到应用。目前,一些初具规模的产品已在一些技术比较无进的国家出现。     

电容耦合式两相电荷耦合器件

本文提出了一种新颖的电容耦合式两相电荷耦合器件。介绍了利用处于电浮置的耦合电容分压而获得非对称势阱的理论计算方法和结果。利用电容耦合原理制成了一个64位表面N沟道两相CCD图象传感器,该器件在0.8M_(HZ)频率下工作时,转移效率可达99.96％,电荷处理能力高于3×10~(11)个电子/cm~2。实际测量的电容分压与理论计算相符。对实验结果进行了讨论。