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相似文献
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1.
采用N^+离子注入的方法,对气-固化学 反应生成的CuxS薄膜进行了掺杂,研究了N^+离子注入能量和剂量对CuxS薄膜组分的影响。结果表明,离子注入改变了CuxS薄膜铜与硫的比例,使薄膜组分更接近于富铜型,样品的X射线衍射图谱和透射光谱研究进上步证实了这种结构转变的存在。  相似文献   

2.
Co/Si/Ti/Si(100)多层薄膜固相反应异质外延生长CoSi_2薄膜   总被引:2,自引:2,他引:0  
本文研究Si中间淀积层对CoSi2/Si(100)固相异质外延的影响.用离子束溅射方法在Si(100)衬底上制备了Co/Si/Ti/Si多层薄膜结构,通过快速热退火使多层薄膜发生固相反应.实验表明,利用Co/Si/Ti/Si固相反应得到的CoSi2薄膜具有良好的外延特性,薄膜也具有良好的电学特性和热稳定性.实验发现在较低温度退火时,生成Co2Ti4O之类化合物,作为扩散阻挡层有利于CoSi2薄膜的外延.在多层薄膜结构中加入Si非晶层,既能减少衬底Si消耗量,又能保持CoSi2良好外延特性  相似文献   

3.
在Si(100)衬底上用离子束溅射方法淀积Ni,Co,Ti薄膜,形成Co/Ni/Si,Ni/Co/Si和Co/Ni/Si等结构,通过氮气中快速热退火反应生成三元硅化物(CoxNi1-x)Si2。用AES,XRD,RBS沟道谱,SEM及四探针等方法(CoxNi1-x)Si2薄膜的物理特性和电学特性进行了测试,在Si衬底上Co,Ni多层膜经快速热退火可形成高电导的(CoxNi1-x)Si2薄膜,其电阻  相似文献   

4.
采用ArF准分子脉冲激光沉积方法(PLD),以六方氮化硼(h-BN)作靶在Si(100)衬底上制备氮化硼薄膜。XRD及FTIR透射谱测量表明生成的氮化硼薄膜是含有少量六方氮化硼结构的立方氮化硼(C-BN).AES测量表明不同条件下生成的薄膜中N与B的相对含量是不同的,最大比例近乎为1:1,薄膜的维氏显微硬度HV最大值为1580kg/mm2。  相似文献   

5.
SnO2/Si的光伏特性   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用CVD方法在硅单晶上制备SnO2薄膜,对不同硅衬底及在不同温度下淀积SnO2制得SnO2/Si进行光电压谱的测量,得出最佳的制备温度;采用类金属半导体接触模型,推导出有关计算公式,计算得出其介面复合速度和异质结势垒宽度等参数。  相似文献   

6.
剑桥大学开发薄膜碳晶体管技术据SemicondInt’l1996年第6期报道,英国剑桥大学已与文莱的一个研究小组合作开发薄膜碳晶体管工艺技术。该技术将实现在塑料衬底上直接淀积半导体材料。用塑料衬底作液晶显示(LCD)面板很具吸引力,但硅所需的工艺温度...  相似文献   

7.
本文讨论了金刚石薄膜应用于光学领域所遇到的问题,研究了热丝CVD(HFCVD)方法生长应用于光学膜的金刚石薄膜过程中,衬底表面的预处理和沉积条件如碳源浓度、衬底温度等对制备腹晶粒尺度和晶粒间界以及膜表面形貌的影响.  相似文献   

8.
在PECVD法低温制备优质薄膜技术中,改变衬底温度、反应室气压、混合气体组分,运用退火致密工艺,制备SiOxNy栅介质膜样品。采用椭偏仪测量该薄膜的折射率和膜厚,结合俄歇电子能谱(AES)和红外吸收光谱分析,研究薄膜的光学特性和微观组分结构。并探讨多种工艺制备条件对薄膜微观结构的影响  相似文献   

9.
在Si(100)衬底上用离子束溅射方法淀积Ni,Co,Ti薄膜,形成Co/Ni/Si,Ni/Co/Si和Co/Ni/Si等结构,通过氮气中快速热退火反应生成三元硅化物(CoxNil-x)Si2。用AES,XRD,RBS沟道谱,SEM及四探针等方法对(CoxNil-x)Si2薄膜的物理特性和电学特性进行了测试,在Si衬底上Co,Ni多层膜经快速热退火可形成高电导的(CoxNil-x)Si2薄膜,其电阻率在15~20μΩ·cm之间。Co/Ni/Ti/Si(100)多层结构固相反应可以得到外延(CoxNil-x)Si2薄膜。(CoxNil-x)Si2的晶格为CaF2立方结构,晶格常数介于CoSi2和NiSi2之间。通过热处理和选择腐蚀等工艺,可在有CMOS图形的衬底上形成自对准的三元硅化物源漏接触和栅极互连图形。  相似文献   

10.
研究采用Co/Ti/Si三元固相反应的方法生长外延CoSi2薄膜.通过选择适当的热处理条件,采用多步退火,在Si(100)和Si(111)衬底上均成功获得外延CoSi2薄膜.实验用XRD、TEM、RBS/channeling等测试技术分析CoSi2薄膜外延特性,得到的CoSi2薄膜的RBS/chnneling最低产额Xmin达到10-14%.实验对CoSi2/Si(111)样品,分别沿Si衬底的<110>和<114>晶向进行背散射沟道测量.结果发现,沿Si<110>晶向得到的CoSi2背散射沟道产额显著高  相似文献   

11.
近红外光谱技术在水果品质无损检测中应用的研究与现状   总被引:6,自引:0,他引:6  
付兴虎付广伟  毕卫红 《红外》2006,27(2):33-37,48
简单概述了我国水果产业的发展现状,着重阐述了国内外利用近红外光谱技术进行水果品质无损检测的最新研究进展,分析了当今研究中存在的问题,并对利用近红外光谱技术进行水果检测的前景进行了展望,提出了一些建议。  相似文献   

12.
“计算机组成原理”设计性实践教学模式研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文阐述了"计算机组成原理"设计性实验教学的重要性,对设计性实验教学的目的和基本特征进行了归纳,对"计算机组成原理"设计性实验教学的现状进行了调查,对存在的问题进行了较深入的分析;在此基础上.对组成原理设计性实验的教学模式进行了研究,对设计性实验的体系进行了初步设计,并对"计算机组成原理"设计性实验的实施方法进行了探讨.  相似文献   

13.
基于星载差分吸收光谱仪转动部件控制需求,设计了星载光谱仪转动部件的测试系统。采用微动开关复位加定步的电机运动方式实现电机的精确定位。采用脉冲调制(PWM)的方式实现驱动电流的精细调节。并搭建平台对系统进行重复性测试,实验结果表明,测试系统具有较高的可靠性和稳定性,能够满足光谱仪的精确定位要求,使电机在工作寿命内按计划完成定标工作。  相似文献   

14.
刘启能 《激光技术》2008,32(3):327-327
为了研究杂质的吸收对光子晶体滤波器设计的影响,引入复折射率并利用特征矩阵法,计算了滤波透射峰的峰值和半峰全宽。滤波透射峰的峰值随杂质的消光系数增加而迅速减小,滤波通道透射峰的半峰全宽随消光系数增加而增大,滤波透射峰的峰值和半峰全宽都随吸收杂质的光学厚度的增加而减小。结果表明,设计光子晶体滤波器时,必须考虑杂质吸收这一重要因素,应选择消光系数小于0.002的掺杂材料,并且杂质的光学厚度应设计在2(λ0/4)左右。  相似文献   

15.
近年来,在线学习掀起了一场席卷全球的教育革命,MOOC/SPOC、翻转课堂、混合式教学对高等教育带来了前所未有的冲击。电子技术基础实验课程地位特殊,传统教学方式已无法满足创新性人才培养的需要,文章从其教学特点出发,提出了“线上教学+自主实验+翻转课堂”的混合式教学模式,同时还阐述了与此密切相关的集约化线上教学资源平台、智能化翻转教学环境以及多元化过程性考核评价机制三个重要环节。经研究发现,学生的课堂主动参与度、自主学习能力、创新思维能力、动手实践能力以及教师的教学创造力得到全面提升。教学环境支持课堂互动和全周期教学行为数据采集,体现了教学过程的信息化、教学实施的精准化和教学评价的客观化,实现了信息技术与实验教学的深度融合。  相似文献   

16.
利用电磁脉冲的口径瞬态辐射场计算公式,针对圆形口径的线性相移、平方律相移等非同相口径场情况,计算了辐射高斯脉冲时的能量方向图、半能量波瓣宽度、面积利用系数等参数.计算表明,对于圆形口径非同相口径场,最大辐射场的方向为口径面法线方向,同时能量方向图关于口径面法线方向对称;随着口径的增大,波瓣变窄,无副瓣;随着平方律相移的滞后参数的增加,波瓣变宽,主瓣不分裂.  相似文献   

17.
Sn-Zn-Ag系无铅钎料焊接性能研究   总被引:8,自引:1,他引:7  
讨论了电子软钎料的钎焊性能及其影响因素,并采用铺张面积法对Sn-Zn-Ag系钎料钎焊性能进行评估。钎料的钎焊性能很大程度上取决于钎料对基板的润湿性能,而润湿性能与液态钎料在基板上的液、固、气三相界面的界面张力有关。对润湿角(θ)与铺展面积(S)之间的关系进行了探讨。  相似文献   

18.
本文在讨论机载雷达地面杂波回波的基础上,分析了AMTI和ADPCA系统的性能。对这两个系统从原理上,并利用计算机模拟结果及实验结果进行了比较。本文将有助于工程实现。  相似文献   

19.
一种新型应答机数字化终端的实现   总被引:1,自引:1,他引:0  
喻芳 《电讯技术》2002,42(3):39-43
本文介绍了一种用数字信号处理器(DSP)及现场可编程门阵列(FPGA)实现脉冲应答测距和指令数据接收双重功能的数字化终端。  相似文献   

20.
凋亡神经元线粒体超微结构的形态计量学分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
目的:观察并分析人大脑皮层凋亡神经元线粒体超微结构的形态计量学变化.方法:取21例脑外科手术患者的额叶大脑皮质超薄切片中的正常神经元和凋亡神经元的电镜照片各80张,分为对照组与凋亡组.采用形态计量学方法对两组神经元的细胞体、细胞核、线粒体及细胞质基质灰度进行分析.结果:与正常神经元相比,凋亡神经元线粒体的体密度、面密度、数密度、比膜面明显增大(P<0.01),比表面无明显改变(P>0.05),线粒体基质与细胞质基质灰度之差明显增大(P<0.01).结论:凋亡神经元线粒体未发生明显肿胀或增生,但其内膜和嵴的面积明显增加,基质密度降低.  相似文献   

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